Pagrindinė vakuuminio įrenginio funkcinė paskirtis – sukurti ir palaikyti techninį vakuumą, kuris pasiekiamas išpumpuojant mišinį iš sistemos. Vakuuminiai įrenginiai plačiai naudojami metalurgijos, tekstilės, chemijos, automobilių, maisto ir farmacijos pramonėje. Pagrindinės instaliacijos dalys yra siurblys, skydelis su filtrais ir kameros valdymo blokas.
Navigacija:
Vakuuminių įrenginių taikymas
Vakuuminiai įrenginiai gali būti naudojami laboratoriniams tyrimams. Įeina į mikroskopus, chromatografus, garintuvus ir filtravimo sistemas. Šiems tikslams gali tikti įrenginys, kuris neužims didelio ploto. Tokių vienetų našumas nėra pirmoje vietoje. Dažniausiai tai yra forvakuuminis arba turbomolekulinis siurblys. Dirbant su agresyviomis dujomis geriausias variantas- membraninis siurblys.
Vakuuminiai įrenginiai atlieka svarbų vaidmenį tikrinant įrangą. Jie užtikrina reikiamą pakilimo greitį lėktuvas. Kad pakilimo ar nusileidimo procesas vyktų sėkmingai, būtina užtikrinti greitą siurbimo greitį. 
Sausieji siurbliai naudojami puslaidininkių ir nusodinimo vakuuminiams įrenginiams, medžiagų nusodinimui. Idealiai tinka sukurti itin aukštą vakuumą. Tai apima turbomolekulinius ir kriogeninius siurblius.
Metalurgijos pramonė aktyviai naudoja siurblius, kurių pakanka pralaidumas. Jie turi būti atsparūs dilimui, nes sistemoje yra dulkių ir nešvarumų. Letena ir sraigtiniai siurbliai atliekant priekinį vakuuminį siurbimą. Galima naudoti difuzinius siurblius.
Vakuuminis įrenginys 976A yra laboratorinio tipo. Jis skirtas asfaltbetonio prisotinimui vandeniui nustatyti laboratorinėmis sąlygomis. Darbinis kameros tūris yra 2 litrai. Vakuuminis įrenginys gali sukurti galutinį vakuumą, kurio vertė yra 1x10-2.
Vakuuminių instaliacijų elementai
Vakuuminiai įrenginiai sukuria ir palaiko darbinį vakuumą tam tikrame sandariame tūryje. Paprastai šiam tikslui naudojami elementai, kurių paskirtis yra tokia pati. įvairių tipų instaliacijos. Juose yra valdymo blokas su valdymo stovu, vakuuminis blokas, antrinis dangtelis, aušinimo sistemos ir vakuuminė sistema bei dangtelio pakėlimo pavara. Vakuuminė sistema susideda iš bet kokio tipo siurblio, vakuuminio bloko, vamzdynų, vakuumo matuoklio ir elektromagnetinio nuotėkio.
Vakuuminės sistemos Busch
Busch vakuuminiai įrenginiai, visų pirma, yra aukštos kokybės vakuuminiai siurbliai. Įmonė gamina tokius agregatus kaip R5 vakuuminio siurblio rotacinis mentelės modelis. Ji kitokia aukštos kokybės ir produktyvumą. Maksimalus įrenginio slėgis svyruoja nuo 0,1 iki 20 hPa. Terpės siurbimo greitis siekia 1800 m3/val. Antra, tai yra kumštiniai siurbliai ir kompresoriai. Vienas iš tokių yra Mink modelis. Plačiai naudojamas pramonėje. Ypač ten, kur būtina palaikyti pastovų vakuumo lygį. Didžiausias slėgis svyruoja nuo 20 iki 250 hPa. Siurbimo greitis gali siekti 1150 m3/val.
Vakuuminiai įrenginiai Bulat
Vienas iš įrenginių, skirtų plonasluoksnėms dangoms padengti, pavyzdys yra Bulat modelis. Jis padengia plėvelę vakuumo-plazmos metodu. Gali gaminti dangą per kitas elektrai laidžias medžiagas. Tai molibdenas, cirkonis, nitridas ir karbonitridas. Iš pradžių modelis buvo sukurtas metaliniams protezams dengti. Įrenginys apima siurblinę, priekinį vakuuminį įrankį ir susijusią elektros įrangą. 
Kiti vakuuminių sistemų gamintojai
Agilent Technologies yra viena didžiausių vakuuminės įrangos gamintojų. Bendrovė pradėjo vakuuminių siurblių, nuotėkio detektorių, vakuumo matuoklių, vakuuminių alyvų ir kitų sistemų komponentų gamybą.
Air Dimensions Inc. specializuojasi masinėje aukštos kokybės diafragminių siurblių, kurie atlieka korozinių dujų mėginių ėmimą, bei sausųjų membraninių kompresorių gamyboje.
Edwards gamina laboratorinę ir pramoninę vakuuminę įrangą. Tarp jų yra vakuuminiai siurbliai, vakuumo matuokliai ir kt. pagalbinė įranga. Jis garsėja tuo, kad gamina platų įvairių tipų siurblių asortimentą.
Vakuuminio purškimo įrenginiai
Naudojant vakuuminį nusodinimo įrenginį (VSP), įvairios dalys padengiamos dangomis, kurios atlieka laidžias, izoliacines, atsparias dilimui, barjerines ir kitas funkcijas. Šis metodas yra labiausiai paplitęs tarp kitų mikroelektronikos procesų, kuriuose naudojama metalizacija. Tokių įrenginių dėka galima gauti antirefleksines, filtravimo ir atspindinčias dangas.
Kaip dengimo medžiagas galima naudoti aliuminį, volframą, titaną, geležį, nikelį, chromą ir kt. Jei reikia, į terpę galima įpilti acetileno, azoto ir deguonies. Cheminės reakcijos aktyvinimas kaitinant, jonizuojant ir disociuojant dujas. Po dengimo procedūros papildomo apdorojimo nereikia.
UVN-71 P-3 instaliacija gali išbandyti technologinį purškimą. Ji dalyvauja serijinėje įvairių filmų grandinių gamyboje. Su jo pagalba didelio vakuumo sąlygomis gaminamos plonos plėvelės. Naudojamas varžinis metalų išgarinimo metodas.
UV-24 vakuuminis įrenginys atlieka laboratorinius asfaltbetonio tyrimus. Padeda nustatyti jo kokybę. Išskirtinis bruožasšio įrenginio - yra dvi pumpuojamos talpyklos, kurios yra sujungtos viena su kita.
Magnetroninis purškimas
Magnetroninio dulkinimo metu plona plėvelė nusodinama naudojant katodinį purškimą. Prietaisai, naudojantys šį metodą, vadinami magnetroniniais dulkintuvais. Šis įrenginys gali purkšti daugybę metalų ir lydinių. Kai naudojamas įvairiose darbo aplinkose su deguonimi, azotu, anglies dioksidu ir kt. gaunamos skirtingos kompozicijos plėvelės.
Jonų purškimas
Jonų instaliacijos veikimo principas vakuume yra kietųjų kūnų bombardavimas jonais. Kai substratas dedamas į vakuumą, atomai atsitrenkia į jį ir susidaro plėvelė.
Kiti purškimo būdai
Vakuuminis purškimas gali būti atliekamas naudojant periodinę ir nuolatinę įrangą. Periodiškai veikiantys įrenginiai naudojami tam tikram perdirbtų produktų skaičiui. Masinėje arba serijinėje gamyboje naudojami nuolatiniai įrenginiai. Yra vienos ir kelių kamerų purškimo įrangos tipai. Kelių kamerų įrenginiuose purškimo moduliai yra išdėstyti nuosekliai. Visos kameros yra apipurškiamos tam tikra medžiaga. Tarp modulių yra oro užrakto kameros ir transportavimo konvejerio įtaisas. Jie atlieka vakuumo susidarymo, plėvelės medžiagos išgarinimo ir transportavimo operacijas atskirai.
Vakuuminiai įrenginiai
VVN 12 tipo vakuuminis vandens žiedinis siurblys siurbia orą, neagresyvias dujas ir kitus mišinius, kurių negalima išvalyti nuo drėgmės ir dulkių. Į įrenginį patenkančių dujų valyti nereikia.
Vakuuminis vožtuvas AVZ 180 yra universalus, turi gerą maksimalų liekamąjį slėgį, yra lengvas, greitas ir kompaktiškas.
Vakuuminio ritininio vožtuvo AVZ 180 techninės charakteristikos.
Vakuuminis įrenginys AVR 50 gali išsiurbti orą, neagresyvias dujas, garus ir garų-dujų mišinius iš vakuuminių erdvių. Jis nėra skirtas pirmiau minėtiems junginiams siurbti iš vienos talpyklos į kitą. Jį sudaro du siurbliai: NVD-200 ir 2NVR-5DM. 
ZENKO PLASM kompanija, bendradarbiaudama su FHR Anlagenbau GmbH (Vokietija), siūlo vakuuminio nusodinimo sistemas, skirtas mikroelektronikai, fotovoltikai, jutikliams, optikai, MEMS, organiniams ekranams (OLED) ir architektūrinio stiklo gamybai. FHR įmonė išsiskiria aukščiausia vokiška konstrukcijos kokybe, nuosavu demonstraciniams procesams skirtos įrangos parku, galimybe gaminti beveik bet kokią sistemą pagal užsakymą ir daugiau nei 20 metų aukštųjų technologijų įrangos gamybos patirtį. Tuo pat metu FHR priklauso Centrotherm photovoltaics AG holdingui – vienam iš pasaulio lyderių, gaminančių įrangą, skirtą fotovoltinės, mikroelektronikos ir puslaidininkių gamybai. ZENKO PLASMA teikia konsultacijas, tiekimą, paleidimą, garantinį ir pogarantinį aptarnavimą.
Siūlomos šios serijos vakuuminės purškimo sistemos:
Ritimas į ritinį- pramoninės sistemos, skirtos magnetroniniam arba terminiam metalo, oksido ir nitridų sluoksnių purškimui ant polimerinių ir metalinių plėvelių (principo ritinys iki ritinio), kurių plotis iki 2400 mm (2,4 m). Šios sistemos naudojamos apdorojimui ritininės medžiagos plonų metalinių ir polimerinių plėvelių pagrindu, in Maisto pramone, gaminant lanksčią (organinę) elektroniką, lanksčius saulės elementus (plonasluoksnės technologijos CIGS, CdTe, a-Si), labai atspindinčių optinių dangų, barjerinių, laidžių, izoliacinių sluoksnių nusodinimui. Palaikomi šie technologiniai procesai: magnetroninis purškimas (DC, MF, RF režimai), paviršiaus valymas jonų pluoštu, sausas ėsdinimas, terminis purškimas, terminis atkaitinimas, plazminis cheminis nusodinimas (PECVD). galimi vakuuminiai pakrovimo vartai.
Linija– pramoninės vakuuminio nusodinimo sistemos su horizontaliu arba vertikaliu iki 2,2 m pločio ir iki 4 m ilgio stiklo ar metalo substratų apdirbimu. Daugiausia naudojamos skaidrių laidžių oksidų (TCO) nusodinimui plonasluoksnių saulės elementų gamyboje. architektūrinio stiklo gamyboje, siekiant pagerinti šilumos perdavimo koeficientą ir šviesos pralaidumą; gaminant ekranus (įskaitant OLED), apsauginių dangų dengimo srityje. Apdorojimo linija užtikrina aukščiausią purškiamų plėvelių produktyvumą ir kokybę. Galimos individualios konfigūracijos, priklausomai nuo substrato matmenų, našumo ir nusodinimo proceso parametrų.
Žvaigždė– ši serija yra klasterio tipo sistema su vienu apdorojimu, skirta smulkiai gamybai ir MTEP mikroelektronikos, optikos, MEMS, jutiklių srityje. Leidžia dirbti tiek su vienkartiniu iki 300 mm skersmens plokščių pakrovimu, tiek su kasetėmis. Centrinis robotas užtikrina pagrindo judėjimą tarp technologinių sistemos modulių. Gali būti komplektuojamas su plokštelių pakrovimo vartais, technologiniais moduliais: ėsdinimas (PE, RIE), terminis garinimas, elektronų pluošto išgarinimas, terminis atkaitinimas (RTP/FLA), magnetroninis purškimas, plazminis cheminis nusodinimas (PECVD, CVD), nusodinimas atominiu sluoksniu ( ALD). Šios serijos sistemos aktualios, kai reikia turėti kelias technologiniai procesai per vieną instaliaciją. Galima montuoti per sieną švariose patalpose.
Boxx– šios serijos nusodinimo sistemos suteikia grupinį substratų apdorojimą gaminant mažas optinių sistemų, MEMS ir jutiklių partijas. Sistemose gali būti įrengti vakuuminio pakrovimo vartai. Substratų pakrovimas atliekamas rankiniu būdu ant besisukančio būgno darbo kameroje. Kai būgnas sukasi, substratai praeina per skirtingas magnetroninio purškimo dalis (DC, RF), todėl vienu procesu galima išpurkšti kelias medžiagas. Plazminio paviršiaus valymo sekcija įrengiama pagal poreikį. Pasirinktinai galima sumontuoti iki kelių tokių būgnų, naudoti šliuzo apkrovą, taip pat užtikrinti substratų šildymą nusodinimo proceso metu. Galima montuoti per sieną švariose patalpose.
Mikro– šios serijos purškimo įrenginiai daugiausia skirti tyrimams, plėtrai ir nedidelės apimties gamybai. Įrenginiai skirti vienkartiniam iki 200 mm skersmens substratų, įskaitant kvadratinius ir stačiakampius, apdorojimui. Įrenginiai leidžia nusodinti tiek metalinius, tiek dielektrinius sluoksnius. Galimos magnetroninio purškimo ir terminio garinimo sistemos. Sistemos išsiskiria kompaktiškumu, lanksčia konfigūracija, įrengimo, naudojimo ir priežiūros paprastumu.
Siūlome galimybę gaminti taikinius magnetroninio purškimo įrenginiams. Šiuolaikinės technologijos gamybinės patalpos leidžia gaminti tiek plokštuminius, tiek cilindrinius taikinius, tarp jų ir nestandartinius pagal brėžinius. Galimi šių tipų medžiagos: metalas, lydiniai (Al, Cr, Ti, Ni, In), boridai, karbidai, nitridai, oksidai, silicidai, sulfidai, teluridai. Pasakykite mums savo poreikius ir mes pateiksime tinkamą sprendimą.
TEORINĖ INFORMACIJA
Pastarąjį dešimtmetį sparčiai vystantis mikroelektroninių prietaisų (MED) gamybai, buvo sukurta darbinė įranga, kuri turėtų kuo mažiau įtakos plonų plėvelių formavimo procesui ir leistų kontroliuoti jų parametrus. Dėl to šiuo metu yra didelis pasirinkimas vakuuminiai įrenginiai, komponentai, taip pat medžiagos ir montavimo būdai, leidžiantys išspręsti sudėtingas technologines problemas gaminant europarlamentarus.
Plonų plėvelių gavimo procesas vyksta vakuuminio įrenginio po dangteliu esančio įtaiso vakuuminėje aplinkoje. Norint sumažinti slėgį apatinio dangtelio įrenginyje, galima taikyti du principus. Pirmajame dujos fiziškai pašalinamos iš vakuuminės kameros ir išleidžiamos į lauką. Šio veikimo būdo pavyzdys yra mechaniniai ir garo srovės, garo ir alyvos siurbliai. Kitas siurbimo būdas yra pagrįstas dujų molekulių kondensacija arba sulaikymu tam tikroje vakuuminės kameros paviršiaus dalyje, nepašalinant dujų į išorę. Šiuo principu sukurti kriogeniniai, geterio ir geterojonų siurbliai.
Kiekybinis siurblio dujų perdavimo arba sugerties pajėgumo matas yra jo našumas (Q). Produktyvumas priklauso nuo slėgio siurbiamame įrenginyje ir apibrėžiamas kaip dujų kiekis, pratekantis per darbinio siurblio įsiurbimo vamzdį per laiko vienetą, kai t = 20 0 C:
K = Fp · P,
čia Fp – siurbimo greitis, l/s; P – pumpuojamų dujų slėgis, mm Hg. Art.
Kitas parametras, apibūdinantis siurblio veikimą, yra siurbimo greitis Fp, kuris apibrėžiamas kaip siurblio našumo ir tam tikrų dujų dalinio slėgio santykis prie siurblio įleidimo angos:
Fp = Q/P
Dauguma vakuuminių siurblių turi beveik pastovų siurbimo greitį kelių dujų slėgio intervale. Virš ir žemiau šios srities jis smarkiai nukrenta, todėl siurbimas tokio tipo vakuuminiu siurbliu tampa neefektyvus.
Renkantis siurblį vakuuminiam įrengimui, turite atsiminti, kad patys siurbliai tam tikromis sąlygomis yra liekamųjų dujų šaltiniai vakuuminėje kameroje. Skirtingi tipai siurbliai labai skiriasi tiek išleidžiamų dujų kiekiu, tiek pobūdžiu. Ypač kenksmingi yra organinių junginių garų pėdsakai, kuriuos sukelia siurbliuose naudojami darbiniai skysčiai.
Pagrindiniai siurblio parametrai taip pat apima maksimalų slėgį Pg - tai mažiausias slėgis, kurį galima gauti naudojant vakuuminį siurblį, jei pats siurblys neišskiria dujų.
Rotaciniams siurbliams Pg priklauso nuo siurblio „trūkumo tūrio“ (ty tos suspaudimo kameros dalies, iš kurios negalima išstumti iš pumpuojamo objekto gaunamų dujų) ir medžiagų, tokių kaip alyva, garų slėgio. , naudojamas sandarinimui. Garo reaktyviniams siurbliams Pg priklauso nuo garo molekulių greičio antgalyje, dujų molekulių greičio siurbiamame tūryje ir dujų molekulinės masės.
Leistinas išorinis (įėjimo) slėgis yra didžiausias leistinas slėgis dujos siurblio išleidimo angoje, tai yra slėgis, kuriam esant siurbimo greitis išlieka lygus didžiausiai vertei. Priekiniams vakuuminiams siurbliams, kurie suspaudžia dujas į Atmosferos slėgis, leistinas išėjimo slėgis yra lygus atmosferos slėgiui aukšto vakuumo siurbliams, leistinas išėjimo slėgis yra lygus priekiniam vakuuminiam slėgiui.
Sub-dangtelio įtaiso, kurio tūris V ir pradinis slėgis Pо, išsiurbimo procesą, kurį atlieka bet koks siurblys, kurio siurbimo greitis Fp ir didžiausias slėgis Pg, galima apibūdinti naudojant diferencinę lygtį, gautą remiantis Boyle-Mariotte metodu. įstatymas. Slėgio kritimas laikui bėgant apibūdinamas tokia lygtimi:
DP/dt = Fp/V(P – Pg) (1)
Šios diferencialinės lygties sprendimas duos slėgio P pokyčio išpumpuojamame inde charakteristiką laikui t.
„Idealaus“ siurblio atveju Fp = Fp max = const – siurblio charakteristika P yra tiesi linija. Siurbimo greitis Fp visi techniniai siurbliai skirtingai nei „idealūs“, tai priklauso nuo spaudimo , ir todėl slėgio pokyčių laiko charakteristikos paprastai gaunamos ne skaičiuojant, tai yra integruojant 1 lygtį, o nustatomos eksperimentu.
VAKUUMINIO PURŠKIMO MONTAVIMO PRIETAISAS
Vakuuminis įrenginys skirtas sukurti ir palaikyti vakuumą darbiniame tūryje (įrenginys po dangteliu). Įrenginys susideda iš vakuuminio bloko ir valdymo stovo. Struktūriškai vakuuminis blokas (1.1 pav.) yra korpusas 1, ant kurio sumontuotas po dangteliu esantis įtaisas 2 Vakuuminė sistema, aušinimo sistema, dujų sistema ir hidraulinė pavara gaubtui pakelti. Įrenginyje po dangteliu darbinis dujų slėgis nustatomas nuo 1,10 -3 iki 5,10 -4 mm Hg. Art. o purškiamo taikinio medžiagos nusodinamos ant pagrindo naudojant purškimo įrenginį.
Instaliacijos vakuuminė sistema (1.2 pav.) susideda iš mechaninio siurblio NVR-5D ir vakuuminio bloko VA-2-3R-N, vožtuvų dėžės, elektromagnetinio nuotėkio, vamzdynų ir slėgio matavimo jutiklių.
1.1 pav. Išvaizdaįrenginiai: 1 – kėbulas; 2 – dangtelis; 3 – sistema
vakuumas; 4 – aušinimo sistema; 5 – maišymo mechanizmas;
6 – purškimo įtaisas; 7 – vožtuvų dėžė; 8 – vakuumo matuoklis
Vakuuminės sistemos vamzdynai sujungia jį su mechaniniu siurbliu, po dangteliu įtaisu ir garo-alyvos siurblio išleidimo vamzdžiu. Nuotėkio vožtuvas skirtas darbiniam tūriui sumažinti slėgį.
Įrenginio vakuuminės sistemos siurbimo priemones valdo vakuuminės sistemos valdymo blokas.
Norėdami paleisti mechaninį siurblį, turite įjungti atitinkamą perjungimo jungiklį valdymo skydelyje. Tokiu atveju suveikia magnetinis starteris, kuris su vienu normaliai atidarytu kontaktu tampa savaime užsifiksuojančiu, o su kitais trimis kontaktais įjungiamas elektros variklis, varantis elektromechaninį siurblį vakuuminiame bloke.
1.2 pav. Vakuuminio montavimo sistema: 1 – mechaninis siurblys NVR-5D;
2 – vožtuvo dėžutės apatinė rankena; 3 – elektromagnetinis nuotėkis;
4 – vožtuvo dėžutės viršutinė rankena; 5 – vožtuvų dėžė;
6 – termopora; 7 – slėgio jutiklis; 8 – nuotėkio vožtuvas;
9 – sklendė; 10 – VA-2-3RM tipo vakuuminis blokas; 11 – vamzdynai
Norėdami įjungti mechaninį siurblį, turite įjungti atitinkamą perjungimo jungiklį valdymo skydelyje. Tokiu atveju įjungiamas magnetinis starteris, kuris
vienas paprastai atviras kontaktas perjungia į savaiminį užsifiksavimą, o kiti trys kontaktai įjungia elektros variklį, varantį elektromechaninį siurblį vakuuminiame bloke
Įjungti garo alyvos siurblio EN-1 šildytuvą galima tik įjungus mechaninį siurblį, nes magnetinis starteris maitinamas per įprastai atvirą magnetinio starterio kontaktą, o valdymo skydelyje užsidega signalinė lemputė.
Vožtuvų dėžės 2 pagalba užtikrinamas visas vakuuminės sistemos perjungimas, reikalingas įrenginio veikimui. Vožtuvų dėžės valdiklis yra ant priekinio įrenginio stulpo (1.1 pav.). Ištraukus viršutinę mechaninio siurblio rankeną, ištraukiamas apatinės rankenos įtaiso darbinis tūris, išsiurbiama garo-alyvos siurblio ertmė.
Elektromagnetinis nuotėkis yra ant vožtuvo dėžutės 5 ir skirtas atmosferiniam orui patekti į mechaninio siurblio vamzdyną.
Elektromagnetinis nuotėkis įjungiamas naudojant „nuotėkio“ jungiklį, esantį vakuuminės sistemos valdymo bloke. Nuotėkis veikia tik išjungus mechaninį siurblį. Ištiesus apatinę vožtuvo dėžutės rankeną, toks pat nuotėkis atmosferos orą patenka į garų ir alyvos siurblio ertmę. Struktūriškai nuotėkis yra solenoidas, kurio galinė dalis yra sandarinimo vožtuvo forma. Orlaidėje yra akytasis stiklo filtras, kuris sulaiko dulkių daleles iš oro.
Vakuuminis valdymas atliekamas VIT-2 vakuumo matuokliu iš jutiklių, prijungtų prie jo naudojant jungiklį „Jutiklio pasirinkimas“.
Kai jungiklis „Sensor Selection“ yra nustatytas į „1“ padėtį, vakuumo matuoklis matuoja žemą vakuumą priekinėje linijoje. Nustačius padėtį „2“, aukštas vakuumas po dangteliu esančiame įrenginyje matuojamas naudojant jonizacijos slėgio jutiklį, kai perjungiama į „0“ padėtį, abu jutikliai išjungiami.
Mechaninis vakuuminis siurblys. Mentelių-rotorinio tipo siurblys su alyvos sandarikliu yra skirtas oro, chemiškai neaktyvių dujų ir garų-dujų mišiniams, kurie neturi įtakos konstrukcinėms medžiagoms ir darbiniam skysčiui, išsiurbti. Tokie siurbliai paprastai gali išpumpuoti priimtinos koncentracijos kondensuotus garus ir garų-dujų mišinius.
Dujų siurbimo rotaciniuose mentiniuose siurbliuose procesas pagrįstas mechaniniu dujų siurbimu dėl periodinio darbo kameros padidėjimo.
Tokio siurblio veikimo principas pavaizduotas 1.3 pav. ir vyksta taip.
 |
1.3 pav. Rotacinis siurblys: 1 – cilindrinis; 2 – rotorius; 3 – pečių ašmenys;
4 – spyruoklė; 5 – vožtuvas; A ir B – ertmės
1 cilindre ekscentriškai sumontuotas rotorius 2 sukasi rodyklės nurodyta kryptimi, į rotoriaus angą dedamos mentės 3, kurios spyruokle 4 prispaudžiamos prie cilindro vidinio paviršiaus. Kai rotorius sukasi, mentės slysta vidiniu cilindro paviršiumi, cilindro, rotoriaus ir ašmenų suformuota ertmė yra padalinta į ertmę A ir ertmę B.
Rotoriui besisukant, ertmės A tūris periodiškai didėja ir iš išpumpuojamos sistemos į ją patenka dujos; ertmės B tūris periodiškai mažėja ir joje atsiranda suspaudimas. Suslėgtos dujos išleidžiamos per vožtuvą 5. Sandarinimas tarp įsiurbimo ertmių A ir suspaudimo B atliekamas naudojant alyvos plėvelę. Taip veikia vienpakopis siurblys. Dviejų pakopų konstrukcijoje pirmosios pakopos išėjimas yra prijungtas prie antrojo etapo įvesties, o dujos išleidžiamos į atmosferą per vožtuvą.
Visi rotaciniai siurbliai yra panašios konstrukcijos, tačiau skiriasi dydžiu, kuris lemia siurblių siurbimo greitį. Vienpakopio rotacinio siurblio konstrukcija parodyta 1.4 pav.
Jungiant siurblį prie vakuuminės sistemos, vamzdynas turi būti trumpo ilgio ir didelio skersmens, ne mažesnio už siurblio įleidimo angos skersmenį. Jei nesilaikoma šių sąlygų, sumažėja siurblio siurbimo greitis.
Įrenginyje naudojamas mechaninis rotacinis siurblys VN-05-2 turi tokį pagrindinį veikimo charakteristikos:
Siurbimo greitis 0,5 l/s
Liekamasis slėgis 5·10 -3 mm Hg. Art.
Aukšto vakuumo garo alyvos siurblys. Aukšto vakuumo garo alyvos siurblys N-05 skirtas siurbti orą, neagresyvias dujas, garus
ir garų-dujų mišiniai.
Siurblys turi veikti tik kartu su pagalbiniu išankstinio išleidimo siurbliu. Garo alyvos siurblio vieta aukšto vakuumo sistemoje parodyta 1.5 pav.
Plačiai naudojami trijų pakopų garo-alyvos siurbliai susideda iš šių pagrindinių komponentų: korpuso, garo linijos, elektrinio šildytuvo, alyvos šlifavimo ir hidraulinės relės. Siurblio konstrukcija parodyta 1.5 pav.
 |
Siurblio korpusas 1 yra plieninis cilindras su prie jo privirintu dugnu, įvadiniu flanšu 2, išleidimo vamzdžiu su flanšu 3. Išmetimo dalims sumontuoti ant išleidimo vamzdžio yra sandarus flanšas 4.
1.5 pav. Bendra forma siurblys: 1 – elektrinis šildytuvas; 2 – garo linija; 3 – kūnas; 4 – alyvos deflektorius; 5 – antgalis; 6 – užpakaliukas;
7 – antgalis; 8 – užpakaliukas; 9 – išmetimo antgalis
Pagrindinė siurblio konstrukcinė dalis yra garo linija, kurioje alyva cirkuliuoja taip, kad alyvos garai iš katilo, esančio apatinėje korpuso dalyje, garui laidžiais kanalais patenka į viršutinius, apatinius ir ežektorinius purkštukus, išeina, iš kur kondensuojasi ant šaltų siurblio korpuso sienelių ir išleidimo vamzdžio . Tekėdama į katilą, alyva pirmiausia patenka į katilo sekciją, prijungtą prie paskutinio (išmetimo) antgalio, ir tik galiausiai, eidama per labirintą, patenka į sekciją, prijungtą prie svarbiausios vidinės garo linijos, kuri tiekia garą į aukštą. vakuuminis antgalis. Dėl šios priežasties arčiausiai siurbiamo objekto esantis didelio vakuumo antgalis veikia tik su alyva, kurios sočiųjų garų slėgis yra žemiausias, o arčiausiai išankstinio išleidimo siurblio esantis antgalis – su lengviausiomis frakcijomis.
Siurblio garo linija yra trijų pakopų. Pirmieji du etapai yra skėčio tipo, trečioji pakopa yra ežektorius. Alyvos garai iš katilo per garo linijas patenka į trijų siurblio pakopų purkštukus ir, ištekėdami iš jų, sudaro purkštukus. Pumpuojamos dujos pasklinda į garų purkštukus ir jomis perduodamos į išankstinio išleidimo zoną. Garai, pasiekę atvėsusią siurblio sienelę, kondensuojasi ir suteka atgal į katilą.
Siurblys paleidžiamas tokia seka:
a) įjunkite priekinį vakuuminį siurblį ir atidarę vožtuvą išpumpuokite sistemą
su garo-alyvos siurbliu iki 5·10 -2 - 1,10 -2 mm Hg slėgio. Art.;
b) įleiskite vandens, kad atvėsintumėte siurblio korpusą;
c) įjunkite garo-alyvos siurblio elektrinį šildytuvą.
Norėdami sustabdyti siurblį, įjunkite elektrinį siurblio šildytuvą ir tiekite vandenį, kad dugnas atvėstų. Po to, kai siurblys atvės, uždarykite vožtuvą, išjunkite priekinį vakuuminį siurblį ir sustabdykite vandens tiekimą.
Pagrindinės garo alyvos siurblio charakteristikos:
Didžiausias liekamasis slėgis ne didesnis kaip 5·10 -7 mm Hg. Art.
Siurbimo greitis Fp 500 l/s
Maksimalus išėjimo slėgis yra ne mažesnis kaip 0,25 mmHg. Art.
Atmosferos oro nuotėkis ne didesnis kaip 0,02 l×mm Hg. st./s
Alyvos klasė VM-1 GOST 7904-56
preliminarus iškrovimas VN-2MG arba NVR-5D
DARBO ATLIKIMO TVARKA
1. Įjunkite instaliaciją, kuriai „tinklo“ įrenginys perjungtas į „Įjungta“ padėtį.
2. Įjunkite mechaninį siurblį perjungdami rankenėlę į padėtį „Įjungta“.
3. Ištuštinkite garų ir alyvos siurblio tūrį, atidarykite apatinį vožtuvo dėžutės vožtuvą.
4. Įjunkite garų ir alyvos siurblio šildytuvą perjungimo jungikliu „On“.
5. Po 35 - 40 minučių įjungus garo-alyvos siurblio šildytuvą, įjunkite azoto tiektuvą.
6. Įkaitinę garų ir alyvos siurblį, uždarykite apatinį vožtuvą ir atlikite išankstinį po dangteliu esančio tūrio siurbimą atidarydami viršutinį vožtuvo dėžutės vožtuvą.
7. Siurbiant ant mechaninio siurblio paimkite ir nubrėžkite P(t) charakteristiką, kas 10 minučių vieną valandą fiksuokite termoporos vakuumo matuoklio rodmenis. Duomenis apibendrinkite lentelėje ir nubrėžkite P(t) kreivę.
8. Nuimkite ir nubrėžkite difuzijos siurblio charakteristikas P(t). Atlikite eksperimentą taip pat, kaip nurodyta 7 punkte.
9. Įvertinkite abiejų siurblių galimybes pasiekus preliminarų vakuumo lygį: mechaninis per 40 min., aukštas vakuumas per 1 val.
10. Pateikite išvadą apie preliminarų vakuumą, kurį galima gauti naudojant siūlomą siurbimo sistemą.
11. Eksperimento metu gautus duomenis pateikti lentelių ir grafikų pavidalu.
KONTROLINIAI KLAUSIMAI
1. Kaip klasifikuojamas vakuumas? Paaiškinkite vakuuminio nusodinimo įrenginio veikimo principą ir komponentų paskirtį.
2. Paaiškinkite teisingą vakuuminių siurblių įjungimo ir išjungimo seką vakuuminėje sistemoje. Paaiškinkite, kaip ribojamas maksimalus vakuumas, kurį galima gauti tokiu įrenginiu.
3. Paaiškinkite garo alyvos siurblio veikimą.
4. Paaiškinkite mechaninio siurblio veikimą.
5. Paaiškinkite vakuuminio matavimo principą bei termojoninių ir jonizacinių jutiklių veikimą.
6. Paaiškinkite nuotėkio vožtuvo paskirtį ir veikimą.
7. Paaiškinkite azoto ir elektromagnetinių gaudyklių veikimo principą ir sandarą.
8. Pakomentuokite gautas įrenginio vakuumines charakteristikas.
Įvairių konstrukcijų, dalių modifikavimas ir funkciniai elementai dažnai atliekama visiškai pakeičiant medžiagų struktūrą. Tam naudojamos giluminio terminio, plazminio ir cheminio apdorojimo priemonės. Tačiau taip pat yra daugybė metodų, kaip pakeisti eksploatacines savybes naudojant išorines dangas. Tokie metodai apima vakuuminį metalizavimą, kurio dėka galima pagerinti dekoratyvines, laidžias, atspindinčias ir kitas medžiagų savybes.
Bendra informacija apie technologiją
Metodo esmė yra purkšti metalo daleles darbinis paviršius. Naujos dangos formavimo procesas vyksta dėl metalų donorų išgaravimo vakuumo sąlygomis. Technologinis ciklas apima kelis tikslinio pagrindo ir dangos elementų struktūrinių pakeitimų etapus. Visų pirma išskiriami garavimo, kondensacijos, absorbcijos ir kristalizacijos procesai. Pagrindinė procedūra gali būti vadinama metalo dalelių sąveika su paviršiumi specialios dujų aplinkos sąlygomis. Šiame etape technologija vakuuminis metalizavimas užtikrina dalelių difuzijos ir prisitvirtinimo prie ruošinio struktūros procesus. Priklausomai nuo purškimo režimų, dangos charakteristikų ir ruošinio tipo, išvesties metu galima gauti įvairius efektus. Šiuolaikinės techninės priemonės leidžia ne tik pagerinti individualias gaminio eksploatacines savybes, bet ir labai tiksliai atskirti paviršiaus savybes atskirose srityse.
Naudota įranga
Šiai technologijai naudojamos trys pagrindinės mašinų grupės. Tai ištisinė, pusiau ištisinė ir paketinė įranga. Atitinkamai jie skiriasi bendru apdorojimo proceso organizavimu. Dažnai naudojami nuolatiniai vienetai serijinė gamyba kur reikalingas in-line vakuuminis metalizavimas. Šio tipo įranga gali būti vienos arba kelių kamerų. Pirmuoju atveju agregatai yra orientuoti į tiesioginį metalizavimą. Kelių kamerų modeliai taip pat suteikia galimybę įgyvendinti papildomas procedūras – pirminį gaminio paruošimą, kontrolę, karščio gydymas ir tt Šis metodas leidžia optimizuoti gamybos procesą. Partijos ir pusiau ištisinio metalizavimo mašinos paprastai turi vieną pagrindinę kamerą. Būtent dėl gamybos netvarkingumo jie naudojami konkrečiai procedūrai, o paruošiamieji darbai ir ta pati kokybės kontrolė atliekama atskiru užsakymu – kartais rankiniu būdu be automatizuotų linijų. Dabar verta atidžiau pažvelgti į tai, iš kokių komponentų susideda tokie įrenginiai.
Metalizavimo staklių projektavimas
Be pagrindinės kameros, kurioje vyksta nusodinimo procesai, įrangoje yra daug pagalbinių sistemų ir funkcinių komponentų. Pirmiausia verta išskirti tiesioginius išpurkštos medžiagos šaltinius, kurių komunikacijos prijungtos prie dujų skirstymo komplekso. Tam, kad vakuuminio metalizavimo įrenginys pateiktų parametrus, reikalingus konkrečiai apdorojimo užduočiai, nusodinimo tiekimo kanalai su reguliatoriais leidžia reguliuoti temperatūros lygį, srauto greitį ir tūrį. Visų pirma, šią infrastruktūrą sudaro nuotėkiai, siurbliai, vožtuvai, flanšo elementai ir kitos jungiamosios detalės.
Šiuolaikiniuose įrenginiuose tam pačiam veikimo parametrų reguliavimui naudojami jutikliai, prijungti prie mikroprocesoriaus bloko. Atsižvelgiant į nurodytus reikalavimus ir fiksuojant esamus faktines vertes, įranga gali reguliuoti apdorojimo režimus be operatoriaus dalyvavimo. Taip pat, siekiant palengvinti darbo procesus, įranga papildyta kameroje esančiomis valymo ir kalibravimo sistemomis. Dėl tokios įrangos supaprastinamas mašinos vakuuminės metalizacijos remontas, nes nuolatinis ir savalaikis valymas sumažina pneumatinių variklių, manipuliatorių ir ryšių grandinių perkrovimo riziką. Pastarosios yra visiškai laikomos eksploatacinėmis dalimis, kurių keitimas nuolatiniais blokais atliekamas kaip reguliarios priežiūros dalis.
Tikslinės medžiagos metalizavimui
Visų pirma, atliekami metaliniai ruošiniai, kurie gali būti pagaminti iš specialių lydinių. Papildoma danga reikalinga norint suteikti antikorozinį sluoksnį, pagerinti elektros instaliacijos kokybę ar pakeisti dekoratyvinės savybės. Pastaraisiais metais vakuuminis metalizavimas vis dažniau naudojamas polimerinių gaminių atžvilgiu. Šis procesas turi savo specifiką, nulemtą tokio pobūdžio objektų struktūros ypatybių. Ši technologija rečiau naudojama gaminiams, kurių kietumas yra mažas. Tai taikoma medienai ir kai kurioms sintetinėms medžiagoms.
Plastikų metalizavimo ypatybės
Purškimas ant plastikinių dalių paviršiaus taip pat gali pakeisti jų elektrines, fizines ir chemines savybes. Metalizavimas dažnai naudojamas kaip priemonė pagerinti tokių ruošinių optines savybes. Pagrindinė problema atliekant tokias operacijas yra intensyvaus terminio garavimo procesas, kuris neišvengiamai daro spaudimą elemento paviršių purškiančiam dalelių srautui. Todėl reikalingi specialūs bazinės medžiagos sklaidos ir suvartojamos masės reguliavimo režimai.
Kietos struktūros plastikų vakuuminis metalizavimas taip pat turi savo specifiką. IN tokiu atveju Apsauginių ir gruntuojančių lakų buvimas bus svarbus. Norint išlaikyti pakankamą sukibimo lygį ir įveikti šių plėvelių barjerus, gali prireikti padidinti šiluminio poveikio energiją. Tačiau čia vėl kyla problemų dėl plastikinės konstrukcijos sunaikinimo rizikos veikiant šilumos srautams. Dėl to, norint pašalinti perteklinę įtampą darbo aplinkaĮvedami modifikuojantys komponentai, tokie kaip plastifikatoriai ir tirpikliai, kurie leidžia išlaikyti ruošinio formą optimalioje būsenoje, nepaisant temperatūros sąlygų.
Plėvelės medžiagų apdorojimo ypatybės
Pakavimo medžiagų gamybos technologijos apima PET plėvelių metalizavimą. Šis procesas užtikrina paviršiaus aliuminavimą, dėl kurio ruošinys suteikia didesnį stiprumą ir atsparumą išorinių poveikių. Priklausomai nuo apdorojimo parametrų ir galutinio dangos reikalavimų, Skirtingi keliaišilumos kriauklė. Kadangi plėvelė yra jautri temperatūrai, taikoma papildoma nusodinimo procedūra. Kaip ir su plastiku, jis leidžia reguliuoti šiluminį balansą, išlaikant optimalią aplinką ruošiniui. Vakuuminio ritininio metalizavimo metodu apdorotų plėvelių storis gali svyruoti nuo 3 iki 50 mikronų. Pamažu diegiamos technologijos, kurios suteikia panašias dangas ant 0,9 mikrono storio medžiagų paviršių, tačiau didžiąja dalimi tai vis dar yra tik eksperimentinė praktika.
Atšvaitų metalizavimas
Tai taip pat yra atskira metalizacijos naudojimo sritis. Tikslinis objektas šiuo atveju yra automobilio žibintai. Jų konstrukcija numato atšvaitus, kurie laikui bėgant praranda savo eksploatacines savybes - jie blunka, rūdija ir dėl to tampa netinkami naudoti. Be to, net naujas priekinis žibintas gali būti netyčia sugadintas, todėl jį reikės remontuoti ir restauruoti. Būtent į šią užduotį yra orientuotas atšvaitų vakuuminis metalizavimas, užtikrinantis dilimui atsparų nusodinimą ant veidrodžio paviršiaus. Išorinės konstrukcijos užpildymas metalizuotomis dalelėmis, viena vertus, pašalina smulkius defektus, kita vertus, veikia kaip apsauginė danga, užkertanti kelią galimiems pažeidimams ateityje.
Proceso organizavimas namuose
Be specialios įrangos galima naudoti paviršių cheminio padengimo technologiją, tačiau vakuuminiam apdorojimui bet kokiu atveju reikės atitinkamos kameros. Pirmajame etape paruošiamas pats ruošinys - jį reikia nuvalyti, nuriebalinti ir, jei reikia, nušlifuoti. Tada objektas dedamas į vakuuminę metalizavimo kamerą. Taip pat savo rankomis iš profilio elementų galite pagaminti specialią įrangą ant bėgių. Tai bus patogus būdas pakrauti ir iškrauti medžiagą, jei apdorojimas planuojamas reguliariai. Kaip metalizacijos dalelių šaltinis naudojami vadinamieji luitai – pagaminti iš aliuminio, žalvario, vario ir kt. Po to kamera sureguliuojama optimalus režimas apdorojimas ir prasideda purškimo procesas. Gatavas produktas iš karto po metalizavimo gali būti padengtas rankiniu būdu pagalbinėmis medžiagomis apsauginės dangos lakų pagrindu.
Teigiami atsiliepimai apie technologiją
Metodas turi daug teigiamų savybių, kurias pastebi įvairių sričių gatavų gaminių vartotojai. Visų pirma nurodomos aukštos apsauginės dangos savybės, kurios apsaugo nuo korozijos ir mechaninio pagrindo sunaikinimo. Paprasti vartotojai teigiamai atsiliepia ir apie gaminius, kurie buvo metalizuoti vakuume, siekiant pagerinti ar pakeisti jų dekoratyvines savybes. Ekspertai taip pat pabrėžia technologijos saugumą aplinkai.
Neigiami atsiliepimai
Šio gaminių apdirbimo metodo trūkumai yra techninio proceso organizavimo sudėtingumas ir aukšti ruošinio paruošiamųjų priemonių reikalavimai. Ir tai jau nekalbant apie aukštųjų technologijų įrangos naudojimą. Tik su jo pagalba galite gauti aukštos kokybės purškimą. Kaina taip pat įtraukta į vakuuminio metalizavimo trūkumų sąrašą. Vieno elemento apdorojimo kaina gali būti 5-10 tūkstančių rublių. priklausomai nuo tikslinės srities ploto ir dangos storio. Kitas dalykas – serijinis metalizavimas sumažina atskiro gaminio savikainą.
Pagaliau
Pakeitus tam tikrų medžiagų technines, fizines ir dekoratyvines savybes, išplečiamos jų tolesnio panaudojimo galimybės. Vakuuminio metalizavimo metodo plėtra paskatino specialių apdorojimo sričių atsiradimą, daugiausia dėmesio skiriant specifinėms eksploatacinėms savybėms. Technologai taip pat stengiasi supaprastinti patį nusodinimo procesą, kuris jau šiandien pasireiškia įrangos dydžio sumažinimu ir papildomo apdorojimo procedūrų mažinimu. Kalbant apie technikos naudojimą namuose, tai yra pats problemiškiausias dengimo būdas, nes tai reikalauja, kad atlikėjas turėtų specialių įgūdžių, jau nekalbant techninėmis priemonėmis. Kita vertus, daugiau prieinamus metodus Purškimas neleidžia gauti tokios pat kokybės dangų - ar tai būtų apsauginis sluoksnis, ar dekoratyvinė stilizacija.
Kad šiuolaikinėje gamyboje įgytų prekinę išvaizdą ir tam tikras technines savybes, visi gatavi gaminiai yra padengiami įvairios medžiagos. Šis klausimas ypač aktualus metalinėms detalėms, kur danga atlieka ne tiek dekoratyvinį vaidmenį, kiek apsaugo metalą nuo korozijos ir kitų kenksmingų aplinkos veiksnių.
Vakuuminis purškimas
Šiuolaikinėje gamyboje pažangiausia dalių dengimo technologija yra vakuuminis nusodinimas. Technologiją sudaro tiesioginis garų kondensavimas iš padengtos dangos ant detalės paviršiaus. Yra trys pagrindiniai tokio purškimo etapai:
Medžiagos, iš kurios bus sukurta danga, išgarinimas;
Sukurtų garų perkėlimas į paviršių, ant kurio bus dedama medžiaga;
Garų kondensacija ant detalės paviršiaus ir dangos sukūrimas iš jo.
Lengvojo lydinio ratlankių chromavimo montavimas
Vakuuminio nusodinimo metodai
Be vakuumo, purškime gali dalyvauti ir kiti fiziniai procesai. Toliau pateikta klasifikacija taip pat taikoma medžiagoms, kurios bus purškiamos ant paviršiaus.
Vakuuminis plazminis purškimas
Vakuuminis lankinis dengimas atliekamas pagal šį mechanizmą. Katodas yra paviršius, ant kurio turi būti dedama plėvelė, o anodas yra dujų išlydžio substratas. Kai lankas įkaitina atmosferą iki maksimalios temperatūros, purškiamoji medžiaga pereina į dujinę fazę ir perkeliama į katodą. Tada purškiamos molekulės kondensuojasi ant gaminio paviršiaus, sudarydamos vienalytį sluoksnį. Vakuuminio lanko purškimo įrenginių vienodumą galima reguliuoti tol, kol bus gautas pradinis produktas su purškimo raštais.
Ši sudėtinga technologija naudojama itin kietoms pjovimo ir gręžimo įrankių dangoms padengti. Tvirti, atsparūs dilimui grąžtai sukamiesiems plaktukams sukuriami naudojant vakuuminį plazminį purškimą.
Didelio stiprumo plaktiniai grąžtai
Jonų-vakuuminis purškimas
Laikomas aplinkai nekenksmingiausiu būdu bet kokiam padengimui metalinis paviršius. Neigiama yra ta, kad įranga yra brangi, ne kiekviena įmonė gali sau leisti ją įsigyti ir įdiegti.
Tačiau griežti reikalavimai keliami ir paviršiaus švarai galutinis rezultatas viršija visus lūkesčius. Užtepta danga pasižymi dideliu homogeniškumu, tvirtumu ir atsparumu dilimui, todėl tokiu būdu dangos purškiamos ant detalių ir mechanizmų, kurie bus eksploatuojami atšiauriomis klimato sąlygomis. Tai paskutinė operacija, po kurios tolesnis dalių apdorojimas neleidžiamas - neturėtų būti suvirinimo ar pjovimo.
Vakuuminis aliuminio nusodinimas
Aliuminio taikymas laikomas populiariausiu beveik bet kokio paviršiaus metalizavimo būdu. Aliuminio universalumas leidžia jį dengti ant neįprastų paviršių, tokių kaip plastikas ir stiklas, ir, skirtingai nuo kitų metalų, jam nereikia papildomos lako dangos, kad būtų patvarus. Aliuminis dažniausiai naudojamas dekoratyviniais tikslais – iš jo gaminami automobilių aksesuarai ir žibintų atšvaitai, kosmetikos gaminiai, spintos ir durų rankenos, siuvimo reikmenys. Nors šis metalas nėra itin patvarus, tačiau tobulėjant technologijoms, buvo galima gerokai sumažinti tokio purškimo kainą, todėl jis yra labiausiai paplitęs pasaulyje.
Aliuminiu dengtas automobilio priekinių žibintų atšvaitas
Vakuuminis metalų nusodinimas
Be aliuminio, yra keletas vienodai paplitusių metalų, skirtų purškimui. Dėl įvairių fizinių ir cheminės savybės jie rado pritaikymą absoliučiai visose pramonės šakose. Pagrindinės purškiamų metalų paskirtys:
pagerintas laidumas;
padidinta izoliacija;
suteikiantis atsparių dilimui ir antikorozinių savybių.
Temperatūros reguliavimas dengiant dangos sluoksnį leidžia galutiniam produktui suteikti beveik bet kokį atspalvį, tai dažnai naudojama „auksinėms“ dangoms (naudojami nikelio-titano lydiniai).
Titano ir sidabro purškimas plačiai naudojamas medicinoje. Šie unikalūs metalai labai gerai sąveikauja su žmogaus organizmu ir pasižymi antibakterinėmis savybėmis. Implantai ir chirurginiai instrumentai (taip pat odontologiniai ir kiti) beveik visur padengti sidabru – tai aukšta instrumento tvirtumo ir sterilumo garantija.
Vakuuminis jonų-plazmos purškimas
Esant įtakai aukšta temperatūra danga ne tik kondensuojasi ant detalės paviršiaus, ji tiesiogine prasme iškepama ant jos, todėl galutinis produktas yra labai aukštas specifikacijas– atsparumas dilimui esant mechaniniam poveikiui ir geras atsparumas atšiaurioms oro sąlygoms.
UVN vakuuminio purškimo įrengimas
UVN tipo įrenginiai yra modernūs aukštųjų technologijų vakuuminio nusodinimo įrenginiai. Priklausomai nuo paskirties, jame gali būti bet kokie įtaisai medžiagai išgarinti ir perkelti į detalės paviršių. Struktūra:
Proceso kamera uždaro tipo– vieta, kurioje dedama dalis, kuri apdorojama vakuuminio nusodinimo proceso metu.
Valdymo blokas yra skydelis su mygtukais ir valdikliais, kurie leidžia nustatyti visus reikiamus parametrus prieš pradedant darbą. Šiuolaikinės galimybės Vakuuminiuose purškimo įrenginiuose yra skaitmeniniai ekranai, kad būtų rodomi proceso parametrai realiu laiku.
Įrenginio korpusas slepia visus svarbius įrenginio mechaninius ir elektroninius komponentus, apsaugo juos nuo atsitiktinio ir neleistino įsikišimo, taip pat užtikrina mašinos operatoriaus saugumą. Priklausomai nuo mašinos dydžio, ji komplektuojama su ratukais (su stabdžių trinkelėmis, mažiems modeliams), arba montuojama nuolat (galingoms ir produktyvioms kameroms).
Klasikinis UVN
