هدف عملکردی اصلی نصب وکیوم ایجاد و حفظ خلاء فنی است که با پمپاژ کردن مخلوط از سیستم به دست می آید. واحدهای خلاء به طور گسترده در صنایع متالورژی، نساجی، شیمیایی، خودروسازی، مواد غذایی و دارویی استفاده می شود. قسمت های اصلی نصب شامل پمپ، پنل با فیلتر و واحد کنترل دوربین می باشد.

جهت یابی:

کاربرد تاسیسات وکیوم

واحدهای خلاء را می توان برای تحقیقات آزمایشگاهی استفاده کرد. موجود در میکروسکوپ ها، کروماتوگراف ها، تبخیر کننده ها و سیستم های فیلتراسیون. برای این اهداف، واحدی که مساحت زیادی را اشغال نکند ممکن است مناسب باشد. عملکرد چنین واحدهایی مقدم نیست. اغلب این یک پمپ خلاء یا توربومولکولی است. هنگام کار با گازهای تهاجمی بهترین گزینه- پمپ غشایی

واحدهای خلاء نقش مهمی در تست تجهیزات دارند. آنها میزان لازم برای صعود را فراهم می کنند هواپیما. برای اینکه فرآیند برخاستن یا فرود با موفقیت انجام شود، لازم است از سرعت پمپاژ سریع اطمینان حاصل شود.

پمپ های خشک برای تاسیسات نیمه هادی و خلاء رسوبی، برای رسوب گذاری مواد استفاده می شود. ایده آل برای ایجاد خلاء فوق العاده بالا. اینها شامل پمپ های توربومولکولی و برودتی است.

صنعت متالورژی به طور فعال از پمپ هایی استفاده می کند که کافی است توان عملیاتی. آنها باید در برابر سایش مقاوم باشند، زیرا سیستم حاوی گرد و غبار و خاک است. پنجه و پمپ های پیچانجام پمپاژ خلاء جلو امکان استفاده از پمپ های دیفیوژن وجود دارد.

وکیوم یونیت 976A از نوع آزمایشگاهی می باشد. برای تعیین میزان اشباع آب بتن آسفالتی طراحی شده است شرایط آزمایشگاهی. حجم کاری محفظه 2 لیتر است. نصب وکیوم قابلیت ایجاد خلاء نهایی با مقدار 1x10-2 را دارد.

عناصر تاسیسات خلاء

تاسیسات وکیوم خلاء کاری را در یک حجم مهر و موم شده خاص ایجاد و حفظ می کند. به عنوان یک قاعده برای این منظور از عناصری استفاده می شود که هدف یکسانی دارند. انواع مختلفتاسیسات آنها شامل یک واحد کنترل با یک قفسه کنترل، یک واحد خلاء، یک دستگاه درپوش فرعی، سیستم های خنک کننده و یک سیستم خلاء و یک درایو بالابر درپوش هستند. سیستم خلاء از هر نوع پمپ، واحد خلاء، خطوط لوله، وکیوم گیج و نشتی الکترومغناطیسی تشکیل شده است.

واحدهای خلاء بوش

واحدهای وکیوم بوش اول از همه پمپ های خلاء باکیفیت هستند. این شرکت واحدهایی مانند مدل پره چرخشی پمپ خلاء R5 را تولید می کند. او متفاوت است کیفیت بالاو بهره وری. حداکثر فشار دستگاه از 0.1 تا 20 hPa است. سرعت پمپاژ محیط به 1800 متر مکعب در ساعت می رسد. ثانیاً اینها پمپ های بادامک و کمپرسور هستند. یکی از این مدل ها مدل Mink است. به طور گسترده در صنعت استفاده می شود. به خصوص در مواردی که نیاز به حفظ سطح خلاء ثابت است. حداکثر فشار از 20 تا 250 hPa است. سرعت پمپاژ می تواند به 1150 متر مکعب در ساعت برسد.

تاسیسات وکیوم Bulat

یکی از نمونه‌های نصب برای اجرای پوشش‌های لایه نازک، مدل Bulat است. این فیلم را با استفاده از روش خلاء پلاسما اعمال می کند. می تواند از طریق سایر مواد رسانای الکتریکی پوشش ایجاد کند. اینها مولیبدن، زیرکونیوم، نیترید و کربنیترید هستند. در ابتدا، این مدل برای پوشش دندان مصنوعی فلزی توسعه یافت. این نصب شامل یک ایستگاه پمپاژ، یک ابزار خلاء جلو و تجهیزات الکتریکی مرتبط است.

سایر تولید کنندگان سیستم های خلاء

Agilent Technologies یکی از بزرگترین تولید کنندگان تجهیزات خلاء است. این شرکت پمپ های خلاء، نشت یاب، وکیوم سنج، روغن های خلاء و سایر اجزای سیستم ها را تولید می کند.

Air Dimensions Inc. متخصص در تولید انبوه پمپ های دیافراگمی با کیفیت بالا که نمونه برداری از گازهای خورنده و همچنین کمپرسورهای دیافراگمی خشک را انجام می دهند.

ادواردز تجهیزات وکیوم آزمایشگاهی و صنعتی تولید می کند. از جمله آنها می توان به پمپ های خلاء، وکیوم سنج و غیره اشاره کرد. تجهیزات کمکی. به دلیل تولید طیف گسترده ای از پمپ ها در انواع مختلف مشهور است.

گیاهان سمپاشی وکیوم

با استفاده از واحد رسوب خلاء (VSP)، قسمت‌های مختلف با پوشش‌هایی پوشانده می‌شوند که عملکردهای رسانا، عایق، مقاوم در برابر سایش، مانع و سایر عملکردها را انجام می‌دهند. این روش در میان سایر فرآیندهای میکروالکترونیکی که در آن از متالیزاسیون استفاده می شود، رایج ترین است. به لطف چنین تاسیساتی، می توان پوشش های ضد انعکاس، فیلتر و بازتابنده را به دست آورد.

آلومینیوم، تنگستن، تیتانیوم، آهن، نیکل، کروم و غیره را می توان به عنوان مواد پوشش استفاده کرد. در صورت لزوم می توان استیلن، نیتروژن و اکسیژن را به محیط اضافه کرد. فعال شدن یک واکنش شیمیایی در حین گرم کردن، یونیزاسیون و تفکیک گاز. پس از انجام روکش، نیازی به پردازش اضافی نیست.

نصب UVN-71 P-3 قادر به آزمایش اسپری فناوری است. در تولید سریال مدارهای مختلف فیلم نقش دارد. با کمک آن، فیلم های نازک در شرایط خلاء بالا تولید می شوند. روش مورد استفاده تبخیر مقاومتی فلزات است.

واحد خلاء UV-24 تست های آزمایشگاهی بتن آسفالت را انجام می دهد. به تعیین کیفیت آن کمک می کند. ویژگی متمایزاین واحد - وجود دو مخزن پمپ شده که به یکدیگر متصل هستند.

کندوپاش مگنترون

در کندوپاش مگنترون، یک لایه نازک با استفاده از کندوپاش کاتدی رسوب می‌کند. دستگاه هایی که از این روش استفاده می کنند، کندوپاش مگنترون نامیده می شوند. این نصب می تواند باعث پاشش بسیاری از فلزات و آلیاژها شود. هنگامی که در محیط های کاری مختلف با اکسیژن، نیتروژن، دی اکسید کربن و غیره استفاده می شود. فیلم هایی با ترکیبات مختلف به دست می آید.

کندوپاش یون

اصل عملکرد یک تاسیسات یونی در خلاء بمباران مواد جامد با یون است. هنگامی که بستر در خلاء قرار می گیرد، اتم ها روی آن می افتند و یک لایه تشکیل می شود.

سایر روش های سمپاشی

پاشش خلاء را می توان با استفاده از تجهیزات دوره ای و مداوم انجام داد. نصب با عملکرد دوره ای برای تعداد معینی از محصولات فرآوری شده استفاده می شود. در تولید انبوه یا دسته ای، از تاسیسات پیوسته استفاده می شود. تجهیزات سمپاشی انواع تک محفظه ای و چند محفظه ای وجود دارد. در تاسیسات چند محفظه، ماژول های پاشش به صورت سری چیده می شوند. تمام محفظه ها با مواد خاصی پاشیده می شوند. بین ماژول ها محفظه های قفل هوا و یک دستگاه نقاله حمل و نقل وجود دارد. آنها عملیاتی را برای ایجاد خلاء، تبخیر مواد فیلم و حمل و نقل جداگانه انجام می دهند.

واحدهای خلاء

واحد پمپاژ حلقه آب خلاء نوع VVN 12 مکش هوا، گازهای غیر تهاجمی و سایر مخلوط ها را تولید می کند که نمی توانند از رطوبت و گرد و غبار پاک شوند. گاز ورودی به تاسیسات نیازی به تصفیه ندارد.

واحد خلاء دریچه قرقره AVZ 180 جهانی است، حداکثر فشار باقیمانده خوبی دارد، وزن سبکی دارد و سریع و فشرده است.

مشخصات فنی واحد شیر قرقره خلاء AVZ 180.

واحد خلاء AVR 50 قادر به پمپاژ هوا، گازهای غیر تهاجمی، بخارات و مخلوط بخار-گاز از فضاهای خلاء است. برای پمپاژ ترکیبات فوق از یک ظرف به ظرف دیگر در نظر گرفته نشده است. از دو پمپ NVD-200 و 2NVR-5DM تشکیل شده است.

شرکت ZENKO PLASM، با همکاری FHR Anlagenbau GmbH (آلمان)، سیستم‌های رسوب‌گذاری خلاء را برای میکروالکترونیک، فتوولتائیک، حسگرها، اپتیک، MEMS، نمایشگرهای ارگانیک (OLED) و برای تولید شیشه‌های معماری ارائه می‌دهد. شرکت FHR با بالاترین کیفیت ساخت آلمانی، ناوگان تجهیزات خود برای فرآیندهای نمایشی، توانایی ساخت تقریباً هر سیستمی به سفارش و بیش از 20 سال تجربه در تولید تجهیزات با تکنولوژی بالا متمایز است. در همان زمان، FHR بخشی از هلدینگ Centrotherm photovoltaics AG - یکی از رهبران جهانی در تولید تجهیزات فتوولتائیک، میکروالکترونیک و تولید نیمه هادی است. زنکو پلاسما مشاوره، تامین، راه اندازی، گارانتی و خدمات پس از گارانتی را ارائه می دهد.

سیستم های پاشش خلاء در سری های زیر ارائه می شوند:

رول به رول- سیستم های صنعتی مگنترون یا کندوپاش حرارتی لایه های فلزی، اکسیدی و نیتریدی روی لایه های پلیمری و فلزی (بر اساس اصل رول به رول) با عرض حداکثر 2400 میلی متر (2.4 متر). این سیستم ها در پردازش استفاده می شوند مواد رولبر اساس فیلم های نازک فلزی و پلیمری، در صنایع غذاییدر تولید الکترونیک انعطاف پذیر (ارگانیک)، سلول های خورشیدی انعطاف پذیر (فناوری های لایه نازک CIGS، CdTe، a-Si)، برای رسوب پوشش های نوری بسیار بازتابنده، مانع، رسانا، لایه های عایق. فرآیندهای تکنولوژیکی زیر پشتیبانی می‌شوند: کندوپاش مگنترون (حالت‌های DC، MF، RF)، تمیز کردن سطح با پرتو یون، اچینگ خشک، اسپری حرارتی، بازپخت حرارتی، رسوب شیمیایی پلاسما (PECVD) بسته به فرآیند، طراحی با a گیت بارگیری خلاء امکان پذیر است.

خط- سیستم های رسوب دهی خلاء صنعتی با پردازش افقی یا عمودی زیرلایه های شیشه ای یا فلزی تا عرض 2.2 متر و طول تا 4 متر عمدتاً برای رسوب گذاری اکسیدهای رسانای شفاف (TCO) در تولید سلول های خورشیدی لایه نازک استفاده می شود. در تولید شیشه های معماری برای بهبود ضریب انتقال حرارت و عبور نور. در تولید نمایشگرها (از جمله OLED)، در زمینه اعمال پوشش های محافظ. خط پردازش بالاترین بهره وری و کیفیت فیلم های اسپری شده را تضمین می کند. تنظیمات فردی بسته به ابعاد بستر، بهره وری و پارامترهای فرآیند رسوب ممکن است.

ستاره– این سری یک سیستم از نوع خوشه ای با پردازش تک برای تولید در مقیاس کوچک و تحقیق و توسعه در زمینه میکروالکترونیک، اپتیک، MEMS، حسگرها است. به شما امکان می دهد هم با بارگذاری تکی صفحات با قطر حداکثر 300 میلی متر و هم با کاست کار کنید. ربات مرکزی حرکت بستر را بین ماژول های تکنولوژیکی سیستم تضمین می کند. می تواند مجهز به دروازه بارگذاری ویفر، ماژول های تکنولوژیکی: اچینگ (PE، RIE)، تبخیر حرارتی، تبخیر پرتو الکترونی، بازپخت حرارتی (RTP/FLA)، کندوپاش مگنترون، رسوب شیمیایی پلاسما (PECVD، CVD)، رسوب لایه اتمی ( ALD). سیستم‌های این سری زمانی مرتبط هستند که نیاز به چندین مورد باشد فرآیندهای تکنولوژیکیدر یک نصب قابل نصب از طریق دیوار در اتاق تمیز.

جعبه– سیستم‌های رسوب‌گذاری این سری، پردازش گروهی زیرلایه‌ها را در تولید دسته‌های کوچکی از سیستم‌های نوری، MEMS و حسگرها فراهم می‌کنند. سیستم ها را می توان به یک دروازه بارگذاری خلاء مجهز کرد. بارگذاری بسترها به صورت دستی بر روی یک درام چرخان در داخل محفظه کار انجام می شود. همانطور که درام می چرخد، زیرلایه ها از بخش های مختلف کندوپاش مگنترون (DC، RF) عبور می کنند، که اجازه می دهد چندین ماده در یک فرآیند پراکنده شوند. قسمت تمیز کننده سطح پلاسما در صورت نیاز نصب می شود. به صورت اختیاری، می توان تا چندین درام از این قبیل را نصب کرد، از بارگیری دریچه استفاده کرد و همچنین در طول فرآیند رسوب گذاری، بسترها را گرم کرد. قابل نصب از طریق دیوار در اتاق تمیز.

کوچک- تاسیسات سمپاشی این سری عمدتاً برای تحقیق، توسعه و تولید در مقیاس کوچک در نظر گرفته شده است. واحدها برای پردازش تک لایه های با قطر تا 200 میلی متر، از جمله موارد مربع و مستطیل طراحی شده اند. تاسیسات اجازه رسوب لایه های فلزی و دی الکتریک را می دهد. سیستم های کندوپاش مغناطیسی و تبخیر حرارتی در دسترس هستند. سیستم ها با فشرده بودن، پیکربندی انعطاف پذیر، سهولت نصب، استفاده و نگهداری متمایز می شوند.

ما فرصتی برای ساخت اهداف برای تاسیسات کندوپاش مگنترون ارائه می دهیم. فن آوری های مدرنامکانات تولید به ما امکان می دهد اهداف مسطح و استوانه ای، از جمله موارد غیر استاندارد را طبق نقشه ها تولید کنیم. انواع زیر در دسترس هستند: فلز، آلیاژ (Al، Cr، Ti، Ni، In)، بوریدها، کاربیدها، نیتریدها، اکسیدها، سیلیسیدها، سولفیدها، تلوریدها. نیازهای خود را به ما بگویید و ما راه حل مناسبی ارائه خواهیم داد.

اطلاعات نظری

توسعه سریع تولید دستگاه‌های میکروالکترونیک (MED) در دهه اخیر منجر به ایجاد تجهیزات کاری شده است که کمترین تأثیر ممکن را بر فرآیند تشکیل لایه‌های نازک داشته باشد و امکان کنترل پارامترهای آنها را فراهم کند. در نتیجه، در حال حاضر وجود دارد انتخاب بزرگتاسیسات خلاء، قطعات، و همچنین مواد و روش های نصب که اجازه می دهد تا مشکلات پیچیده فن آوری در ساخت MEP حل شود.

فرآیند به دست آوردن لایه های نازک در محیط خلاء دستگاه زیر درپوش نصب وکیوم انجام می شود. برای کاهش فشار در دستگاه ساب کلاهک می توان از دو اصل استفاده کرد. در مرحله اول، گاز به صورت فیزیکی از محفظه خلاء خارج می شود و در خارج آزاد می شود. نمونه ای از این روش عملکرد پمپ های مکانیکی و جت بخار، بخار روغن است. روش دیگر پمپاژ بر اساس تراکم یا به دام انداختن مولکول های گاز در قسمتی از سطح محفظه خلاء بدون خارج کردن گاز به خارج است. پمپ های برودتی، گتر و یون گیر بر این اصل طراحی شده اند.

یک معیار کمی از ظرفیت انتقال یا جذب گاز یک پمپ عملکرد آن (Q) است. بهره وری به فشار در دستگاه پمپاژ شده بستگی دارد و به عنوان مقدار گازی که از طریق لوله مکش یک پمپ کار می کند در واحد زمان در t = 20 0 C تعریف می شود:

س = Fp · پ،

جایی که Fp – سرعت پمپاژ، l/s. P - فشار گازهای پمپ شده، میلی متر جیوه. هنر

پارامتر دیگری که عملکرد پمپ را مشخص می کند سرعت پمپاژ Fp است که به عنوان نسبت عملکرد پمپ به فشار جزئی یک گاز معین در نزدیکی ورودی پمپ تعریف می شود:

Fp = Q/P

اکثر پمپ های خلاء سرعت پمپاژ تقریبا ثابتی در محدوده چند مرتبه فشار گاز دارند. در بالا و پایین این ناحیه به شدت افت می کند، بنابراین پمپاژ با این نوع پمپ خلاء بی اثر می شود.

هنگام انتخاب پمپ برای نصب وکیوم، لازم است به یاد داشته باشید که خود پمپ ها، تحت شرایط خاص، منابع گازهای باقی مانده در محفظه خلاء هستند. انواع متفاوتپمپ ها از نظر کمیت و ماهیت گازهای آزاد شده بسیار متفاوت هستند. رد بخارات ترکیبات آلی ناشی از سیالات عامل مورد استفاده در پمپ ها به ویژه مضر است.

پارامترهای اصلی پمپ همچنین شامل حداکثر فشار Pg است - این حداقل فشاری است که می توان با استفاده از پمپ خلاء به دست آورد اگر خود پمپ گازها را منتشر نکند.

برای پمپ های دوار، Pg به "حجم مضر" پمپ (یعنی آن قسمت از محفظه تراکم که گاز خروجی از جسم پمپاژ شده از آن نمی تواند جابجا شود) و فشار بخار مواد مانند روغن بستگی دارد. ، برای آب بندی استفاده می شود. برای پمپ های جت بخار، Pg به سرعت مولکول های بخار در نازل، سرعت مولکول های گاز در حجم پمپ شده و وزن مولکولی گاز بستگی دارد.

فشار خارجی (ورودی) مجاز حداکثر است فشار مجازگاز در خروجی پمپ، یعنی فشاری که در آن سرعت پمپاژ همچنان برابر با حداکثر مقدار باقی می ماند. برای پمپ های خلاء جلویی که گاز را به فشار جوفشار خروجی مجاز برابر با فشار اتمسفر برای پمپ های با خلاء بالا است، فشار خروجی مجاز برابر با فشار خلاء جلویی است.

فرآیند پمپاژ یک دستگاه درپوش فرعی با حجم V و فشار اولیه P®، که توسط هر پمپ با سرعت پمپاژ Fp و فشار حداکثر Pg انجام می‌شود، می‌تواند با استفاده از یک معادله دیفرانسیل که بر اساس Boyle-Mariotte به دست آمده است، توصیف شود. قانون افت فشار در طول زمان با معادله زیر توصیف می شود:

DP/dt = Fp/V (P - Pg) (1)

حل این معادله دیفرانسیل مشخصه ای از تغییر فشار P در مخزن پمپ شده با زمان t را نشان می دهد.

در مورد پمپ "ایده آل" Fp = Fp max = const - مشخصه پمپ P یک خط مستقیم است. سرعت پمپاژ Fp همه پمپ های فنیبر خلاف موارد "ایده آل"، به فشار بستگی دارد , و بنابراین، مشخصات زمانی تغییرات فشار معمولاً نه با محاسبه، یعنی با ادغام معادله 1، بلکه از آزمایش تعیین می شود.

دستگاه نصب پاشش خلاء

نصب وکیوم برای ایجاد و حفظ خلاء در حجم کار (دستگاه زیر کلاهک) طراحی شده است. نصب شامل یک واحد خلاء و یک پایه کنترل است. از نظر ساختاری، واحد خلاء (شکل 1.1) یک محفظه 1 است که روی آن یک دستگاه زیر درپوش 2 نصب شده است. سیستم گازو یک درایو هیدرولیک برای بلند کردن کاپوت. در دستگاه زیر درپوش، فشار گاز عملیاتی از 1·10 -3 تا 5·10 -4 mm Hg تنظیم شده است. هنر و مواد هدف پراکنده شده با استفاده از دستگاه کندوپاش بر روی بستر رسوب می کنند.

سیستم خلاء تاسیسات (شکل 1.2) شامل یک پمپ مکانیکی NVR-5D و یک واحد خلاء VA-2-3R-N، یک جعبه شیر، یک نشتی الکترومغناطیسی، خطوط لوله و سنسورهایی برای اندازه گیری فشار است.

شکل 1.1. ظاهرتاسیسات: 1 – بدنه; 2 - کلاهک 3- سیستم

خلاء؛ 4 – سیستم خنک کننده 5 – مکانیسم اختلاط

6 – دستگاه اسپری 7 – جعبه شیر؛ 8 – وکیوم گیج

خطوط لوله سیستم خلاء آن را به پمپ مکانیکی، دستگاه زیر درپوش و لوله خروجی پمپ روغن بخار متصل می کند. شیر نشتی برای کاهش فشار حجم کار طراحی شده است.

وسایل پمپاژ سیستم خلاء تاسیسات توسط واحد کنترل سیستم خلاء کنترل می شود.

برای راه اندازی پمپ مکانیکی، باید کلید ضامن مربوطه را در صفحه کنترل روشن کنید. در این حالت استارت مغناطیسی راه اندازی می شود که با یک کنتاکت به طور معمول باز قفل می شود و با سه کنتاکت دیگر موتور الکتریکی را روشن می کند که پمپ الکترومکانیکی را در واحد خلاء به حرکت در می آورد.

شکل 1.2. سیستم نصب وکیوم: 1 – پمپ مکانیکی NVR-5D;

2 – دسته پایینی جعبه شیر؛ 3 – نشت الکترومغناطیسی

4 – دسته بالایی جعبه شیر؛ 5 – جعبه سوپاپ؛

6 – ترموکوپل; 7 – سنسور فشار 8 – شیر نشتی؛

9 - کرکره; 10 – واحد خلاء نوع VA-2-3RM; 11 - خطوط لوله

برای روشن کردن پمپ مکانیکی، باید کلید ضامن مربوطه را روی صفحه کنترل روشن کنید. در این حالت یک استارت مغناطیسی راه اندازی می شود که

یک کنتاکت معمولاً باز به حالت قفل خودکار می رود و سه کنتاکت دیگر موتور الکتریکی را که پمپ الکترومکانیکی را در واحد خلاء به حرکت در می آورد روشن می کند.

روشن کردن بخاری پمپ روغن بخار EN-1 تنها پس از روشن کردن پمپ مکانیکی امکان پذیر است، زیرا استارت مغناطیسی از طریق یک تماس معمولی باز استارت مغناطیسی تغذیه می شود و لامپ سیگنال روی پانل کنترل روشن می شود.

با کمک جعبه شیر 2، کلیه سوئیچینگ های سیستم خلاء لازم برای عملیات نصب فراهم می شود. کنترل جعبه سوپاپ در ستون جلوی دستگاه قرار دارد (شکل 1.1). هنگامی که دسته بالایی پمپ مکانیکی بیرون کشیده می شود، حجم کار دستگاه زیر درپوش به بیرون پمپ می شود، حفره پمپ روغن بخار خارج می شود.

نشتی الکترومغناطیسی روی جعبه شیر 5 قرار دارد و طوری طراحی شده است که هوای اتمسفر را وارد خط لوله یک پمپ مکانیکی کند.

نشتی الکترومغناطیسی توسط کلید "سرب" واقع در واحد کنترل سیستم خلاء روشن می شود. نشتی فقط در صورتی عمل می کند که پمپ مکانیکی خاموش باشد. هنگامی که دسته پایینی جعبه شیر باز می شود، همان نشتی هوای جو را به داخل حفره پمپ روغن بخار می دهد. از نظر ساختاری، نشتی یک سلونوئید است که قسمت انتهایی آن به صورت شیر ​​آب بندی ساخته شده است. دریچه دارای یک فیلتر شیشه ای متخلخل است که ذرات گرد و غبار موجود در هوا را به دام می اندازد.

کنترل خلاء توسط یک گیج خلاء VIT-2 از سنسورهای متصل به آن با سوئیچ "Sensor selection" انجام می شود.

هنگامی که سوئیچ "Sensor Selection" در موقعیت "1" قرار می گیرد، گیج خلاء خلاء کم را در خط مقدم اندازه گیری می کند. هنگامی که بر روی موقعیت "2" تنظیم می شود، خلاء بالا در دستگاه زیر درپوش با استفاده از یک سنسور فشار یونیزاسیون هنگامی که به موقعیت "0" تغییر می کند، هر دو سنسور خاموش می شوند.

پمپ خلاء مکانیکی. یک پمپ از نوع روتور پره ای با مهر و موم روغن برای پمپاژ هوا، گازهای غیرفعال شیمیایی و مخلوط بخار-گاز طراحی شده است که بر مواد ساختاری و سیال کار تأثیر نمی گذارد. چنین پمپ هایی معمولاً می توانند بخارات متراکم و مخلوط بخار-گاز با غلظت های قابل قبول را پمپاژ کنند.

فرآیند پمپاژ گازها در پمپ های پره ای دوار بر اساس مکش مکانیکی گاز به دلیل افزایش دوره ای در محفظه کار است.

اصل عملکرد چنین پمپی در شکل 1.3 نشان داده شده است و به شرح زیر است.

شکل 1.3. پمپ پره ای دوار: 1 – سیلندر; 2 - روتور؛ 3 - تیغه های شانه؛

4 - بهار 5 – شیر؛ A و B - حفره ها

در سیلندر 1، روتور 2 که به طور غیرعادی نصب شده است، در جهت مشخص شده توسط فلش ​​می چرخد. هنگامی که روتور می چرخد، پره ها در امتداد سطح داخلی سیلندر می لغزند، حفره ای که توسط سیلندر، روتور و تیغه ها تشکیل شده است به حفره A و حفره B تقسیم می شود.

با چرخش روتور، حجم حفره A به صورت دوره ای افزایش می یابد و گاز از سیستم پمپ شده وارد آن می شود. حجم حفره B به طور دوره ای کاهش می یابد و فشرده سازی در آن رخ می دهد. گاز فشرده از طریق شیر 5 آزاد می شود. آب بندی بین حفره های مکش A و فشرده سازی B با استفاده از یک فیلم روغن انجام می شود. پمپ تک مرحله ای اینگونه عمل می کند. در طراحی دو مرحله ای خروجی مرحله اول به ورودی مرحله دوم متصل شده و گاز از طریق شیر وارد اتمسفر می شود.

تمام پمپ های پره ای دوار طراحی مشابهی دارند، اما در اندازه متفاوت هستند که سرعت پمپاژ پمپ ها را تعیین می کند. طراحی یک پمپ پره ای دوار تک مرحله ای در شکل 1.4 نشان داده شده است.

هنگام اتصال پمپ به سیستم خلاء، خط لوله باید دارای طول کوتاه و قطر زیاد باشد که کمتر از قطر ورودی پمپ نباشد. عدم رعایت این شرایط منجر به کاهش سرعت پمپاژ پمپ می شود.

پمپ پره ای چرخشی مکانیکی VN-05-2 مورد استفاده در نصب دارای موارد اصلی زیر است ویژگی های عملکرد:

سرعت پمپاژ 0.5 لیتر در ثانیه

فشار باقیمانده 5·10 -3 میلی متر جیوه. هنر

پمپ روغن بخار با خلاء بالا.پمپ روغن بخار با خلاء بالا N-05 برای پمپاژ هوا، گازهای غیر تهاجمی، بخارات طراحی شده است.

و مخلوط بخار و گاز

پمپ فقط باید همراه با یک پمپ پیش تخلیه کمکی کار کند. محل پمپ روغن بخار در یک سیستم خلاء بالا در شکل 1.5 نشان داده شده است.

پمپ های روغن بخار سه مرحله ای پرکاربرد از اجزای اصلی زیر تشکیل شده اند: محفظه، خط بخار، بخاری برقی، اسلینگر روغن و رله هیدرولیک. طراحی پمپ در شکل 1.5 نشان داده شده است.

محفظه پمپ 1 یک استوانه فولادی است که کف آن به آن جوش داده شده است، یک فلنج ورودی 2، یک لوله خروجی با یک فلنج 3. برای نصب قطعات اجکتور، یک فلنج مهر و موم شده 4 روی لوله خروجی وجود دارد.

شکل 1.5. فرم کلیپمپ: 1 – بخاری برقی; 2 - خط بخار 3 - بدن؛ 4 – روغن گیر 5 – نازل؛ 6 – پد باسن

7 - نازل؛ 8 – پد باسن 9 – نازل اجکتور

بخش ساختاری اصلی پمپ یک خط بخار است که در آن روغن به گونه‌ای گردش می‌کند که بخارات روغن از دیگ بخار واقع در قسمت پایین محفظه از طریق کانال‌های رسانای بخار وارد نازل‌های بالا، پایین و اجکتور می‌شوند و از آن خارج می‌شوند. از جایی که روی دیواره های سرد محفظه پمپ و لوله خروجی متراکم می شوند. روغن با جریان در دیگ ابتدا وارد قسمتی از دیگ شده که به آخرین نازل (اگزوز) متصل است و در آخر با عبور از لابیرنت وارد قسمتی می شود که به حیاتی ترین خط بخار داخلی متصل است که بخار را به بخار بالا می رساند. نازل خلاء به همین دلیل، نازل پر خلاء نزدیک به جسم پمپ شده تنها روی روغنی کار می کند که کمترین فشار بخار اشباع را دارد، و نازل نزدیک به پمپ پیش تخلیه روی سبک ترین بخش ها کار می کند.

خط بخار پمپ سه مرحله ای است. دو مرحله اول از نوع چتری و مرحله سوم اجکتور است. بخارات نفت از دیگ بخار از طریق خطوط بخار به نازل های سه مرحله پمپ می روند و با خروج از آنها، جت هایی را تشکیل می دهند. گاز پمپ شده به داخل جت های بخار منتشر می شود و توسط آنها به منطقه پیش تخلیه منتقل می شود. بخار پس از رسیدن به دیواره خنک شده پمپ، متراکم می شود و دوباره به دیگ جریان می یابد.

پمپ به ترتیب زیر شروع به کار می کند:

الف) پمپ خلاء جلو را روشن کنید و با باز کردن شیر، سیستم را پمپ کنید

با پمپ روغن بخار تا فشار 5·10 -2 - 1·10 -2 mm Hg. هنر.

ب) اجازه دهید آب داخل بدنه پمپ خنک شود.

ج) بخاری برقی پمپ روغن بخار را روشن کنید.

برای متوقف کردن پمپ، بخاری برقی پمپ را روشن کنید و آب را برای خنک کردن قسمت پایینی آن تامین کنید. پس از خنک شدن پمپ، شیر را ببندید، پمپ خلاء جلو را خاموش کنید و آب را قطع کنید.

مشخصات اصلی پمپ روغن بخار:

حداکثر فشار باقیمانده بیش از 5·10 -7 میلی متر جیوه نیست. هنر

سرعت پمپاژ Fp 500 l/s

حداکثر فشار خروجی کمتر از 0.25 میلی متر جیوه نیست. هنر

جریان هوای جوی بیش از 0.02 لیتر در میلی متر جیوه نیست. st./s

درجه روغن VM-1 GOST 7904-56

تخلیه اولیه VN-2MG یا NVR-5D

رویه اجرای کار

1. نصب را روشن کنید، که برای آن دستگاه "شبکه" به موقعیت "روشن" است.

2. پمپ مکانیکی را با حرکت دادن کلید سوئیچ به موقعیت «روشن» روشن کنید.

3. حجم پمپ روغن بخار را تخلیه کنید، شیر پایین جعبه شیر را باز کنید.

4. بخاری پمپ روغن بخار را با کلید ضامن «روشن» روشن کنید.

5. 35 - 40 دقیقه پس از روشن کردن بخاری پمپ روغن بخار، فیدر نیتروژن را روشن کنید.

6. پس از گرم کردن پمپ روغن بخار، شیر پایینی را ببندید و با باز کردن دریچه بالایی جعبه شیر، پمپاژ اولیه زیر درپوش را انجام دهید.

7. مشخصه P(t) را در حین پمپاژ بر روی یک پمپ مکانیکی برای این کار، هر 10 دقیقه یک بار به مدت یک ساعت ثبت کنید. داده ها را در یک جدول خلاصه کنید و منحنی P(t) را رسم کنید.

8. مشخصه P(t) برای پمپ انتشار را بردارید و رسم کنید. آزمایش را به همان روشی که در بند 7 آمده است انجام دهید.

9. ارزیابی قابلیت های هر دو پمپ زمانی که به سطح پیش خلاء رسید: مکانیکی در 40 دقیقه، خلاء بالا در عرض 1 ساعت.

10. در مورد خلاء اولیه ای که می توان با سیستم پمپاژ پیشنهادی به دست آورد، نتیجه گیری کنید.

11. داده های به دست آمده در طول آزمایش را در قالب جداول و نمودار ارائه دهید.

سوالات کنترلی

1. خلاء چگونه طبقه بندی می شود؟ اصل عملیات نصب رسوب خلاء و هدف اجزا را توضیح دهید.

2. ترتیب صحیح روشن و خاموش کردن پمپ های وکیوم را در تاسیسات وکیوم توضیح دهید. توضیح دهید که چگونه خلاء نهایی که می توان در چنین نصبی به دست آورد محدود است.

3. عملکرد پمپ روغن بخار را توضیح دهید.

4. عملکرد پمپ مکانیکی را توضیح دهید.

5. اصل اندازه گیری خلاء و عملکرد حسگرهای ترمیونیک و یونیزاسیون را توضیح دهید.

6. هدف و عملکرد شیر نشتی را توضیح دهید.

7. اصل عملکرد و ساختار تله های نیتروژن و الکترومغناطیسی را توضیح دهید.

8. در مورد ویژگی های خلاء بدست آمده از نصب نظر دهید.

اصلاح انواع طرح ها، قطعات و عناصر عملکردیاغلب با تغییر کامل ساختار مواد انجام می شود. برای این منظور از روش های عملیات حرارتی عمیق، پلاسما و شیمیایی استفاده می شود. اما بخش گسترده ای از روش ها برای تغییر خواص عملکرد از طریق پوشش های خارجی نیز وجود دارد. چنین روش هایی شامل متالیزاسیون خلاء است که به لطف آن می توان ویژگی های تزئینی، رسانایی، بازتابی و سایر ویژگی های مواد را بهبود بخشید.

اطلاعات کلی در مورد تکنولوژی

ماهیت روش این است که ذرات فلز را روی آن اسپری کنید سطح کار. فرآیند تشکیل یک پوشش جدید به دلیل تبخیر فلزات دهنده در شرایط خلاء رخ می دهد. چرخه فن آوری شامل انجام چندین مرحله از تغییرات ساختاری در پایه هدف و عناصر پوشش است. به طور خاص، فرآیندهای تبخیر، تراکم، جذب و تبلور متمایز می شوند. روش کلیدی را می توان برهمکنش ذرات فلز با سطح تحت شرایط یک محیط گاز ویژه نامید. در این مرحله تکنولوژی متالیزاسیون خلاءفرآیندهای انتشار و اتصال ذرات به ساختار قطعه کار را تضمین می کند. در خروجی، بسته به حالت های پاشش، ویژگی های پوشش و نوع قطعه کار، می توان اثرات متنوعی را به دست آورد. ابزارهای فنی مدرن نه تنها بهبود کیفیت عملکرد فردی یک محصول را ممکن می‌سازد، بلکه می‌تواند با دقت بالا ویژگی‌های سطح را در مناطق جداگانه متمایز کند.

تجهیزات مورد استفاده

سه گروه اصلی از ماشین آلات مورد استفاده برای این فناوری وجود دارد. این تجهیزات پیوسته، نیمه پیوسته و دسته ای هستند. بر این اساس، آنها از نظر سازماندهی کلی فرآیند پردازش متفاوت هستند. واحدهای پیوسته اغلب در تولید سریالکه در آن متالیزاسیون در خلاء مورد نیاز است. تجهیزات این نوع می توانند تک یا چند محفظه باشند. در حالت اول، واحدها به سمت انجام مستقیم متالیزاسیون گرایش دارند. مدل های چند محفظه همچنین امکان اجرای رویه های اضافی - آماده سازی اولیه محصول، کنترل، حرارت درمانیو غیره. این رویکرد به ما اجازه می دهد تا فرآیند تولید را بهینه کنیم. ماشین آلات متالیزاسیون ناپیوسته و نیمه پیوسته معمولاً دارای یک محفظه اصلی هستند. دقیقاً به دلیل بی‌نظمی بودن تولید است که از آنها برای یک روش خاص استفاده می‌شود و عملیات آماده‌سازی و کنترل کیفیت یکسان به ترتیب جداگانه انجام می‌شود - گاهی اوقات به صورت دستی بدون خطوط خودکار. اکنون ارزش آن را دارد که نگاه دقیق تری به اجزای این چنین واحدها داشته باشیم.

طراحی ماشین آلات متالیزاسیون

علاوه بر محفظه اصلی، جایی که فرآیندهای رسوب گذاری انجام می شود، تجهیزات شامل بسیاری از سیستم های کمکی و اجزای عملکردی است. اول از همه، شایان ذکر است که منابع مستقیم مواد اسپری شده، که ارتباطات آنها به مجتمع توزیع گاز متصل است، برجسته شود. برای اینکه نصب متالیزاسیون خلاء پارامترهای مورد نیاز برای یک کار پردازشی خاص را فراهم کند، کانال های خوراک رسوب دهی با تنظیم کننده ها به ویژه اجازه می دهد تا سطح دما، سرعت جریان و حجم ها را تنظیم کند. به طور خاص، این زیرساخت توسط نشتی ها، پمپ ها، شیرها، عناصر فلنج و سایر اتصالات تشکیل شده است.

در تاسیسات مدرن، برای تنظیم یکسان پارامترهای عملیاتی، از سنسورهای متصل به یک واحد ریزپردازنده استفاده می شود. با در نظر گرفتن الزامات مشخص شده و رفع موارد فعلی ارزش های واقعی، تجهیزات می توانند حالت های پردازش را بدون مشارکت اپراتور تنظیم کنند. همچنین، برای تسهیل فرآیندهای عملیاتی، تجهیزات با سیستم های تمیز کردن و کالیبراسیون درون محفظه تکمیل می شود. به لطف چنین تجهیزاتی، تعمیر متالیزاسیون خلاء دستگاه ساده شده است، زیرا تمیز کردن مداوم و به موقع خطرات بارگذاری بیش از حد موتورهای پنوماتیک، دستکاری کننده ها و مدارهای ارتباطی را به حداقل می رساند. دومی به طور کامل به عنوان یک قطعه مصرفی در نظر گرفته می شود که جایگزینی آن در واحدهای پیوسته به عنوان بخشی از تعمیر و نگهداری منظم انجام می شود.

مواد مورد نظر برای متالیزاسیون

اول از همه، روکش های فلزی، که می توانند از آلیاژهای خاص ساخته شوند، تحت این روش قرار می گیرند. پوشش اضافی برای ایجاد یک لایه ضد خوردگی، بهبود کیفیت سیم کشی برق یا تغییر مورد نیاز است خواص تزئینی. در سال های اخیر، متالیزاسیون خلاء به طور فزاینده ای در رابطه با محصولات پلیمری مورد استفاده قرار گرفته است. این فرآیند دارای ویژگی های خاص خود است که توسط ویژگی های ساختار اشیاء از این نوع تعیین می شود. این فناوری کمتر برای محصولاتی که دارای سختی پایین هستند استفاده می شود. این امر در مورد چوب و برخی از مواد مصنوعی صدق می کند.

ویژگی های متالیزاسیون پلاستیک ها

پاشش روی سطح قطعات پلاستیکی نیز می تواند خواص الکتریکی، فیزیکی و شیمیایی آن را تغییر دهد. متالیزاسیون اغلب به عنوان وسیله ای برای بهبود کیفیت نوری چنین قطعاتی استفاده می شود. مشکل اصلی هنگام انجام چنین عملیاتی، فرآیند تبخیر حرارتی شدید است که به ناچار بر جریان ذرات پاشش کننده سطح عنصر فشار وارد می کند. بنابراین، رژیم های خاصی برای تنظیم انتشار مواد پایه و جرم مصرفی مورد نیاز است.

متالیزاسیون وکیوم پلاستیک ها که ساختار سفت و سختی دارند نیز ویژگی های خاص خود را دارد. که در در این موردوجود لاک های محافظ و پرایمینگ مهم خواهد بود. برای حفظ سطح چسبندگی کافی برای غلبه بر موانع این فیلم‌ها، ممکن است نیاز به افزایش انرژی قرار گرفتن در معرض حرارت باشد. اما در اینجا دوباره مشکل با خطر تخریب ساختار پلاستیکی تحت تأثیر جریان گرما ایجاد می شود. در نتیجه برای از بین بردن تنش اضافی در محیط کاراجزای اصلاح کننده مانند نرم کننده ها و حلال ها برای حفظ شکل قطعه کار در شرایط بهینه، بدون توجه به شرایط دما، معرفی می شوند.

ویژگی های پردازش مواد فیلم

فن آوری های تولید مواد بسته بندی شامل استفاده از متالیزاسیون برای فیلم های PET است. این فرآیند باعث آلومینیوم شدن سطح می شود که به همین دلیل قطعه کار دارای استحکام و مقاومت بالاتری است تاثیرات خارجی. بسته به پارامترهای پردازش و الزامات پوشش نهایی، راه های مختلفسینک حرارتی. از آنجایی که فیلم به دما حساس است، یک روش رسوب اضافی معرفی شده است. مانند پلاستیک، به شما امکان می دهد تعادل حرارتی را تنظیم کنید و محیط بهینه را برای قطعه کار حفظ کنید. ضخامت فیلم های پردازش شده با استفاده از روش متالیزاسیون رول خلاء می تواند بین 3 تا 50 میکرون باشد. فناوری‌هایی به تدریج معرفی می‌شوند که پوشش‌های مشابهی را بر روی سطوح مواد با ضخامت 0.9 میکرون ارائه می‌کنند، اما در بیشتر موارد این هنوز فقط آزمایشی است.

متالیزاسیون بازتابنده ها

این نیز یک منطقه جداگانه برای استفاده از متالیزاسیون است. هدف در این مورد چراغ های جلو اتومبیل است. طراحی آنها حضور بازتابنده هایی را فراهم می کند که با گذشت زمان کیفیت عملکرد خود را از دست می دهند - محو می شوند ، زنگ می زنند و در نتیجه غیر قابل استفاده می شوند. علاوه بر این، حتی یک چراغ جلوی جدید نیز ممکن است به طور تصادفی آسیب ببیند که نیاز به تعمیر و بازسازی دارد. دقیقاً این وظیفه است که متالیزاسیون خلاء بازتابنده ها به سمت آن سوق داده می شود و رسوب مقاوم در برابر سایش را روی سطح آینه فراهم می کند. پرکردن سازه خارجی با ذرات متالایز از یک سو عیوب جزئی را برطرف می کند و از سوی دیگر به عنوان یک پوشش محافظ عمل می کند و از آسیب های احتمالی در آینده جلوگیری می کند.

سازماندهی فرآیند در خانه

بدون تجهیزات خاص، می توان از فناوری پوشش شیمیایی سطح استفاده کرد، اما پردازش خلاء در هر صورت نیاز به یک محفظه مناسب دارد. در مرحله اول، خود قطعه کار آماده می شود - باید آن را تمیز، چربی زدایی و در صورت لزوم سمباده زد. سپس جسم در یک محفظه متالیزاسیون خلاء قرار می گیرد. شما همچنین می توانید تجهیزات ویژه ای را روی ریل از عناصر پروفیل با دستان خود بسازید. اگر پردازش به طور منظم برنامه ریزی شود، این یک راه مناسب برای بارگیری و تخلیه مواد خواهد بود. به اصطلاح شمش به عنوان منبع ذرات متالیزاسیون - ساخته شده از آلومینیوم، برنج، مس و غیره استفاده می شود. پس از این، دوربین تنظیم می شود. حالت بهینهپردازش و فرآیند سمپاشی آغاز می شود. محصول نهایی را می توان بلافاصله پس از متالیزاسیون به صورت دستی با مواد کمکی پوشش داد. پوشش های محافظبر اساس لاک ها

بازخورد مثبت در مورد تکنولوژی

این روش دارای ویژگی های مثبت بسیاری است که توسط کاربران محصولات نهایی در زمینه های مختلف مورد توجه قرار می گیرد. به طور خاص، خواص محافظتی بالای پوشش نشان داده شده است که از خوردگی و تخریب مکانیکی پایه جلوگیری می کند. مصرف کنندگان معمولی همچنین به محصولاتی که در معرض متالیزاسیون خلاء قرار گرفته اند به منظور بهبود یا تغییر کیفیت تزئینی خود پاسخ مثبت می دهند. کارشناسان همچنین بر ایمنی زیست محیطی این فناوری تاکید دارند.

بررسی های منفی

از معایب این روش پردازش محصولات می توان به پیچیدگی سازمان فنی فرآیند و الزامات بالا برای اقدامات آماده سازی قطعه کار اشاره کرد. و این به معنای استفاده از تجهیزات پیشرفته نیست. فقط با کمک آن می توانید سمپاشی با کیفیت بالا به دست آورید. هزینه نیز در لیست معایب متالیزاسیون خلاء گنجانده شده است. هزینه پردازش یک عنصر می تواند 5-10 هزار روبل باشد. بسته به مساحت ناحیه مورد نظر و ضخامت پوشش. نکته دیگر این است که متالیزاسیون سریالی هزینه هر محصول را کاهش می دهد.

سرانجام

تغییر خواص فنی، فیزیکی و تزئینی برخی از مواد، امکان استفاده بیشتر از آنها را افزایش می دهد. توسعه روش متالیزاسیون خلاء منجر به ظهور مناطق خاصی از پردازش با تمرکز بر کیفیت عملکرد خاص شد. فن‌آوران همچنین در تلاش هستند تا فرآیند رسوب‌گذاری را ساده‌تر کنند، که امروزه به شکل کاهش اندازه تجهیزات و کاهش رویه‌های پس از پردازش آشکار می‌شود. در مورد استفاده از این تکنیک در خانه، این مشکل ترین روش پوشش است، زیرا نیاز به مهارت های ویژه ای برای اجرا کننده دارد. وسایل فنی. از سوی دیگر، بیشتر روش های موجوداسپری اجازه نمی دهد تا پوشش هایی با همان کیفیت به دست آورید - خواه یک لایه محافظ باشد یا سبک سازی تزئینی.

برای به دست آوردن ظاهر قابل فروش و ویژگی های فنی خاص در تولید مدرن، تمام محصولات نهایی روکش می شوند مواد مختلف. این موضوع به ویژه برای قطعات فلزی مهم است، جایی که پوشش نقش تزئینی ایفا نمی کند، بلکه فلز را از خوردگی و سایر عوامل محیطی مضر محافظت می کند.

اسپری وکیوم

در تولید مدرن، پیشرفته ترین تکنولوژی برای اعمال پوشش روی قطعات، رسوب در خلاء است. این فناوری شامل تراکم مستقیم بخار از پوشش اعمال شده بر روی سطح قطعه است. سه مرحله اصلی چنین سمپاشی وجود دارد:

تبخیر ماده ای که از آن پوشش ایجاد می شود.

انتقال بخار ایجاد شده به سطحی که ماده روی آن اعمال می شود.

متراکم شدن بخار بر روی سطح یک قطعه و ایجاد پوشش از آن.

نصب برای آبکاری کروم چرخ های آلیاژی

روش های رسوب در خلاء

علاوه بر خلاء، سایر فرآیندهای فیزیکی نیز می توانند در کندوپاش دخیل باشند. طبقه بندی زیر برای موادی که روی سطح اسپری می شوند نیز اعمال می شود.

پاشش پلاسما وکیوم

پوشش قوس خلاء طبق مکانیسم زیر انجام می شود. کاتد سطحی است که فیلم باید روی آن اعمال شود و آند بستر تخلیه گاز است. هنگامی که قوس اتمسفر را به حداکثر دما گرم می کند، ماده کندوپاش به فاز گازی تبدیل می شود و به کاتد منتقل می شود. سپس مولکول های اسپری روی سطح محصول متراکم می شوند و یک لایه همگن تشکیل می دهند. یکنواختی در تاسیسات پاشش قوس خلاء را می توان تا زمانی که محصول اولیه با الگوهای اسپری به دست آمد تنظیم کرد.

این فناوری پیچیده برای اعمال پوشش های فوق سخت بر روی ابزارهای برش و حفاری استفاده می شود. مته های قوی و مقاوم در برابر سایش برای چکش های دوار با استفاده از اسپری پلاسمای خلاء ایجاد می شوند.

مته های چکشی با مقاومت بالا

کندوپاش یون خلاء

در نظر گرفته شده دوستدار محیط زیست ترین راه برای پوشش سطح فلزی. نقطه ضعف این است که تجهیزات گران است.

با این حال، الزامات سختگیرانه ای نیز برای تمیزی سطح اعمال می شود نتیجه نهاییفراتر از همه انتظارات پوشش اعمال شده با یکنواختی، استحکام و مقاومت در برابر سایش بالا مشخص می شود، بنابراین، به این ترتیب، پوشش ها بر روی قطعات و مکانیسم هایی که در شرایط سخت آب و هوایی عمل می کنند، پاشیده می شوند. این آخرین عملیاتی است که پس از آن پردازش بیشتر قطعات مجاز نیست - نباید جوش یا برش وجود داشته باشد.

رسوب خلاء آلومینیوم

استفاده از آلومینیوم محبوب ترین روش متالیزاسیون تقریباً هر سطحی در نظر گرفته می شود. تطبیق پذیری آلومینیوم به آن اجازه می دهد تا روی سطوح غیر معمول مانند پلاستیک و شیشه اعمال شود و بر خلاف سایر فلزات، برای دوام نیازی به پوشش لاک اضافی ندارد. آلومینیوم معمولاً برای اهداف تزئینی استفاده می شود - برای لوازم جانبی خودرو و بازتابنده چراغ های جلو، لوازم آرایشی، دستگیره های کابینت و در و لوازم جانبی خیاطی استفاده می شود. اگرچه این فلز از دوام بالایی برخوردار نیست، اما توسعه فناوری هزینه این گونه سمپاشی ها را بسیار کاهش داده است و آن را به گسترده ترین در جهان تبدیل کرده است.

بازتابنده چراغ خودرو با روکش آلومینیومی

رسوب خلاء فلزات

علاوه بر آلومینیوم، تعدادی فلز به همان اندازه رایج برای پاشش وجود دارد. به دلیل مختلف فیزیکی و خواص شیمیاییآنها کاملاً در همه صنایع کاربرد پیدا کرده اند. اهداف اصلی فلزات اسپری شده:

بهبود هدایت؛

افزایش عایق؛

ایجاد خواص مقاوم در برابر سایش و ضد خوردگی.

تنظیم دما هنگام اعمال یک لایه پوشش به شما امکان می دهد تقریباً هر سایه ای به محصول نهایی بدهید که اغلب برای اعمال پوشش های "طلا" استفاده می شود (آلیاژهای نیکل-تیتانیوم استفاده می شود).

پاشیدن تیتانیوم و نقره به طور گسترده در پزشکی استفاده می شود. این فلزات منحصر به فرد با بدن انسان تعامل بسیار خوبی دارند و دارای خواص ضد باکتریایی هستند. ایمپلنت ها و ابزارهای جراحی (و همچنین دندانپزشکی و غیره) تقریباً در همه جا با نقره پوشانده شده اند - تضمین بالایی برای استحکام و عقیم بودن ابزار.

کندوپاش یون-پلاسما در خلاء

تحت نفوذ دمای بالاپوشش نه تنها روی سطح قطعه متراکم می شود، بلکه به معنای واقعی کلمه روی آن پخته می شود، که محصول نهایی را بسیار بالا می دهد. مشخصات فنی- مقاومت در برابر سایش تحت فشار مکانیکی و مقاومت خوب در شرایط آب و هوایی سخت.

نصب پاشش خلاء UVN

دستگاه هایی از نوع UVN، تاسیسات رسوب گذاری خلاء مدرن با تکنولوژی بالا هستند. بسته به هدف می توان آن را به هر وسیله ای برای تبخیر ماده و انتقال آن به سطح قطعه مجهز کرد. ساختار:

اتاق فرآیند نوع بسته– ناحیه ای که قطعه در آن قرار می گیرد که در طی فرآیند رسوب خلاء پردازش می شود.

واحد کنترل یک پنل با دکمه ها و کنترل است که به شما امکان می دهد قبل از شروع کار تمام پارامترهای لازم را تنظیم کنید. گزینه های مدرنواحدهای پاشش خلاء مجهز به نمایشگرهای دیجیتال برای نمایش پارامترهای فرآیند در زمان واقعی هستند.

محفظه واحد تمام اجزای مکانیکی و الکترونیکی مهم واحد را پنهان می کند و از آنها در برابر مداخلات تصادفی و غیرمجاز محافظت می کند و همچنین ایمنی اپراتور دستگاه را تضمین می کند. بسته به اندازه دستگاه، مجهز به چرخ (با لنت ترمز، برای مدل های کوچک) یا نصب دائمی (برای دوربین های قدرتمند و سازنده) است.

UVN کلاسیک