رسوب خلاء بر اساس ایجاد یک جریان هدایت شده از ذرات (اتم ها، مولکول ها، خوشه ها) از مواد اعمال شده بر روی سطح محصولات و تراکم آنها است.
این فرآیند شامل چندین مرحله است: انتقال ماده یا ماده اسپری شده از فاز متراکم به فاز گاز، انتقال مولکول های فاز گاز به سطح محصول، تراکم آنها بر روی سطح، تشکیل و رشد هسته ها. ، و شکل گیری یک فیلم.
اسپری وکیوم- انتقال ذرات ماده پاشیده شده از منبع (محل انتقال آن به فاز گاز) به سطح قطعه در طول مسیرهای مستقیم در خلاء 10-2 Pa و زیر (تبخیر خلاء) انجام می شود. و با انتشار و انتقال همرفتی در پلاسما در فشارهای 1 Pa (کندوپاش کاتد) و 10 -1 -10 -2 Pa (مگنترون و کندوپاش یون پلاسما). سرنوشت هر ذره از ماده اسپری شده در اثر برخورد با سطح قطعه به انرژی، دمای سطح و میل شیمیایی مواد فیلم و قطعه بستگی دارد. اتم‌ها یا مولکول‌هایی که به سطح می‌رسند می‌توانند از آن منعکس شوند یا جذب شوند و پس از مدتی آن را ترک کنند (واجذب)، یا جذب شوند و یک متراکم در سطح ایجاد کنند (تراکم). در انرژی ذرات بالا، دمای سطح بالا و میل ترکیب شیمیایی کم، ذره توسط سطح منعکس می شود.
دمای سطح یک قطعه که در بالای آن همه ذرات از آن منعکس شده و لایه ای تشکیل نمی شود، دمای بحرانی رسوب خلاء نامیده می شود. مقدار آن به ماهیت مواد فیلم و سطح قطعه و به وضعیت سطح بستگی دارد. در شارهای بسیار کم ذرات تبخیر شده، حتی اگر این ذرات روی سطح جذب شوند، اما به ندرت با ذرات مشابه دیگر برخورد کنند، جذب می شوند و نمی توانند هسته تشکیل دهند، به عنوان مثال. فیلم رشد نمی کند چگالی شار بحرانی ذرات تبخیر شده برای دمای سطح معین، کمترین چگالی است که در آن ذرات متراکم شده و یک لایه تشکیل می دهند.
ساختار فیلم های اسپری شده به خواص مواد، وضعیت و دمای سطح و سرعت رسوب بستگی دارد. فیلم ها می توانند آمورف (شیشه ای، به عنوان مثال اکسیدها، Si)، پلی کریستالی (فلزات، آلیاژها، Si) یا تک کریستال (به عنوان مثال، فیلم های نیمه هادی به دست آمده توسط اپیتاکسی پرتو مولکولی) باشند. برای ساده سازی ساختار و کاهش داخلی استرس مکانیکیفیلم ها با افزایش پایداری خواص خود و بهبود چسبندگی به سطح محصولات، بلافاصله پس از رسوب بدون شکستن خلاء، فیلم ها در دماهای کمی بالاتر از دمای سطح در هنگام رسوب گذاری آنیل می شوند. اغلب از طریق رسوب در خلاءایجاد ساختارهای فیلم چند لایه از مواد مختلف.
اسپری وکیوممورد استفاده در فناوری مسطح ریز مدارهای نیمه هادی، در تولید مدارهای هیبریدی لایه نازک، محصولات پیزوالکتریک، آکوستوالکترونیک و غیره (کاربرد لایه های رسانا، دی الکتریک، محافظ، ماسک و غیره)، در اپتیک (کاربرد ضد بازتاب، پوشش های بازتابنده و دیگر)، محدود - هنگام فلز کردن سطح محصولات پلاستیکی و شیشه ای، رنگ کردن شیشه های اتومبیل. روش رسوب در خلاء فلزات (Al، Au، Cu، Cr، Ni، V، Ti و غیره)، آلیاژها (به عنوان مثال، NiCr، CrNiSi)، ترکیبات شیمیایی (سیلیسیدها، اکسیدها، بوریدها، کاربیدها و غیره) را اعمال می کند.

برنج. P2.1.

برای رسوب در خلاء استفاده می کنند تجهیزات تکنولوژیکیکنش دوره ای، نیمه پیوسته و پیوسته. نصب دسته ای یک چرخه کاربرد فیلم را با تعداد معینی از محصولات بارگذاری شده انجام می دهد. نصب مداوم در تولید سریال و انبوه استفاده می شود. آنها در دو نوع هستند: چند محفظه و چند حالته تک محفظه. اولین ها شامل ماژول های کندوپاش متوالی هستند که در هر یک از آنها فیلم هایی از مواد خاص یا آنها حرارت درمانیو کنترل ماژول ها توسط محفظه های قفل هوا و یک دستگاه نقاله حمل و نقل به هم متصل می شوند. تاسیسات تک محفظه چند موقعیتی شامل چندین ایستگاه پاشش (واقع در یک محفظه خلاء) است که توسط یک نوار نقاله یا وسیله حمل و نقل نوع چرخشی به هم متصل شده اند. اجزا و سیستم های اصلی تاسیسات برای رسوب گذاری خلاء دستگاه های مستقلی هستند که عملکردهای مشخصی را انجام می دهند:
·ایجاد خلاء؛
·تبخیر یا کندوپاش مواد فیلم؛
·انتقال و رسوب پوشش;
·کنترل حالت های رسوب در خلاء و خواص فیلم.
· منبع تغذیه.

گیاهان سمپاشی وکیوم

نصب خلاء برای رسوب مقاومتی سری DV-502B (شکل P2.2.) (این نصب دسکتاپ است)

برنج. P2.2.

نصب VATT1600-4DK (شکل P2.4.) برای اعمال یک پوشش ترکیبی در نظر گرفته شده است که می تواند شامل یک لایه فلز، یک لایه از ترکیب این فلز (اکسید، نیترید، کاربید) و یک لایه SiOx باشد. .

برنج. P2.3.

در حال اعمال اتصالات مختلفتیتانیوم، می توان سایه های مختلف طلایی، آبی، سبز، سیاه و برخی رنگ های دیگر را به دست آورد (شکل A2.4.). پوشش ها را می توان روی ورق ها اعمال کرد از فولاد ضد زنگبا هر نوع عملیات سطحی: آینه ای، جلا داده شده، بافت تزئینی یا مات معمولی. ابعاد نصب وکیوم امکان پاشش ورق هایی با ابعاد 1500x3000 میلی متر را فراهم می کند. پس از پاشش، ورق ها را می توان با یک فیلم محافظ خود چسب پوشاند. هزینه پاشش از 700 روبل / متر مربع است.

برنج. P2.4.کاربرد رسوب در خلاء.

فولاد ضد زنگ:

برای رسوب نیترید تیتانیوم در خلاء، از یک بستر فولادی ضد زنگ استفاده می شود.
·ظرافت و ظرافت در دکوراسیون;
·مقاومت در برابر خوردگی، مقاومت در برابر ضربه تأثیرات جوی;
·رعایت دقیق ترین الزامات بهداشتی؛
· سهولت مراقبت و دوام;
·مقاومت در برابر حرارت و ایمنی در برابر آتش؛
·ترکیب عالی با دیگران مواد تکمیل کننده(شیشه، پلاستیک، چوب، سنگ).

مشخصات فنی:

· مواد بستر - فولاد ضد زنگ، 08Х18Н10 (AISI 304);
·ضخامت بستر 0.5mm – 1.5mm;
·پوشش نیترید تیتانیوم ضخامت 0.2-6 میکرون;
·رنگ پوشش - سایه های مختلف طلایی;
·پراکندگی نور - از آینه تا مات.
·خواص مکانیکی - امکان خمش مکرر و مهر زنی سرد را فراهم می کند.
·مقاومت در برابر آب و هوا - حداقل 50 سال.

روش به دست آوردن مواد

پوشش روی فولاد ضد زنگ TIN، TiO2 و TiON با کندوپاش یون-پلاسما در یک محفظه خلاء به دست می آید.
ورق های فولادی ضد زنگ، پس از پیش تصفیه، که بازتاب بالای پوشش را تضمین می کند، در یک محفظه خلاء مهر و موم شده قرار می گیرند. در طی فرآیند پاشش، خلاء عمیقی در محفظه ایجاد می شود که رنگ و دوام مطلوب پوشش ها را تضمین می کند.
با کندوپاش یون-پلاسما، یون‌های پلاسما پرانرژی اتم‌های تیتانیوم را از سطح ورقه تیتانیوم خارج می‌کنند، که به نوبه خود، با عبور از ابر بسیار کمیاب نیتروژن یا اکسیژن، اکسید می‌شوند و به ماده زیرلایه وارد می‌شوند.
این فرآیند چسبندگی خوب و خواص تزئینیپوشش ها
فناوری‌های رسوب‌گذاری خلاء بسیار انرژی بر هستند و در بسیاری از کشورها در حال تبدیل شدن به یک محصول خاص هستند. بسیاری از شرکت ها در حال جایگزینی اسپری خلاء با اسپری پلاسمای جوی پربازده تر و ارزان تر هستند.
کیفیت و خواص مواد:
مقاومت جوی و ضد خوردگی بالا پوشش تزئینیتایید شده توسط گواهی انطباق GOST شماره СХ02.1.3،0040 مورخ 18 سپتامبر 1996. و 50 سال در فضای شهری است.
هر رنگی قابل دستیابی است، اما فرآیند تکنولوژیکیتنظیم برای سه رنگ اصلی: تقلید رنگ طلا - پوشش TiN، آبی - پوشش TiO2، تقلید از رنگ مس تازه - پوشش TiON.
قابلیت انعکاس پوشش - 60-70%؛

زمینه های استفاده:

·سقف گنبد کلیساها و سقف ساختمانها;
·تبلیغات در فضای باز (پلاکارد، حروف حجمی و تخت ساخته شده از فولاد ضد زنگ);
·طراحی دکوراتیو ساختمان و فضای داخلی;
·مرمت آثار فرهنگی;
·تولید قطعات سوغاتی و لوازم جانبی.
رسوب خلاء برای محصولات ساخته شده از فلزات آهنی و سایر فلزات استفاده می شود؛ پوشش های مختلفی از جمله طلا و نقره استفاده می شود (شکل P2.5.).

برنج. P2.5.کاربرد رسوب در خلاء.

مواد پوشش:
TiN- نیترید تیتانیوم (طلایی-برنز، افزایش مقاومت در برابر سایش)؛
TiOx1Cx2Nx3- کربنید تیتانیوم
گر- کروم (سفید)؛
TiOx- اکسید تیتانیوم (آبی، چند رنگ، مرواریدی)؛
NiGr- نیکروم (خاکستری روشن)؛
ZrN- نیترید زیرکونیوم (طلایی روشن)؛
al همچنین آلومینیوم، مس و ... به درخواست مشتری.
رنگ، سختی و سایر پارامترهای پوشش می توانند در طیف وسیعی از مواد و سایه ها متفاوت باشند.
ویژگی های مهم ریز مدارها سرعت، تماس های الکتریکی، فرمت ماتریس و غیره است. برای افزایش یکی از مهمترین پارامترها - عملکرد - لازم است رسانایی تماس های الکتریکی افزایش یابد. اکثر به روشی سادهاین کار با رسوب خلاء عناصر از طریق ماسک های شل انجام می شود. طلا رسانایی بسیار خوبی دارد که باعث می شود سرعت انتقال اطلاعات افزایش یابد.

تراشه حافظه PRAM از اینتل (شکل A2.6.)

مواد: طلا (نقره).

برنج. P2.6.تراشه حافظه PRAM اینتل

بلبرینگ های ساده پمپ های گریز از مرکز(شکل A2.6.)

مهمترین مشخصه یک یاتاقان عمر مفید آن است. برای افزایش آن، بلبرینگ های کشویی توسعه یافته اند تکنولوژی خاصپاشش انفجاری با استفاده از نانو پودرها در فرآیند پاشش انفجاری، پوشش های نانوساختار با محتوای مونوکاربید 62 درصد به دست آمد. آزمایش‌های اصطکاک و سایش چنین پوشش‌هایی در آب نشان داده‌اند که در مقایسه با پوشش‌های پودری سرامیکی معمولی، ضریب اصطکاک کمتری دارند و بار داغی بالایی دارند.
تکنولوژی ها: رسوب در خلاء
صنعت: مهندسی الکترونیک و برق
مواد: پودرهای مغناطیسی سریع سخت شده BZMP سیستم Nd-Fe-B.

برنج. P2.6.بلبرینگ آستین

سمپاشی با سرعت بالا

پاشش شعله با سرعت بالا به حق مدرن ترین فناوری سمپاشی در نظر گرفته می شود. پوشش‌های کاربید با روش‌های پاشش با سرعت بالا از همه لحاظ اعمال می‌شود برتر از پوشش های گالوانیکی، روند ایجاد آن شناخته شده است فوق العاده سرطان زا.
در اوایل دهه 80، تاسیسات پاشش با سرعت بالا ظاهر شد که از نظر طراحی ساده تر و بر اساس طراحی کلاسیک موتور موشک پیشران مایع، با سرعت جریان گاز بیش از 2000 متر بر ثانیه بود. چگالی پوشش به 99٪ می رسد. پودرهای کاربیدها، کاربیدهای فلزی، آلیاژهای مبتنی بر نیکل، مس و غیره به عنوان ماده کاربردی استفاده می شود.برای افزایش سرعت ذرات، دبی محصولات احتراق را با افزایش فشار در محفظه احتراق به 1.0... 1.5 مگاپاسکال، و در طراحی دستگاه نازل نازل لاوال را وارد کنید. در شکل P2.7. نموداری از سمپاش سیستم VSN ارائه شده است.

برنج. P2.6.نمودار پودرپاش با سرعت بالا:
1 - عرضه پودر (محوری)؛ 2 - تامین اکسیژن; 3 - تامین سوخت;
4 - عرضه پودر (شعاعی); 5 - بشکه

برای به دست آوردن ظاهری قابل فروش و ویژگی های فنی خاص در تولید مدرن، تمام محصولات نهایی با مواد مختلف پوشش داده می شوند. این موضوع به ویژه برای قطعات فلزی مهم است، جایی که پوشش نقش تزئینی ایفا نمی کند، بلکه فلز را از خوردگی و سایر عوامل محیطی مضر محافظت می کند.

اسپری وکیوم

در تولید مدرن، پیشرفته ترین تکنولوژی برای اعمال پوشش روی قطعات، رسوب در خلاء است. این فناوری شامل تراکم مستقیم بخار از پوشش اعمال شده بر روی سطح قطعه است. سه مرحله اصلی چنین سمپاشی وجود دارد:

تبخیر ماده ای که از آن پوشش ایجاد می شود.

انتقال بخار ایجاد شده به سطحی که ماده روی آن اعمال می شود.

متراکم شدن بخار بر روی سطح یک قطعه و ایجاد پوشش از آن.

نصب برای آبکاری کروم چرخ های آلیاژی

روش های رسوب در خلاء

علاوه بر خلاء، سایر فرآیندهای فیزیکی نیز می توانند در کندوپاش دخیل باشند. طبقه بندی زیر برای موادی که روی سطح اسپری می شوند نیز اعمال می شود.

پاشش پلاسما وکیوم

پوشش قوس خلاء طبق مکانیسم زیر انجام می شود. کاتد سطحی است که فیلم باید روی آن اعمال شود و آند بستر تخلیه گاز است. هنگامی که قوس اتمسفر را به حداکثر دما گرم می کند، ماده کندوپاش به فاز گازی تبدیل شده و به کاتد منتقل می شود. سپس مولکول های اسپری روی سطح محصول متراکم می شوند و یک لایه همگن تشکیل می دهند. یکنواختی در تاسیسات پاشش قوس خلاء را می توان تا زمانی که محصول اولیه با الگوهای اسپری به دست آمد تنظیم کرد.

این فناوری پیچیده برای اعمال پوشش های فوق سخت بر روی ابزارهای برش و حفاری استفاده می شود. مته های قوی و مقاوم در برابر سایش برای چکش های دوار با استفاده از اسپری پلاسمای خلاء ایجاد می شوند.

مته های چکشی با مقاومت بالا

کندوپاش یون خلاء

در نظر گرفته شده دوستدار محیط زیست ترین راه برای پوشش سطح فلزی. نکته منفی این است که تجهیزات گران هستند؛ هر شرکتی توانایی خرید و نصب آن را ندارد.

با این حال، الزامات سختگیرانه ای نیز برای تمیزی سطح اعمال می شود نتیجه نهاییفراتر از همه انتظارات پوشش اعمال شده با یکنواختی، استحکام و مقاومت در برابر سایش بالا مشخص می شود، بنابراین، از این طریق، پوشش ها بر روی قطعات و مکانیسم هایی که در شرایط سخت آب و هوایی عمل می کنند، پاشیده می شوند. این آخرین عملیاتی است که پس از آن پردازش بیشتر قطعات مجاز نیست - نباید جوش یا برش وجود داشته باشد.

رسوب خلاء آلومینیوم

استفاده از آلومینیوم محبوب ترین روش متالیزاسیون تقریباً هر سطحی در نظر گرفته می شود. تطبیق پذیری آلومینیوم به آن اجازه می دهد تا روی سطوح غیر معمول مانند پلاستیک و شیشه اعمال شود و بر خلاف سایر فلزات، برای دوام نیازی به پوشش لاک اضافی ندارد. آلومینیوم معمولاً برای اهداف تزئینی استفاده می شود - برای لوازم جانبی خودرو و بازتابنده چراغ های جلو، لوازم آرایشی، دستگیره های کابینت و در و لوازم جانبی خیاطی استفاده می شود. اگرچه این فلز از دوام بالایی برخوردار نیست، اما توسعه فناوری باعث شده تا هزینه این گونه سمپاشی بسیار کاهش یابد و آن را به گسترده ترین در جهان تبدیل کند.

بازتابنده چراغ خودرو با روکش آلومینیومی

رسوب خلاء فلزات

علاوه بر آلومینیوم، تعدادی فلز به همان اندازه رایج برای پاشش وجود دارد. به دلیل مختلف فیزیکی و خواص شیمیاییآنها کاملاً در همه صنایع کاربرد پیدا کرده اند. اهداف اصلی فلزات اسپری شده:

هدایت بهبود یافته؛

افزایش عایق؛

ایجاد خواص مقاوم در برابر سایش و ضد خوردگی.

تنظیم دما هنگام اعمال یک لایه پوشش به شما امکان می دهد تقریباً هر سایه ای به محصول نهایی بدهید؛ این اغلب برای اعمال پوشش های "طلا" استفاده می شود (آلیاژهای نیکل-تیتانیوم استفاده می شود).

پاشیدن تیتانیوم و نقره به طور گسترده در پزشکی استفاده می شود. این فلزات منحصر به فرد با بدن انسان تعامل بسیار خوبی دارند و خاصیت ضد باکتریایی دارند. ایمپلنت ها و ابزارهای جراحی (و همچنین دندانپزشکی و غیره) تقریباً در همه جا با نقره پوشانده شده اند - تضمین بالایی برای استحکام و عقیم بودن ابزار.

کندوپاش یون-پلاسما در خلاء

تحت تأثیر دمای بالا، پوشش نه تنها بر روی سطح قطعه متراکم می شود، بلکه به معنای واقعی کلمه روی آن پخته می شود، که محصول نهایی را بسیار بالا می دهد. مشخصات فنی- مقاومت در برابر سایش تحت فشار مکانیکی و مقاومت خوب در شرایط آب و هوایی سخت.

نصب پاشش خلاء UVN

دستگاه هایی از نوع UVN، تاسیسات رسوب گذاری خلاء مدرن با تکنولوژی بالا هستند. بسته به هدف می توان آن را به هر وسیله ای برای تبخیر ماده و انتقال آن به سطح قطعه مجهز کرد. ساختار:

اتاق فرآیند نوع بسته– ناحیه ای که قطعه در آن قرار می گیرد که در طی فرآیند رسوب خلاء پردازش می شود.

واحد کنترل یک پنل با دکمه ها و کنترل است که به شما امکان می دهد قبل از شروع کار تمام پارامترهای لازم را تنظیم کنید. گزینه های مدرنواحدهای پاشش خلاء مجهز به نمایشگرهای دیجیتال برای نمایش پارامترهای فرآیند در زمان واقعی هستند.

محفظه واحد تمام اجزای مکانیکی و الکترونیکی مهم واحد را پنهان می کند و از آنها در برابر مداخلات تصادفی و غیرمجاز محافظت می کند و همچنین ایمنی اپراتور دستگاه را تضمین می کند. بسته به اندازه دستگاه، مجهز به چرخ (با لنت ترمز، برای مدل های کوچک) یا نصب دائمی (برای دوربین های قدرتمند و سازنده) است.

UVN کلاسیک

جهت یابی:

فرآیند رسوب در خلاء شامل گروهی از روش ها برای رسوب پوشش ها (لایه های نازک) در یک کره خلاء است که در آن جبران از طریق تراکم مستقیم بخار ناشی از عنصر اتفاق می افتد.

مراحل زیر برای رسوب در خلاء وجود دارد:

تولید گازها (بخار) از اجزای سازنده جبران.
انتقال بخارات به زیرلایه؛
تجمع بخارات در بستر و ایجاد کندوپاش.

لیست روشهای رسوب در خلاء شامل حرکات علمی و فنی زیر و علاوه بر این انواع سریع این عملیات می باشد.

لیست روشهای سمپاشی حرارتی:

تبخیر با استفاده از پرتو گالوانیکی؛
تبخیر با استفاده از پرتو لیزر.

تبخیر قوس خلاء:

ماده خام در نقطه کاتد تبخیر می شود، یک قوس الکتریکی مسئول این است.
اپیتاکسی با استفاده از پرتو مولکولی.

پراکندگی یون:

مواد اولیه اولیه توسط بمباران یونی اتمیزه می شوند و بر روی زیرلایه تاثیر می گذارند.

کاربرد

جبران خلاء به منظور توسعه اجزای داخل صفحه، دستگاه ها و مکانیسم های پوشش های عملیاتی - هادی ها، عایق ها، مقاوم در برابر سایش، پایدار در برابر خوردگی، مقاوم در برابر فرسایش، ضد اصطکاک، ضد خراش، مانع و غیره استفاده می شود. از این دستکاری ها برای اعمال پوشش های تزئینی استفاده می شود، به عنوان مثال، هنگام مونتاژ حرکات ساعت با سطح طلایی و پوشش فریم های عینک. یکی از عملیات های اصلی میکروالکترونیک است که در آن به منظور اعمال لایه های رسانا (فلزسازی) استفاده می شود. جبران خلاء برای استخراج پوشش های نوری استفاده می شود: ضد انعکاس، بازتابنده، فیلتر.

یک گاز فعال شیمیایی، به عنوان مثال، استیلن (به منظور پوشش هایی که کربن را وارد می کند)، غیر فلزی، فضای هوا را می توان به حوزه علمی و فنی معرفی کرد. شیمی. پاسخ در صفحه زیرلایه با گرم کردن یا یونیزاسیون و تفکیک گازهای یکی از پیکربندی های سیستم گاز ایجاد می شود.

به لطف استفاده از روش های رسوب در خلاء، پوششی به دست می آید که ضخامت آن می تواند چندین آنگستروم باشد یا به چندین میکرون برسد؛ به عنوان یک قاعده، در نتیجه رسوب، سطح نیازی به پردازش اضافی ندارد.

روش های رسوب در خلاء

سرنوشت هر دانه از جزء اسپری شده در اثر برخورد با سطح به انرژی، دمای سطح و خواص شیمیایی آن بستگی دارد. میل عناصر و اجزای فیلم اتم‌ها یا مولکول‌هایی که به هواپیما می‌رسند، هر فرصتی دارند که یا از آن منعکس شوند، یا جذب شوند و پس از مدتی معین، آن را ترک کنند (واجذب)، یا جذب شوند و در صفحه (تراکم‌کننده) میعان ایجاد کنند. در انرژی های دانه بالا، دمای صفحه بالا و مواد شیمیایی ناچیز میل ترکیبی، عنصر توسط سطح منعکس می شود. دمای صفحه قطعه که تمام ذرات از بالای آن منعکس می شوند و لایه تشکیل نمی شود، دمای جدی رسوب خلاء نامیده می شود که اهمیت آن به ماهیت عناصر لایه و صفحه لایه بستگی دارد. اجزاء و وضعیت هواپیما. با جریان های بسیار کوچک عناصر تبخیر شونده، از جمله مواردی که این ذرات در صفحه جذب می شوند، اما به ندرت با ذرات مشابه دیگر برخورد می کنند، دفع می شوند و نمی توانند هسته ایجاد کنند، یعنی لایه اصلا رشد نمی کند. فرکانس جدی جریان اجزای قابل تبخیر برای یک دمای صفحه معین، کمترین چگالی است که در آن ذرات متراکم شده و یک پوشش تشکیل می دهند.