ការទម្លាក់ធូលីគឺផ្អែកលើការបង្កើតលំហូរដោយផ្ទាល់នៃភាគល្អិត (អាតូម ម៉ូលេគុល ចង្កោម) នៃវត្ថុធាតុដែលបានអនុវត្តទៅលើផ្ទៃនៃផលិតផល និងការ condensation របស់វា។
ដំណើរការរួមមានដំណាក់កាលជាច្រើន៖ ការផ្លាស់ប្តូរសារធាតុបាញ់ថ្នាំ ឬសម្ភារៈពីដំណាក់កាលខាប់ទៅដំណាក់កាលឧស្ម័ន ការផ្ទេរម៉ូលេគុលនៃដំណាក់កាលឧស្ម័នទៅផ្ទៃនៃផលិតផល ការ condensation របស់វាទៅលើផ្ទៃ ការបង្កើត និងការរីកលូតលាស់នៃស្នូល។ និងការបង្កើតខ្សែភាពយន្ត។
ការបាញ់ថ្នាំបូមធូលី- ការផ្ទេរភាគល្អិតនៃសារធាតុបាញ់ចេញពីប្រភព (កន្លែងដែលវាត្រូវបានផ្ទេរទៅក្នុងដំណាក់កាលឧស្ម័ន) ទៅលើផ្ទៃនៃផ្នែកត្រូវបានអនុវត្តតាមគន្លងត្រង់ក្នុងកន្លែងទំនេរ 10-2 Pa និងខាងក្រោម (ការហួតដោយខ្វះចន្លោះ) និងដោយការសាយភាយនិងការផ្ទេរ convective នៅក្នុងប្លាស្មានៅសម្ពាធ 1 Pa (cathode sputtering) និង 10 -1 -10 -2 Pa (magnetron និង ion-plasma sputtering) ។ ជោគវាសនានៃភាគល្អិតនីមួយៗនៃសារធាតុបាញ់ទៅលើការប៉ះពាល់ជាមួយផ្ទៃនៃផ្នែកគឺអាស្រ័យលើថាមពលរបស់វា សីតុណ្ហភាពផ្ទៃ និងទំនាក់ទំនងគីមីនៃវត្ថុធាតុនៃខ្សែភាពយន្ត និងផ្នែក។ អាតូម ឬម៉ូលេគុលដែលទៅដល់ផ្ទៃអាចត្រូវបានឆ្លុះបញ្ចាំងពីវា ឬត្រូវបានស្រូបយកហើយទុកវាចោលបន្ទាប់ពីពេលខ្លះ (ការស្រូបយក) ឬត្រូវបានស្រូបយក និងបង្កើតជា condensate នៅលើផ្ទៃ ( condensation) ។ នៅថាមពលភាគល្អិតខ្ពស់ សីតុណ្ហភាពលើផ្ទៃខ្ពស់ និងទំនាក់ទំនងគីមីទាប ភាគល្អិតត្រូវបានឆ្លុះបញ្ចាំងដោយផ្ទៃ។
សីតុណ្ហភាពនៃផ្ទៃនៃផ្នែកមួយ ខាងលើដែលភាគល្អិតទាំងអស់ត្រូវបានឆ្លុះបញ្ចាំងពីវា ហើយខ្សែភាពយន្តមិនបង្កើត ត្រូវបានគេហៅថាសីតុណ្ហភាពសំខាន់នៃកន្លែងទំនេរ។ តម្លៃរបស់វាអាស្រ័យលើលក្ខណៈនៃសម្ភារៈខ្សែភាពយន្ត និងផ្ទៃនៃផ្នែក និងលើស្ថានភាពនៃផ្ទៃ។ នៅលំហូរទាបបំផុតនៃភាគល្អិតហួត ទោះបីជាភាគល្អិតទាំងនេះត្រូវបានស្រូបយកលើផ្ទៃក៏ដោយ ប៉ុន្តែកម្រជួបជាមួយភាគល្អិតស្រដៀងគ្នាផ្សេងទៀត ពួកគេត្រូវបាន desorbed និងមិនអាចបង្កើត nuclei ពោលគឺឧ។ ខ្សែភាពយន្តមិនរីកចម្រើនទេ។ ដង់ស៊ីតេលំហូរសំខាន់នៃភាគល្អិតហួតសម្រាប់សីតុណ្ហភាពផ្ទៃដែលបានផ្តល់ឱ្យគឺជាដង់ស៊ីតេទាបបំផុតដែលភាគល្អិតបង្រួមនិងបង្កើតជាខ្សែភាពយន្ត។
រចនាសម្ព័ននៃខ្សែភាពយន្តបាញ់គឺអាស្រ័យលើលក្ខណៈសម្បត្តិនៃសម្ភារៈ ស្ថានភាព និងសីតុណ្ហភាពនៃផ្ទៃ និងអត្រានៃការដាក់។ ខ្សែភាពយន្តអាចជាអាម៉ូហ្វូស (កញ្ចក់ឧទាហរណ៍អុកស៊ីដ ស៊ី) ប៉ូលីគ្រីស្តាលីន (លោហធាតុ យ៉ាន់ស្ព័រ ស៊ី) ឬគ្រីស្តាល់តែមួយ (ឧទាហរណ៍ ខ្សែភាពយន្ត semiconductor ដែលទទួលបានដោយអេពីតាស៊ីនៃធ្នឹមម៉ូលេគុល) ។ ដើម្បីសម្រួលរចនាសម្ព័ន្ធ និងកាត់បន្ថយផ្ទៃក្នុង ភាពតានតឹងមេកានិចខ្សែភាពយន្តបង្កើនស្ថេរភាពនៃលក្ខណៈសម្បត្តិរបស់ពួកគេនិងធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពស្អិតជាប់លើផ្ទៃនៃផលិតផលភ្លាមៗបន្ទាប់ពីការទម្លាក់ដោយមិនបំបែកកន្លែងទំនេរខ្សែភាពយន្តត្រូវបាន annealed នៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ជាងបន្តិចនៃសីតុណ្ហភាពផ្ទៃកំឡុងពេលដាក់។ ជាញឹកញាប់ឆ្លងកាត់ កន្លែងទំនេរបង្កើតរចនាសម្ព័ន្ធខ្សែភាពយន្តច្រើនពី សម្ភារៈផ្សេងៗ.
ការបាញ់ថ្នាំបូមធូលីប្រើក្នុងបច្ចេកវិទ្យា planar នៃ microcircuits semiconductor ក្នុងការផលិតសៀគ្វីកូនកាត់ខ្សែភាពយន្តស្តើង ផលិតផល piezotechnical acoustoelectronics ។ល។ (កម្មវិធី conductive, dielectric, ស្រទាប់ការពារ, របាំងមុខ។ ល. ថ្នាំកូត) មានកំណត់ - នៅពេលដែលលោហធាតុលើផ្ទៃនៃផលិតផលផ្លាស្ទិច និងកញ្ចក់ ការលាបពណ៌កញ្ចក់រថយន្ត។ វិធីសាស្រ្តនៃការបូមធូលីអនុវត្តលោហៈ (Al, Au, Cu, Cr, Ni, V, Ti ។
អង្ករ។ P2.1.
សម្រាប់ការបូមធូលីពួកគេប្រើ ឧបករណ៍បច្ចេកវិទ្យាសកម្មភាពតាមកាលកំណត់ ពាក់កណ្តាលបន្ត និងបន្ត។ ការដំឡើងជាបាច់អនុវត្តវដ្តមួយនៃកម្មវិធីខ្សែភាពយន្តជាមួយនឹងចំនួនដែលបានផ្តល់ឱ្យនៃផលិតផលផ្ទុក។ ការដំឡើងជាបន្តបន្ទាប់ត្រូវបានប្រើនៅក្នុងការផលិតសៀរៀលនិងទ្រង់ទ្រាយធំ។ ពួកវាមានពីរប្រភេទ៖ ពហុបន្ទប់ និងពហុទីតាំងតែមួយបន្ទប់។ ទីមួយមានម៉ូឌុល sputtering ដែលមានទីតាំងនៅតាមលំដាប់លំដោយ ដែលនៅក្នុងខ្សែភាពយន្តនីមួយៗនៃសម្ភារៈមួយចំនួន ឬរបស់ពួកគេ ការព្យាបាលកំដៅនិងការគ្រប់គ្រង។ ម៉ូឌុលត្រូវបានភ្ជាប់គ្នាដោយបន្ទប់ចាក់សោរខ្យល់ និងឧបករណ៍ដឹកជញ្ជូន។ ការដំឡើងបន្ទប់តែមួយដែលមានទីតាំងច្រើនមានស្ថានីយ៍បាញ់ថ្នាំជាច្រើន (ស្ថិតនៅក្នុងបន្ទប់បូមធូលីមួយ) ដែលតភ្ជាប់ដោយឧបករណ៍បញ្ជូន ឬឧបករណ៍ដឹកជញ្ជូនប្រភេទរ៉ូតារី។ ធាតុផ្សំសំខាន់ៗ និងប្រព័ន្ធនៃការដំឡើងសម្រាប់ការបូមធូលីគឺជាឧបករណ៍ឯករាជ្យដែលបំពេញមុខងារដែលបានបញ្ជាក់៖
·បង្កើតម៉ាស៊ីនបូមធូលី;
·ការហួត ឬការបែកខ្ញែកនៃសម្ភារៈខ្សែភាពយន្ត;
·ការដឹកជញ្ជូន និងការដាក់ស្រទាប់ថ្នាំកូត;
·ការគ្រប់គ្រងរបៀបនៃការបូមធូលី និងលក្ខណៈសម្បត្តិនៃខ្សែភាពយន្ត;
·ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល។
រុក្ខជាតិបាញ់ថ្នាំបូមធូលី
ការដំឡើងសុញ្ញកាសសម្រាប់ការកកកុញធន់នៃស៊េរី DV-502B (រូបភាព P2.2.) (ការដំឡើងនេះគឺកុំព្យូទ័រលើតុ)
អង្ករ។ P2.2.
ការដំឡើង VATT1600-4DK (រូបភាព P2.4 ។ ) ត្រូវបានបម្រុងទុកសម្រាប់អនុវត្តថ្នាំកូតរួមបញ្ចូលគ្នា ដែលអាចមានស្រទាប់លោហៈ ស្រទាប់នៃសមាសធាតុនៃលោហៈនេះ (អុកស៊ីដ នីត្រាត កាបូន) និងស្រទាប់ SiOx .
អង្ករ។ P2.3.
កំពុងដាក់ពាក្យ ការតភ្ជាប់ផ្សេងៗទីតានីញ៉ូម វាអាចទទួលបានស្រមោលផ្សេងៗដូចជា មាស ខៀវ បៃតង ខ្មៅ និងពណ៌មួយចំនួនទៀត (រូប A2.4.)។ ថ្នាំកូតអាចត្រូវបានអនុវត្តទៅសន្លឹក នៃដែកអ៊ីណុកជាមួយនឹងការព្យាបាលលើផ្ទៃណាមួយ: កញ្ចក់, ប៉ូលា, តុបតែងវាយនភាពឬម៉ាត់ធម្មតា។ វិមាត្រនៃការដំឡើងម៉ាស៊ីនបូមធូលីអនុញ្ញាតឱ្យបាញ់ថ្នាំសន្លឹកដែលមានទំហំ 1500x3000 មម។ បន្ទាប់ពីការបាញ់ថ្នាំ សន្លឹកអាចត្រូវបានគ្របដោយខ្សែភាពយន្តការពារដោយខ្លួនឯង តម្លៃនៃការបាញ់ថ្នាំគឺពី 700 rubles / sq.m.
អង្ករ។ P2.4.ការអនុវត្តការបូមធូលី។
ដែកអ៊ីណុក៖
សម្រាប់ការបូមធូលីទីតានីញ៉ូម nitride ស្រទាប់ខាងក្រោមដែកអ៊ីណុកត្រូវបានប្រើ។
·ភាពឆើតឆាយនិងព្រះគុណនៅក្នុងការតុបតែង;
·ធន់ទ្រាំនឹងការ corrosion ធន់នឹងផលប៉ះពាល់ ឥទ្ធិពលបរិយាកាស;
·ការអនុលោមតាមតម្រូវការអនាម័យដ៏តឹងរឹងបំផុត;
·ភាពងាយស្រួលនៃការថែទាំ និងយូរអង្វែង;
·ធន់នឹងកំដៅ និងសុវត្ថិភាពអគ្គីភ័យ;
·ការរួមបញ្ចូលគ្នាដ៏ល្អជាមួយអ្នកដទៃ សម្ភារៈបញ្ចប់(កញ្ចក់ ប្លាស្ទិក ឈើ ថ្ម)។
លក្ខណៈពិសេស៖
·សម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោម - ដែកអ៊ីណុក 08Х18Н10 (AISI 304);
·កម្រាស់ស្រទាប់ខាងក្រោម 0.5 mm – 1.5 mm;
· ថ្នាំកូតទីតានីញ៉ូមនីត្រាត កម្រាស់ 0.2-6 មីរ៉ូ;
·ពណ៌ថ្នាំកូត - ស្រមោលផ្សេងៗនៃមាស;
·ការខ្ចាត់ខ្ចាយពន្លឺ - ពីកញ្ចក់ទៅម៉ាត់;
·លក្ខណៈសម្បត្តិមេកានិក - អនុញ្ញាតឱ្យពត់ម្តងហើយម្តងទៀត និងការបោះត្រាត្រជាក់។
·ធន់នឹងអាកាសធាតុ - យ៉ាងហោចណាស់ 50 ឆ្នាំ។
វិធីសាស្រ្តនៃការទទួលបានសម្ភារៈ
ការស្រោបលើដែកអ៊ីណុក TIN, TiO2 និង TiON ត្រូវបានទទួលដោយការបញ្ចេញអ៊ីយ៉ុងប្លាស្មានៅក្នុងបន្ទប់ខ្វះចន្លោះ។
បន្ទះដែកអ៊ីណុក បន្ទាប់ពីការព្យាបាលមុន ដែលធានាបាននូវការឆ្លុះបញ្ចាំងខ្ពស់នៃថ្នាំកូត ត្រូវបានដាក់ក្នុងបន្ទប់បូមធូលីបិទជិត។ ក្នុងអំឡុងពេលនៃការបាញ់ថ្នាំ កន្លែងទំនេរជ្រៅមួយត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅក្នុងបន្ទប់ដែលធានានូវពណ៌ដែលចង់បាន និងភាពធន់នៃថ្នាំកូត។
ជាមួយនឹងការបញ្ចេញអ៊ីយ៉ុងប្លាស្មា អ៊ីយ៉ុងប្លាស្មាដែលមានថាមពលខ្ពស់ បញ្ចេញអាតូមទីតាញ៉ូមចេញពីផ្ទៃនៃសន្លឹកទីតានីញ៉ូម ដែលនៅក្នុងវេនឆ្លងកាត់ពពកដ៏កម្រនៃអាសូត ឬអុកស៊ីហ្សែនអុកស៊ីតកម្ម ត្រូវបានបញ្ចូលទៅក្នុងសម្ភារៈស្រទាប់ខាងក្រោម។
ដំណើរការនេះធានានូវសារធាតុស្អិតល្អ និង លក្ខណៈសម្បត្តិតុបតែងគម្រប។
បច្ចេកវិជ្ជាបូមធូលីគឺពឹងផ្អែកខ្លាំងលើថាមពល ហើយនៅក្នុងប្រទេសជាច្រើនពួកគេកំពុងប្រែទៅជាផលិតផលពិសេស។ ក្រុមហ៊ុនជាច្រើនកំពុងជំនួសការបាញ់ថ្នាំបូមធូលីជាមួយនឹងការបាញ់ថ្នាំប្លាស្មាបរិយាកាសដែលមានផលិតភាពជាង និងមានតម្លៃថោក។
គុណភាពនិងលក្ខណៈសម្បត្តិនៃសម្ភារៈ:
ធន់នឹងបរិយាកាសខ្ពស់ និងប្រឆាំងនឹងការ corrosion គម្របតុបតែងបញ្ជាក់ដោយវិញ្ញាបនបត្រនៃការអនុលោមតាម GOST លេខ СХ02.1.3.0040 ចុះថ្ងៃទី 18 ខែកញ្ញាឆ្នាំ 1996 ។ និង 50 ឆ្នាំនៅក្នុងបរិយាកាសទីក្រុង;
ពណ៌ណាមួយអាចសម្រេចបាន ប៉ុន្តែ ដំណើរការបច្ចេកវិជ្ជាកែសំរួលពណ៌សំខាន់បី៖ ធ្វើត្រាប់តាមពណ៌មាស - ថ្នាំកូត TiN ពណ៌ខៀវ - ថ្នាំកូត TiO2 ធ្វើត្រាប់តាមពណ៌ទង់ដែងស្រស់ - ថ្នាំកូត TiON;
សមត្ថភាពឆ្លុះបញ្ចាំងនៃថ្នាំកូត - 60-70%;
តំបន់ប្រើប្រាស់៖
· ដំបូលព្រះវិហារ និងដំបូលអគារ;
·ការផ្សាយពាណិជ្ជកម្មក្រៅផ្ទះ (ស្លាក អក្សរធំ និងសំប៉ែតធ្វើពីដែកអ៊ីណុក);
·ការរចនាតុបតែងនៃអគារ និងផ្នែកខាងក្នុង;
·ការស្ដារឡើងវិញនូវវិមានវប្បធម៌;
· ការផលិតបំណែកវត្ថុអនុស្សាវរីយ៍ និងគ្រឿងបន្លាស់។
ការបូមធូលីត្រូវបានប្រើសម្រាប់ផលិតផលដែលធ្វើពីលោហធាតុដែក និងលោហធាតុផ្សេងៗ រួមទាំងមាស និងប្រាក់ (រូបភាព P2.5)។
អង្ករ។ P2.5.ការអនុវត្តការបូមធូលី។
សមា្ភារៈថ្នាំកូត:
ធីអិន- ទីតានីញ៉ូមនីត្រាត (មាស - សំរិទ្ធ, បង្កើនភាពធន់ទ្រាំពាក់);
TiOx1Cx2Nx3- ទីតានីញ៉ូមកាបូន
Gr- ក្រូម (ពណ៌ស);
TiOx- អុកស៊ីដទីតាញ៉ូម (ខៀវ, ពហុពណ៌, គុជខ្យង);
NiGr- nichrome (ពណ៌ប្រផេះស្រាល);
ZrN- zirconium nitride (ពណ៌មាសស្រាល);
ក៏អាលុយមីញ៉ូម ទង់ដែង ជាដើម តាមសំណើរបស់អតិថិជន។
ពណ៌ ភាពរឹង និងប៉ារ៉ាម៉ែត្រថ្នាំកូតផ្សេងទៀតអាចប្រែប្រួលនៅក្នុងជួរដ៏ធំទូលាយនៃសម្ភារៈ និងស្រមោល។
លក្ខណៈសំខាន់ៗនៃមីក្រូសៀគ្វីគឺល្បឿន ទំនាក់ទំនងអគ្គិសនី ទម្រង់ម៉ាទ្រីស។ល។ ដើម្បីបង្កើនប៉ារ៉ាម៉ែត្រសំខាន់បំផុតមួយ - ការអនុវត្ត - វាចាំបាច់ក្នុងការបង្កើនចរន្តនៃទំនាក់ទំនងអគ្គិសនី។ ភាគច្រើន នៅក្នុងវិធីសាមញ្ញមួយ។នេះត្រូវបានធ្វើដោយការបូមធូលីនៃធាតុតាមរយៈរបាំងរលុង។ មាសមានចរន្តអគ្គិសនីល្អណាស់ ដែលធ្វើឱ្យវាអាចបង្កើនល្បឿននៃការបញ្ជូនព័ត៌មាន។
បន្ទះឈីបអង្គចងចាំ PRAM ពី Intel (រូបភាព A2.6 ។ )
សម្ភារៈ៖ មាស (ប្រាក់)។
អង្ករ។ P2.6.បន្ទះឈីបអង្គចងចាំ Intel PRAM
សត្វខ្លាឃ្មុំធម្មតា។ ម៉ាស៊ីនបូម centrifugal(រូបភាព A2.6 ។ )
លក្ខណៈសំខាន់បំផុតនៃទ្រនាប់គឺអាយុកាលសេវាកម្មរបស់វា។ ដើម្បីបង្កើនវា សត្វខ្លាឃ្មុំរអិលត្រូវបានបង្កើតឡើង បច្ចេកវិទ្យាពិសេសការបាញ់ថ្នាំបំផ្ទុះដោយប្រើម្សៅណាណូ។ នៅក្នុងដំណើរការនៃការបាញ់ថ្នាំបំផ្ទុះ ថ្នាំកូត nanostructured ដែលមានមាតិកា monocarbide 62% ត្រូវបានទទួល។ ការធ្វើតេស្តការកកិត និងការពាក់នៃថ្នាំកូតបែបនេះនៅក្នុងទឹក បានបង្ហាញថា វាមានការថយចុះមេគុណនៃការកកិត និងការផ្ទុកហ្គាសខ្ពស់ បើប្រៀបធៀបទៅនឹងថ្នាំកូតម្សៅសេរ៉ាមិចធម្មតា។
Technologies៖ ការបូមធូលី
ឧស្សាហកម្ម៖ អេឡិចត្រូនិច និងវិស្វកម្មអគ្គិសនី
សម្ភារៈ៖ ម្សៅម៉ាញេទិករឹងយ៉ាងឆាប់រហ័ស ប្រព័ន្ធ BZMP Nd-Fe-B ។
អង្ករ។ P2.6.ដៃអាវ
ការបាញ់ថ្នាំដែលមានល្បឿនលឿន
ការបាញ់ភ្លើងល្បឿនលឿនត្រូវបានចាត់ទុកថាជាបច្ចេកវិទ្យាបាញ់ថ្នាំទំនើបបំផុត។ ថ្នាំកូត Carbide ត្រូវបានអនុវត្តដោយវិធីបាញ់ថ្នាំដែលមានល្បឿនលឿនក្នុងគ្រប់ទិដ្ឋភាពទាំងអស់។ ខ្ពស់ជាងថ្នាំកូត galvanicដំណើរការនៃការបង្កើតដែលត្រូវបានទទួលស្គាល់ មហារីកសាហាវណាស់។.
នៅដើមទសវត្សរ៍ទី 80 ការដំឡើងបាញ់ថ្នាំល្បឿនលឿនបានលេចឡើង ការរចនាកាន់តែសាមញ្ញ និងផ្អែកលើការរចនាម៉ាស៊ីនរ៉ុក្កែតរាវបុរាណ ជាមួយនឹងល្បឿនលំហូរឧស្ម័នលើសពី 2000 m/s ។ ដង់ស៊ីតេនៃថ្នាំកូតឈានដល់ 99% ។ ម្សៅនៃ carbides ដែក carbides យ៉ាន់ស្ព័រដែលមានមូលដ្ឋានលើ Ni, Cu ជាដើមត្រូវបានគេប្រើជាសម្ភារៈដែលបានអនុវត្ត ដើម្បីបង្កើនល្បឿននៃភាគល្អិត អត្រាលំហូរនៃផលិតផលចំហេះត្រូវបានកើនឡើងដោយបង្កើនសម្ពាធក្នុងបន្ទប់ចំហេះដល់ 1.0. .1.5 MPa ហើយពួកវាត្រូវបានណែនាំទៅក្នុងការរចនានៃឧបករណ៍ nozzle Laval nozzle ។ នៅក្នុងរូបភព។ P2.7. ដ្យាក្រាមនៃឧបករណ៍បាញ់ប្រព័ន្ធ VSN ត្រូវបានបង្ហាញ។
អង្ករ។ P2.6.ដ្យាក្រាមម៉ាស៊ីនបាញ់ម្សៅល្បឿនលឿន៖
1 - ការផ្គត់ផ្គង់ម្សៅ (អ័ក្ស); 2 - ការផ្គត់ផ្គង់អុកស៊ីសែន; 3 - ការផ្គត់ផ្គង់ប្រេងឥន្ធនៈ;
4 - ការផ្គត់ផ្គង់ម្សៅ (រ៉ាឌីកាល់); 5 - ធុង។
ដើម្បីទទួលបានរូបរាងដែលអាចរកទីផ្សារបាន និងលក្ខណៈបច្ចេកទេសមួយចំនួននៅក្នុងផលិតកម្មទំនើប ផលិតផលសម្រេចទាំងអស់ត្រូវបានស្រោបដោយសម្ភារៈផ្សេងៗ។ បញ្ហានេះគឺពាក់ព័ន្ធជាពិសេសសម្រាប់ផ្នែកលោហៈ ដែលថ្នាំកូតមិនមានតួនាទីតុបតែងច្រើនទេ ដោយសារវាការពារលោហៈពីការ corrosion និងកត្តាបរិស្ថានដែលបង្កគ្រោះថ្នាក់ផ្សេងទៀត។
ការបាញ់ថ្នាំបូមធូលី
នៅក្នុងផលិតកម្មទំនើប បច្ចេកវិទ្យាទំនើបបំផុតសម្រាប់លាបថ្នាំលើផ្នែកផ្សេងៗគឺការបូមធូលី។ បច្ចេកវិទ្យានេះមាន condensation ដោយផ្ទាល់នៃចំហាយទឹកពីថ្នាំកូតដែលបានអនុវត្តទៅលើផ្ទៃនៃផ្នែកនេះ។ មានដំណាក់កាលសំខាន់បីនៃការបាញ់ថ្នាំបែបនេះ៖
ការហួតនៃសារធាតុដែលថ្នាំកូតនឹងត្រូវបានបង្កើតឡើង;
ផ្ទេរចំហាយដែលបានបង្កើតទៅផ្ទៃដែលសារធាតុនឹងត្រូវបានអនុវត្ត;
condensation នៃចំហាយទឹកទៅលើផ្ទៃនៃផ្នែកមួយ និងការបង្កើតថ្នាំកូតពីវា។
ការដំឡើងសម្រាប់ chrome plating នៃយ៉ាន់ស្ព័រ
វិធីសាស្រ្តនៃការបូមធូលី
បន្ថែមពីលើការបូមធូលី ដំណើរការរូបវន្តផ្សេងទៀតក៏អាចចូលរួមក្នុងការបាញ់ទឹកផងដែរ។ ការចាត់ថ្នាក់ខាងក្រោមក៏នឹងអនុវត្តចំពោះសារធាតុដែលនឹងត្រូវបាញ់ទៅលើផ្ទៃ។
ការបាញ់ថ្នាំប្លាស្មា
ថ្នាំកូត Vacuum-arc ត្រូវបានអនុវត្តតាមយន្តការខាងក្រោម។ cathode គឺជាផ្ទៃដែលខ្សែភាពយន្តត្រូវតែត្រូវបានអនុវត្ត ហើយ anode គឺជាស្រទាប់ខាងក្រោមបញ្ចេញឧស្ម័ន។ នៅពេលដែលធ្នូកំដៅបរិយាកាសដល់សីតុណ្ហភាពអតិបរិមា វត្ថុធាតុបំប្លែងចូលទៅក្នុងដំណាក់កាលឧស្ម័ន ហើយត្រូវបានផ្ទេរទៅ cathode ។ បនា្ទាប់មកម៉ូលេគុលបាញ់ថ្នាំបង្រួមលើផ្ទៃនៃផលិតផលបង្កើតស្រទាប់ដូចគ្នា។ ភាពដូចគ្នានៅក្នុងការដំឡើងបាញ់ថ្នាំដោយម៉ាស៊ីនបូមធូលីអាចត្រូវបានកែតម្រូវរហូតដល់ផលិតផលដំបូងដែលមានលំនាំបាញ់ត្រូវបានទទួល។
បច្ចេកវិជ្ជាស្មុគ្រស្មាញនេះត្រូវបានប្រើដើម្បីអនុវត្តថ្នាំកូតរឹងទំនើបទៅនឹងឧបករណ៍កាត់ និងខួង។ គ្រាប់ខួងដែលធន់នឹងការពាក់សម្រាប់ញញួរ rotary ត្រូវបានបង្កើតឡើងដោយប្រើការបាញ់ថ្នាំប្លាស្មា។
សមយុទ្ធញញួរកម្លាំងខ្ពស់។
ការបញ្ចេញទឹករំអិលអ៊ីយ៉ុង
ចាត់ទុកថាជាមធ្យោបាយដែលមិនប៉ះពាល់ដល់បរិស្ថានបំផុតក្នុងការលាបពណ៌ណាមួយ។ ផ្ទៃលោហៈ. គុណវិបត្តិគឺថាឧបករណ៍មានតម្លៃថ្លៃ មិនមែនគ្រប់ក្រុមហ៊ុនទាំងអស់អាចមានលទ្ធភាពទិញ និងដំឡើងវាបានទេ។
ទោះជាយ៉ាងណាក៏ដោយ តម្រូវការតឹងរ៉ឹងក៏ត្រូវបានដាក់លើការសម្អាតផ្ទៃផងដែរ។ លទ្ធផលចុងក្រោយលើសពីការរំពឹងទុកទាំងអស់។ ថ្នាំកូតដែលបានអនុវត្តត្រូវបានកំណត់លក្ខណៈដោយភាពដូចគ្នាខ្ពស់ កម្លាំង និងធន់នឹងការពាក់ ដូច្នេះដោយវិធីនេះ ថ្នាំកូតត្រូវបានបាញ់ទៅលើផ្នែក និងយន្តការដែលនឹងត្រូវដំណើរការក្នុងលក្ខខណ្ឌអាកាសធាតុដ៏អាក្រក់។ នេះគឺជាប្រតិបត្តិការចុងក្រោយបង្អស់ដែលដំណើរការបន្ថែមនៃផ្នែកមិនត្រូវបានអនុញ្ញាត - មិនគួរមានការផ្សារ ឬកាត់ឡើយ។
ការបូមធូលីអាលុយមីញ៉ូម
ការលាបអាលុយមីញ៉ូមត្រូវបានចាត់ទុកថាជាវិធីសាស្រ្តដ៏ពេញនិយមបំផុតនៃការរលាយលោហៈស្ទើរតែគ្រប់ផ្ទៃ។ ភាពបត់បែននៃអាលុយមីញ៉ូមអនុញ្ញាតឱ្យវាត្រូវបានអនុវត្តទៅលើផ្ទៃមិនធម្មតាដូចជាផ្លាស្ទិច និងកញ្ចក់ ហើយមិនដូចលោហៈផ្សេងទៀតទេ វាមិនតម្រូវឱ្យមានថ្នាំកូតវ៉ារនីសបន្ថែមសម្រាប់ភាពធន់នោះទេ។ អាលុយមីញ៉ូមជាធម្មតាត្រូវបានប្រើសម្រាប់គោលបំណងតុបតែង - វាត្រូវបានប្រើសម្រាប់គ្រឿងបន្លាស់រថយន្ត និងចង្កៀងមុខ គ្រឿងសម្អាង ទូ និងដៃទ្វារ និងគ្រឿងសម្រាប់ដេរ។ ទោះបីជាលោហៈនេះមិនមានភាពធន់ខ្លាំងក៏ដោយ ប៉ុន្តែការអភិវឌ្ឍន៍នៃបច្ចេកវិទ្យាបានធ្វើឱ្យវាអាចកាត់បន្ថយការចំណាយលើការបាញ់ថ្នាំបែបនេះបានយ៉ាងច្រើន ដែលធ្វើឱ្យវាក្លាយជាការរីករាលដាលបំផុតនៅក្នុងពិភពលោក។
ចង្កៀងមុខរថយន្តស្រោបដោយអាលុយមីញ៉ូម
ការបំភាយឧស្ម័នលោហធាតុ
បន្ថែមពីលើអាលុយមីញ៉ូមមានលោហៈធម្មតាមួយចំនួនស្មើគ្នាសម្រាប់ការបាញ់ថ្នាំ។ ដោយសារតែរាងកាយផ្សេងគ្នានិង លក្ខណៈសម្បត្តិគីមីពួកគេបានរកឃើញកម្មវិធីនៅក្នុងគ្រប់ឧស្សាហកម្មទាំងអស់។ គោលបំណងសំខាន់នៃការបាញ់ថ្នាំ៖
ធ្វើឱ្យប្រសើរឡើងនូវចរន្ត;
ការកើនឡើងនៃអ៊ីសូឡង់;
ផ្តល់នូវលក្ខណៈសម្បត្តិធន់នឹងការពាក់ និងប្រឆាំងនឹងការ corrosion ។
និយ័តកម្មសីតុណ្ហភាពនៅពេលអនុវត្តស្រទាប់ថ្នាំកូតអនុញ្ញាតឱ្យអ្នកផ្តល់ឱ្យផលិតផលចុងក្រោយស្ទើរតែគ្រប់ម្លប់នេះត្រូវបានគេប្រើជាញឹកញាប់ដើម្បីអនុវត្តថ្នាំកូត "មាស" (យ៉ាន់ស្ព័រនីកែល - ទីតានីញ៉ូមត្រូវបានប្រើ) ។
Sputtering នៃ titanium និង silver ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងថ្នាំ។ លោហធាតុពិសេសទាំងនេះមានអន្តរកម្មយ៉ាងល្អជាមួយរាងកាយមនុស្ស និងមានលក្ខណៈសម្បត្តិប្រឆាំងនឹងបាក់តេរី។ ការផ្សាំ និងឧបករណ៍វះកាត់ (ក៏ដូចជាធ្មេញ និងផ្សេងទៀត) ត្រូវបានស្រោបដោយប្រាក់ស្ទើរតែគ្រប់ទីកន្លែង - ការធានាខ្ពស់នៃកម្លាំង និងការក្រៀវនៃឧបករណ៍។
ការខ្ចប់អ៊ីយ៉ុងប្លាស្មា
នៅក្រោមឥទិ្ធពលនៃសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ថ្នាំកូតមិនគ្រាន់តែខាប់លើផ្ទៃនៃផ្នែកនោះទេ វាត្រូវបានដុតនំតាមព្យញ្ជនៈលើវា ដែលផ្តល់ឱ្យផលិតផលចុងក្រោយខ្ពស់ណាស់។ លក្ខណៈពិសេស- ធន់នឹងការពាក់នៅក្រោមភាពតានតឹងមេកានិច និងធន់នឹងអាកាសធាតុអាក្រក់។
ការដំឡើងម៉ាស៊ីនបូមធូលី UVN
ឧបករណ៍នៃប្រភេទ UVN គឺជាការដំឡើងឧបករណ៍បូមធូលីដែលមានបច្ចេកវិទ្យាខ្ពស់ទំនើប។ អាស្រ័យលើគោលបំណងវាអាចត្រូវបានបំពាក់ដោយឧបករណ៍ណាមួយសម្រាប់ការហួតសារធាតុនិងផ្ទេរវាទៅផ្ទៃនៃផ្នែក។ រចនាសម្ព័ន្ធ៖
អង្គជំនុំជម្រះដំណើរការ ប្រភេទបិទ- តំបន់ដែលផ្នែកត្រូវបានដាក់ ដែលត្រូវបានដំណើរការកំឡុងពេលដំណើរការបូមធូលី។
អង្គភាពបញ្ជាគឺជាបន្ទះដែលមានប៊ូតុង និងវត្ថុបញ្ជាដែលអនុញ្ញាតឱ្យអ្នកកំណត់ប៉ារ៉ាម៉ែត្រចាំបាច់ទាំងអស់មុនពេលចាប់ផ្តើមការងារ។ ជម្រើសទំនើបអង្គភាពបាញ់ថ្នាំបូមធូលីត្រូវបានបំពាក់ដោយអេក្រង់ឌីជីថលដើម្បីបង្ហាញប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការក្នុងពេលវេលាជាក់ស្តែង។
លំនៅឋានរបស់អង្គភាពនេះលាក់នូវសមាសធាតុមេកានិក និងអេឡិចត្រូនិចសំខាន់ៗទាំងអស់របស់អង្គភាព ការពារពួកគេពីការអន្តរាគមន៍ដោយចៃដន្យ និងគ្មានការអនុញ្ញាត ក៏ដូចជាធានាសុវត្ថិភាពរបស់ប្រតិបត្តិករម៉ាស៊ីនផងដែរ។ អាស្រ័យលើទំហំនៃម៉ាស៊ីន វាត្រូវបានបំពាក់ដោយកង់ (ជាមួយនឹងបន្ទះហ្វ្រាំង សម្រាប់ម៉ូដែលតូចៗ) ឬដំឡើងជាអចិន្ត្រៃយ៍ (សម្រាប់កាមេរ៉ាដែលមានថាមពល និងផលិតភាព)។
UVN បុរាណ
ការរុករក៖
ដំណើរការនៃការបំភាយសុញ្ញកាសមានក្រុមនៃវិធីសាស្រ្តសម្រាប់ការដាក់ស្រទាប់នៃថ្នាំកូត (ខ្សែភាពយន្តស្តើង) នៅក្នុងចន្លោះទំនេរ ដែលសំណងកើតឡើងតាមរយៈការ condensation ដោយផ្ទាល់នៃចំហាយដែលបណ្តាលមកពីធាតុ។
មានដំណាក់កាលដូចខាងក្រោមនៃការបូមធូលី៖
- ការផលិតឧស្ម័ន (ចំហាយទឹក) ពីសមាសធាតុផលិតសំណង;
- ការដឹកជញ្ជូនចំហាយទឹកទៅស្រទាប់ខាងក្រោម;
- ការប្រមូលផ្តុំនៃចំហាយទឹកនៅក្នុងស្រទាប់ខាងក្រោមនិងការបង្កើត sputtering;
បញ្ជីវិធីសាស្រ្តនៃការបូមធូលីរួមមានចលនាវិទ្យាសាស្ត្រ និងបច្ចេកទេសខាងក្រោម ហើយបន្ថែមពីលើនេះ ប្រភេទនៃប្រតិបត្តិការទាំងនេះដែលមានល្បឿនលឿន។
បញ្ជីវិធីសាស្រ្តបាញ់ថ្នាំកម្ដៅ៖
- ការហួតដោយប្រើធ្នឹម galvanic;
- ការហួតដោយប្រើកាំរស្មីឡាស៊ែរ។
ការហួតធ្នូសុញ្ញកាស៖
- វត្ថុធាតុដើមត្រូវបានហួតនៅកន្លែង cathode ធ្នូអគ្គិសនីទទួលខុសត្រូវចំពោះការនេះ;
- Epitaxy ដោយប្រើធ្នឹមម៉ូលេគុល។
ការបែកខ្ចាត់ខ្ចាយអ៊ីយ៉ុង៖
- វត្ថុធាតុដើមដំបូងត្រូវបានអាតូមិចដោយការទម្លាក់គ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុង និងប៉ះពាល់ដល់ស្រទាប់ខាងក្រោម។
ការដាក់ពាក្យ
សំណងសុញ្ញកាសត្រូវបានប្រើសម្រាប់គោលបំណងនៃការបង្កើតសមាសធាតុនៅក្នុងយន្តហោះ ឧបករណ៍ និងយន្តការនៃថ្នាំកូតប្រតិបត្តិការ - ចំហាយ អ៊ីសូឡង់ ធន់នឹងការពាក់ ធន់នឹងច្រេះ ធន់នឹងសំណឹក ប្រឆាំងនឹងការកកិត ប្រឆាំងនឹងការប៉ះទង្គិច របាំង និងផ្សេងទៀត។ ឧបាយកលទាំងនេះត្រូវបានប្រើដើម្បីលាបថ្នាំតុបតែង ជាឧទាហរណ៍ នៅពេលផ្គុំចលនានាឡិកាជាមួយនឹងផ្ទៃស្រោបមាស និងស្រោបស៊ុមវ៉ែនតា។ មួយនៃប្រតិបត្តិការសំខាន់នៃមីក្រូអេឡិចត្រូនិចដែលជាកន្លែងដែលវាត្រូវបានប្រើសម្រាប់គោលបំណងនៃការអនុវត្តស្រទាប់ conductive (metallization) ។ សំណងខ្វះចន្លោះត្រូវបានប្រើដើម្បីទាញយកថ្នាំកូតអុបទិក: ប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះបញ្ចាំង, ឆ្លុះបញ្ចាំង, ត្រង។
ឧស្ម័នសកម្មគីមីឧទាហរណ៍ អាសេទីលលីន (សម្រាប់គោលបំណងនៃថ្នាំកូតដែលណែនាំកាបូន) មិនមែនលោហៈធាតុអាកាស អាចត្រូវបានណែនាំទៅក្នុងវិស័យវិទ្យាសាស្ត្រ និងបច្ចេកទេស។ ចែម។ ការឆ្លើយតបនៅក្នុងយន្តហោះនៃស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានបង្កឡើងដោយការឡើងកំដៅ ឬអ៊ីយ៉ូដ និងការបំបែកឧស្ម័ននៃការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធមួយនៃប្រព័ន្ធឧស្ម័ន។
សូមអរគុណចំពោះការប្រើប្រាស់វិធីសាស្រ្តនៃការបូមធូលី ថ្នាំកូតមួយត្រូវបានទទួល កម្រាស់របស់វាអាចមាន angstroms ជាច្រើន ឬឈានដល់ microns ជាច្រើនជាក្បួន ជាលទ្ធផលនៃការបញ្ចេញទឹក ផ្ទៃមិនតម្រូវឱ្យមានដំណើរការបន្ថែមទេ។
វិធីសាស្រ្តនៃការបូមធូលី
ជោគវាសនានៃគ្រាប់ធញ្ញជាតិនីមួយៗនៃសមាសធាតុបាញ់ទៅលើផលប៉ះពាល់លើផ្ទៃគឺអាស្រ័យលើថាមពល សីតុណ្ហភាពផ្ទៃ និងលក្ខណៈសម្បត្តិគីមីរបស់វា។ ភាពស៊ីសង្វាក់គ្នានៃធាតុ និងសមាសធាតុនៃខ្សែភាពយន្ត។ អាតូម ឬម៉ូលេគុលដែលទៅដល់យន្តហោះមានគ្រប់ឱកាសក្នុងការឆ្លុះបញ្ចាំងពីវា ឬត្រូវបានស្រូបយក ហើយបន្ទាប់ពីរយៈពេលជាក់លាក់ណាមួយ ទុកវាចោល (ការស្រូបយក) ឬត្រូវបានស្រូបយក និងបង្កើត condensate នៅក្នុងយន្តហោះ (ម៉ាស៊ីនបង្ហាប់)។ នៅថាមពលគ្រាប់ធញ្ញជាតិខ្ពស់ សីតុណ្ហភាពយន្តហោះខ្ពស់ និងសារធាតុគីមីមិនសំខាន់ ភាពស្និទ្ធស្នាល ធាតុត្រូវបានឆ្លុះបញ្ចាំងដោយផ្ទៃ។ សីតុណ្ហភាពនៃយន្តហោះនៃផ្នែកខាងលើ ដែលភាគល្អិតទាំងអស់ត្រូវបានឆ្លុះបញ្ចាំងពីវា ហើយស្រទាប់នឹងមិនបង្កើត ត្រូវបានគេហៅថា សីតុណ្ហភាពដ៏ធ្ងន់ធ្ងរនៃការខ្វះចន្លោះ សារៈសំខាន់របស់វាអាស្រ័យលើធម្មជាតិនៃធាតុនៃខ្សែភាពយន្ត និងយន្តហោះនៃសមាសធាតុ។ និងស្ថានភាពនៃយន្តហោះ។ ជាមួយនឹងលំហូរតិចតួចបំផុតនៃធាតុដែលអាចហួតបាន រួមទាំងករណីដែលភាគល្អិតទាំងនេះត្រូវបានស្រូបយកនៅក្នុងយន្តហោះ ប៉ុន្តែកម្រជួបជាមួយភាគល្អិតស្រដៀងគ្នាផ្សេងទៀត ពួកគេត្រូវបាន desorbed និងមិនអាចបង្កើត nuclei ពោលគឺស្រទាប់មិនលូតលាស់ទាល់តែសោះ។ ប្រេកង់ដ៏ធ្ងន់ធ្ងរនៃលំហូរនៃសមាសធាតុដែលអាចហួតបានសម្រាប់សីតុណ្ហភាពយន្តហោះដែលបានផ្តល់ឱ្យគឺជាដង់ស៊ីតេទាបបំផុតដែលភាគល្អិតបង្រួមនិងបង្កើតជាថ្នាំកូត។
ការបាញ់ថ្នាំប្លាស្មា
យោងទៅតាមវិធីសាស្រ្តនេះខ្សែភាពយន្តស្តើងដែលមានកម្រាស់ 0.02-0.11 មីរ៉ូត្រូវបានទទួលជាលទ្ធផលនៃកំដៅ ការប្រែប្រួល និងការទម្លាក់សមាសធាតុទៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមនៅក្នុងបន្ទប់ដាច់ដោយឡែកមួយក្រោមសម្ពាធឧស្ម័នដែលបានបង្ហាប់នៅក្នុងវា។ ផលប៉ះពាល់ដ៏អស្ចារ្យបំផុតនៃឧស្ម័នដែលនៅសេសសល់ត្រូវបានបង្កើតនៅក្នុងបន្ទប់ដោយប្រើម៉ាស៊ីនបូមធូលីដែលមានទំហំប្រហែល 1.2x10-3 Pa ។
បន្ទប់ធ្វើការពាក់ព័ន្ធនឹងមួកដែក ឬកញ្ចក់ជាមួយនឹងគំនិតនៃការត្រជាក់ទឹកខាងក្រៅ។ អង្គជំនុំជម្រះមានទីតាំងនៅចានកណ្តាលហើយបង្កើតការតភ្ជាប់ដែលការពារដោយខ្វះចន្លោះជាមួយវា។ ស្រទាប់ខាងក្រោមដែលការទម្លាក់ត្រូវបានអនុវត្តត្រូវបានជួសជុលនៅលើអ្នកកាន់។ ឧបករណ៍កម្តៅនៅជាប់នឹងស្រទាប់ខាងក្រោម កំដៅស្រទាប់ខាងក្រោមរហូតដល់ 2400-4400 oC ដើម្បីបង្កើនភាពស្អិតជាប់នៃខ្សែភាពយន្តបាញ់។ capacitor រួមបញ្ចូលឧបករណ៍កំដៅនិងប្រភពនៃសមាសធាតុបាញ់។ ផ្លុំការផ្លាស់ប្តូររារាំងលំហូរនៃចំហាយទឹកពីរំហួតទៅស្រទាប់ខាងក្រោម។ សំណងមានរយៈពេលក្នុងកំឡុងពេលដែលឧបករណ៍បិទមិនរលត់។
ដើម្បីកំដៅសមាសធាតុបាញ់ថ្នាំ 2 ប្រភេទនៃការរំហួតត្រូវបានប្រើជាចម្បង:
- ឧបករណ៍ផ្លាស់ប្តូរកំដៅពហុខ្សែឬកាសែតពីរដែលធ្វើពី tungsten ឬ molybdenum;
- ឧបករណ៍រំហួតអេឡិចត្រុង - រ៉ាឌីកាល់ជាមួយនឹងការកំដៅនៃសមាសធាតុដែលហួតដោយការទម្លាក់គ្រាប់បែក galvanic ។
បំរែបំរួលបំផ្ទុះត្រូវបានប្រើដើម្បីដាក់ខ្សែភាពយន្តពីធាតុចម្រុះ។ ក្នុងករណីនេះ condenser ត្រូវបានកំដៅរហូតដល់ 15,000 ° C និងប្រោះដោយម្សៅពីល្បាយនៃធាតុដែលអាចហួតបាន។ វិធីសាស្រ្តស្រដៀងគ្នានេះអាចត្រូវបានប្រើដើម្បីទទួលបានថ្នាំកូតសមាសធាតុ។
ធាតុថ្នាំកូតដែលពេញនិយមមួយចំនួន (ឧទាហរណ៍មាស) មានភាពស្អិតជាប់ជាមួយស៊ីលីកុន និងធាតុ semiconductor ផ្សេងទៀត។ នៅក្នុងករណីនៃការ adhesion ដែលមានគុណភាពទាបនៃធាតុហួតទៅស្រទាប់ខាងក្រោម, ហួតត្រូវបានដាក់ជា 2 ស្រទាប់។ ទីមួយ ស្រទាប់នៃយ៉ាន់ស្ព័រដែលមានភាពស្អិតល្អជាមួយស្រទាប់ខាងក្រោម semiconductor ត្រូវបានអនុវត្តនៅលើកំពូលនៃស្រទាប់ខាងក្រោម។ បន្ទាប់មកស្រទាប់សំខាន់ត្រូវបានបាញ់ដែលក្នុងនោះការភ្ជាប់ជាមួយស្រទាប់រងគឺល្អឥតខ្ចោះពីមុន។
ការបញ្ចេញទឹករំអិលអ៊ីយ៉ុង
វិធីសាស្រ្តនេះមានអាតូមិកធាតុនៃសមាសធាតុបង្កហេតុដែលមានវត្តមាននៅពីមុខសក្តានុពលអវិជ្ជមាន ដោយសារតែការទម្លាក់គ្រាប់បែកដោយអ៊ីយ៉ុងនៃឧស្ម័នអសកម្មដែលកើតឡើងកំឡុងពេលរំភើបនៃការបញ្ចេញពន្លឺនៅខាងក្នុងការដំឡើងកន្លែងបូមធូលី។
សម្ភារៈនៃអេឡិចត្រូតដែលមានបន្ទុកអវិជ្ជមានត្រូវបានបាញ់នៅក្រោមឥទ្ធិពលនៃអាតូមអ៊ីយ៉ូដនៃឧស្ម័នអសកម្មវាយវា។ អាតូមផ្លាស់ប្តូរដែលរលាយទាំងនេះត្រូវបានដាក់នៅលើកំពូលនៃស្រទាប់ខាងក្រោម។ អត្ថប្រយោជន៍ចម្បងនៃវិធីសាស្ត្រ ion-vacuum sputtering គឺថា មិនចាំបាច់កំដៅរំហួតរហូតដល់ សីតុណ្ហភាពខ្ពស់.
យន្តការនៃការកើតឡើងនៃការបញ្ចេញពន្លឺ។ ការហូរទឹករំអិលដែលរលួយត្រូវបានត្រួតពិនិត្យនៅក្នុងបន្ទប់ដែលមានសម្ពាធឧស្ម័នទាបរវាងអេឡិចត្រូតដែក 2 ដែលត្រូវបានផ្គត់ផ្គង់ដោយវ៉ុលខ្ពស់រហូតដល់ 1-3 kW ។ ក្នុងករណីនេះអេឡិចត្រូតអវិជ្ជមានជាធម្មតាត្រូវបានមូលដ្ឋាន។ cathode គឺជាគោលដៅដែលបានមកពីធាតុ sputtered ។ លំហអាកាសត្រូវបានជម្លៀសចេញពីបន្ទប់ដំបូង បន្ទាប់មកឧស្ម័នត្រូវបានបញ្ចេញរហូតដល់សម្ពាធ 0.6 Pa ។
ការបញ្ចេញពន្លឺបានទទួលឈ្មោះរបស់វាដោយសារតែវត្តមាននៃអ្វីដែលគេហៅថាពន្លឺនៅក្នុងគោលដៅ (cathode) ។ រស្មីនេះបណ្តាលមកពីការធ្លាក់ចុះនៃសមត្ថភាពនៅក្នុងស្រទាប់ដ៏តឹងនៃបន្ទុកអវកាសនៅជិត cathode ។ នៅជិតតំបន់ TC គឺជាតំបន់នៃកន្លែងងងឹត Faraday ដែលប្រែទៅជាជួរឈរវិជ្ជមានដែលជាផ្នែកឯករាជ្យនៃការបញ្ចេញទឹករំអិលដែលមិនសមស្របទាំងស្រុងពីស្រទាប់ផ្សេងទៀតនៃការហូរទឹករំអិល។
នៅជិត anode លើសពីនេះទៀតមានស្រទាប់តូចមួយនៃបន្ទុកអវកាសដែលហៅថាស្រទាប់ anode ។ ធាតុមួយទៀតនៃគម្លាត interelectrode ត្រូវបានចាប់យកដោយ plasma quasineutral ។ ដោយប្រើវិធីសាស្ត្រស្រដៀងគ្នា កាមេរ៉ាតាមដានពន្លឺបែបរ៉ាស្ទ័រពីឆ្នូតងងឹត និងពន្លឺឆ្លាស់គ្នា។
ដើម្បីឱ្យចរន្តឆ្លងកាត់រវាងអេឡិចត្រូត ការបំភាយមានស្ថេរភាពនៃអេឡិចត្រុងពី cathode គឺចាំបាច់។ ការបំភាយនេះអាចត្រូវបានបង្កឡើងក្រោមការបង្ខំដោយកំដៅ cathode ឬ irradiation វាជាមួយនឹងពន្លឺ ultraviolet ។ ការបញ្ចេញទឹករំអិលបែបនេះមិនឯករាជ្យទេ។
ការបូមធូលីអាលុយមីញ៉ូម
ក្នុងករណីខ្លះ ជាពិសេសនៅពេលបាញ់ថ្នាំផ្លាស្ទិច លោហធាតុអាលុយមីញ៉ូមត្រូវបានប្រើប្រាស់ ហើយលោហៈនេះគឺជាវត្ថុធាតុដើមស្រាល ហើយមិនធន់នឹងការពាក់ទេ ក្នុងករណីនេះ វិធីសាស្ត្រវិទ្យាសាស្ត្រ និងបច្ចេកទេសពិសេសមួយចំនួនគឺចាំបាច់។ អ្នកប្រើប្រាស់ត្រូវយល់ថា វាជាការល្អបំផុតក្នុងការការពារសមាសធាតុស្រដៀងគ្នាពីការចម្លងរោគភ្លាមៗបន្ទាប់ពីការបោះត្រា ហើយលើសពីនេះទៀត វាគឺជាការមិនចង់ប្រើម្សៅរំអិល និងម្សៅផ្សេងៗនៅក្នុងតួលេខសារពត៌មាន។
ការបំភាយឧស្ម័នលោហធាតុ
លោហធាតុដែលអាចហួតបានតែនៅសីតុណ្ហភាពក្រោមតំបន់រលាយរបស់វាត្រូវបានអនុញ្ញាតឱ្យកំដៅដោយចរន្តផ្ទាល់នៃប្រាក់ និងមាសត្រូវបានហួតនៅក្នុងបន្ទប់ទឹកដែលមានសារធាតុ tantalum ឬ tungsten ។ សំណងត្រូវតែត្រូវបានអនុវត្តនៅក្នុងបន្ទប់ក្រោមសម្ពាធតិចជាង 10-3 mm Hg ។ សិល្បៈ។
ការខ្ចប់អ៊ីយ៉ុងប្លាស្មា
ដើម្បីឱ្យការបញ្ចេញពន្លឺឯករាជ្យកើតឡើង វាចាំបាច់ក្នុងការបំភាយអេឡិចត្រុងចេញពី cathode ដោយអនុវត្ត តង់ស្យុងខ្ពស់។ 2-4 kW រវាងអេឡិចត្រូត។ ប្រសិនបើវ៉ុលដែលបានអនុវត្តលើសពីសមត្ថភាពអ៊ីយ៉ូដនៃឧស្ម័ននៅក្នុងអង្គជំនុំជម្រះ (ជាធម្មតា Ar) ក្នុងករណីនេះជាលទ្ធផលនៃការប៉ះទង្គិចគ្នានៃអេឡិចត្រុងជាមួយម៉ូលេគុល Ar ឧស្ម័នត្រូវបាន ionized ជាមួយនឹងការបង្កើតអ៊ីយ៉ុង Ar + ដែលមានបន្ទុកវិជ្ជមាន។ ជាលទ្ធផល ការបញ្ចេញទឹករំអិលដែលមើលឃើញតូចមួយ ហើយជាលទ្ធផល វាលអគ្គីសនីដ៏រឹងមាំមួយលេចឡើងនៅក្នុងតំបន់នៃចន្លោះខ្មៅ cathode ។
អ៊ីយ៉ុង Ar+ ទទួលបានថាមពលនៅក្នុងតំបន់ដែលបានផ្តល់ បំផ្ទុះអាតូមនៃធាតុ cathode ក្នុងពេលដំណាលគ្នាដែលបង្កឱ្យការបញ្ចេញអេឡិចត្រុងចំហៀងចេញពី cathode ។ ការបំភាយនេះការពារការបញ្ចេញពន្លឺឯករាជ្យ។ អាតូមផ្លាស់ប្តូរពីធាតុ cathode ទៅដល់ស្រទាប់ខាងក្រោម ហើយត្រូវបានដាក់នៅលើយន្តហោះរបស់វា។
ការដំឡើងម៉ាស៊ីនបូមធូលី UVN
ការរចនាត្រូវបានបំពាក់ដោយស្មុគស្មាញដ៏សំខាន់ ឧបករណ៍ទំនើបនិងឧបករណ៍ដែលធានានូវការទម្លាក់ស្រទាប់លោហធាតុនៃការសំយោគ និងយ៉ាន់ស្ព័រជាមួយនឹងលក្ខណៈសម្បត្តិដែលបានបង្កើតឡើង ភាពស្អិតល្អ និងឯកសណ្ឋានខ្ពស់ទៅតាមតំបន់។
សំណុំនៃឧបករណ៍ និងឧបករណ៍ដែលត្រូវបានរួមបញ្ចូលនៅក្នុងរចនាសម្ព័ន្ធរបស់ឧបករណ៍៖
- ប្រភពគ្រប់គ្រងប្រព័ន្ធបូមធូលីពាក់កណ្តាលស្វ័យប្រវត្តិ;
- ទ្រឹស្តី sputtering Magnetron នៅក្នុងចរន្តថេរ;
- គំនិតនៃកំដៅ (ជាមួយនឹងការគ្រប់គ្រងនិងការថែរក្សាសីតុណ្ហភាពដែលបានកំណត់);
- គំនិតនៃការលាងសម្អាតទំនិញដែលបាញ់នៅក្នុងតំបន់នៃការហូរទឹករំអិលដែលមានក្លិនស្អុយ;
- គំនិតនៃការផ្លាស់ប្តូរផលិតផលនៅក្នុងចន្លោះទំនេរមួយ;
- រង្វាស់ខ្វះចន្លោះលេខ;
- គំនិតសម្រាប់ការគ្រប់គ្រងភាពធន់នៃខ្សែភាពយន្តដែលកំពុងលូតលាស់;
- ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល Inverter សម្រាប់ magnetrons ។
ការបាញ់ថ្នាំបូមធូលី - គោលការណ៍ប្រតិបត្តិការ និងបច្ចេកវិទ្យានៃការបាញ់ថ្នាំប្លាស្មា។ វិធីសាស្រ្តទូទៅបំផុតនៃការបូមធូលី។ ការបូមធូលីអ៊ីយ៉ុង និងគោលការណ៍នៃប្រតិបត្តិការរបស់វា។ ដំណើរការនៃការបូមធូលីអាលុយមីញ៉ូម និងប្រសិទ្ធភាពរបស់វា។ លក្ខណៈសំខាន់នៃការរលាយលោហៈខ្វះចន្លោះ និងភាពខុសគ្នារបស់វាពីការរលាយប្លាស្មារបស់អ៊ីយ៉ុងប្លាស្មា។ តើអ្នកអាចបង់ថ្លៃការដំឡើងកន្លែងបូមធូលីក្នុងតម្លៃទាបនៅឯណា?
ការបូមធូលីគឺជាដំណើរការដែលសហគ្រាសទំនើបភាគច្រើនត្រូវការក្នុងដំណាក់កាលនេះ។ វិធីសាស្រ្តនេះត្រូវបានគេប្រើជាញឹកញាប់នៅក្នុងឧស្សាហកម្មទាំងនោះដែលផលិតផលិតផលផ្សេងៗដែលទាក់ទងនឹងប្រតិបត្តិការបន្ថែមទៀត។
នេះអាចជាឧបករណ៍ធម្មតា ឬផលិតផលធ្មេញ ដែលទាមទារដំណើរការបូមធូលីផងដែរ។ មិនថាវាស្តាប់ទៅចម្លែកប៉ុណ្ណានោះទេ ឧស្សាហកម្មវេជ្ជសាស្ត្រគឺជាផ្នែកមួយក្នុងចំណោមតំបន់ទាំងនោះដែលដំណើរការបូមធូលីត្រូវបានគេប្រើញឹកញាប់បំផុត។ វាអាចត្រូវបានប្រើនៅក្នុងឧស្សាហកម្មនេះទាំងនៅក្នុងតួនាទីនៃការកែលម្អលក្ខណៈសម្បត្តិនៃឧបករណ៍សម្រាប់ការងារនិងនៅក្នុងតួនាទីនៃការស្រោបសម្ភារៈឬផលិតផលផ្សេងៗ។
ការដំឡើងកន្លែងបូមធូលីគឺជាធាតុផ្សំដ៏សំខាន់បំផុតមួយនៃដំណើរការនេះ។ មានមនុស្សតិចណាស់ដែលប្រកែកជាមួយនឹងការពិតដែលថាវាគឺជាការដំឡើងកន្លែងបូមធូលីដែលអនុញ្ញាតឱ្យដំណើរការនេះត្រូវបានអនុវត្ត ហើយធ្វើវាបានយ៉ាងលឿន។ គោលការណ៍ប្រតិបត្តិការនៃការដំឡើងបែបនេះគឺសាមញ្ញតាមដែលអាចធ្វើទៅបាន។ ដំបូង ស្ថានភាពនៃភាពកម្រចម្បងមួយត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅក្នុងប្រព័ន្ធបែបនេះ ដែលអនុញ្ញាតឱ្យម្សៅគ្រីស្តាល់ត្រូវបានបំប្លែងទៅជាល្បាយពិសេស ដែលបន្ទាប់មកអាចត្រូវបានអនុវត្តទៅ ថ្នាំកូតផ្សេងគ្នា. លើសពីនេះទៀតកម្រិតសម្ពាធនៅខាងក្នុងការដំឡើងកើនឡើងយ៉ាងខ្លាំងដែលនាំឱ្យមានការបង្កើតយ៉ាងសកម្មនៃកន្លែងទំនេរនៅក្នុងប្រព័ន្ធ។ បនា្ទាប់មកម៉ាស៊ីនបូមធូលីបង្កើតដំណើរការនៃការបាញ់ថ្នាំបាញ់ដែលភ្លាមៗបានដោះស្រាយ សម្ភារៈត្រឹមត្រូវ។ដែលនឹងអាចទទួលយកបានចំពោះដំណើរការបែបនេះ។
បញ្ហាសំខាន់មួយទៀតគឺភាពជឿជាក់នៃដំណើរការនេះ។ ដោយវិនិច្ឆ័យដោយការរចនានិងគោលការណ៍ប្រតិបត្តិការនៃការដំឡើងបែបនេះវាមិនពិបាកក្នុងការយល់ថាពួកគេត្រូវបានបង្កើតឡើងទេពួកគេត្រូវបានគិតឱ្យបានច្រើនតាមដែលអាចធ្វើទៅបាន។ ប៉ុន្តែយើងមិនអាចដកចេញពីលទ្ធភាពនៃការខូចខាតឧបករណ៍បែបនេះទេ។ ប៉ុន្តែសូម្បីតែស្ថានភាពនេះនឹងមិនពិបាកទេព្រោះឧបករណ៍បែបនេះអាចជួសជុលបានហើយងាយស្រួលជួសជុល។
វិធីសាស្រ្តនៃការបូមធូលី
ពិចារណាលើការពិតដែលថា ទីផ្សារទំនើបរួមបញ្ចូលនូវឧស្សាហកម្មផ្សេងៗគ្នាជាច្រើន វាត្រូវបានគេសម្រេចចិត្តប្រើវិធីដកសុញ្ញកាសជាច្រើនក្នុងពេលតែមួយ។ ពួកវាទាំងអស់សុទ្ធតែមានលក្ខណៈប្លែក និងដំណើរការដោយយោងទៅតាមក្បួនដោះស្រាយខុសគ្នាទាំងស្រុង។
ឥឡូវនេះយើងនឹងពិនិត្យមើលវិធីសាស្រ្តទូទៅបំផុតនៃការបូមធូលី:
- ការបញ្ចេញទឹករំអិលប្លាស្មាអ៊ីយ៉ុង
- ការបាញ់ថ្នាំប្លាស្មា
- ការបញ្ចេញទឹករំអិលអ៊ីយ៉ុង
ទាំងនេះគឺជាប្រភេទថ្នាំបាញ់ទាំងបីដែលប្រើជាទូទៅបំផុតនៅពេលនេះ។ សហគ្រាសភាគច្រើនប្រើប្រាស់បច្ចេកវិទ្យានេះយ៉ាងសកម្ម ដោយទទួលបានអត្ថប្រយោជន៍អតិបរមាពីវា។ ហើយនេះបានបង្ហាញរួចហើយថា ប្រសិនបើចង់បាន អ្នកពិតជាអាចទទួលបានអត្ថប្រយោជន៍អតិបរមាពីវិធីសាស្ត្រនេះ។
ការបាញ់ថ្នាំប្លាស្មា
វិធីសាស្ត្រមួយក្នុងចំណោមវិធីបន្សល់ទុកដោយការបូមធូលីទូទៅបំផុតគឺការទម្លាក់ប្លាស្មាដោយសុញ្ញកាស។ បច្ចេកវិទ្យានៃដំណើរការនេះគឺសាមញ្ញតាមដែលអាចធ្វើទៅបានហើយវាពាក់ព័ន្ធនឹងការងារនៃប្លាស្មាខាងក្នុង។ ធាតុនេះបម្រើជាប្រភេទនៃអ្នកចែកចាយដែលអនុញ្ញាតឱ្យអ្នកធ្វើឱ្យដំណើរការបាញ់ថ្នាំមានគុណភាពខ្ពស់តាមដែលអាចធ្វើទៅបាន។
លើសពីនេះទៀតវិធីសាស្រ្តនេះក៏អាចអួតពីភាពត្រឹមត្រូវនៃការស្រោបផលិតផលផងដែរ។ ហើយទាំងអស់ដោយសារតែនៅក្នុងការដំឡើងនៃប្រភេទនេះ កូដមួយត្រូវបានបង្កើត និងដំឡើងជាមុន យោងទៅតាមប្រព័ន្ធបែបនេះជាធម្មតាដំណើរការ។
ការបូមធូលីអ៊ីយ៉ុង
ប្រភេទនៃការបូមធូលីនេះគឺស្រដៀងគ្នាតាមដែលអាចធ្វើទៅបានទៅនឹងប្រភេទមុន។ ភាពខុសគ្នាជាក់ស្តែងបំផុតរវាងបច្ចេកវិទ្យានេះ។ យើងអាចហៅវាថាជាដំណើរការអ៊ីយ៉ូដបឋមដែលអាចបង្កើនល្បឿនដំណើរការការងារយ៉ាងខ្លាំង។
វត្តមាននៃអ៊ីយ៉ុងដែលកំពុងធ្វើការនៅខាងក្នុងការដំឡើងកន្លែងបូមធូលីមិនត្រឹមតែធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវគុណភាពនៃដំណើរការការងារប៉ុណ្ណោះទេ ប៉ុន្តែថែមទាំងធ្វើឱ្យវាកាន់តែអាចទុកចិត្តបាន ហើយសំខាន់គឺលឿនជាងមុន។
ការបូមធូលីអាលុយមីញ៉ូម
ប្រសិនបើយើងនិយាយអំពីសម្ភារៈណាដែលភាគច្រើនខ្ចីខ្លួនវាទៅនឹងដំណើរការបូមធូលីនោះ វាប្រហែលជាអាលុយមីញ៉ូម។ ហេតុផលសម្រាប់ការនេះគឺវិសាលភាពនៃការអនុវត្តលោហៈនេះដែលត្រូវបានប្រើយ៉ាងសកម្មនៅក្នុងឧស្សាហកម្មស្ទើរតែទាំងអស់។
ប៉ុន្តែក្នុងចំណោមពួកគេជាច្រើនវិធីនេះត្រូវបានទាមទារឱ្យកាន់តែជាប់លាប់និងអាចទុកចិត្តបាន។ នេះជាមូលហេតុដែលការដំឡើងការបូមធូលីអាលុយមីញ៉ូមត្រូវបានបង្កើតឡើង។ ដំណើរការនេះគឺមានភាពងាយស្រួលតាមដែលអាចធ្វើបាន ចាប់តាំងពីសម្ភារៈមានប្រតិកម្មយ៉ាងខ្លាំងជាមួយនឹងល្បាយដែលត្រូវបានអនុវត្តទៅវាកំឡុងពេលខ្វះចន្លោះ។
ការបំភាយឧស្ម័នលោហធាតុ
ប្រសិនបើយើងនិយាយអំពីដំណើរការនៃការបន្សុតលោហធាតុ នោះនេះគឺជាដំណើរការងាយស្រួលជាង។ បច្ចេកវិទ្យានៃការបាញ់ថ្នាំលោហៈគឺសាមញ្ញតាមដែលអាចធ្វើទៅបានដែលជាមូលហេតុដែលសហគ្រាសទាំងអស់មានទម្លាប់ប្រើវា។ ដើម្បីអនុវត្តស្រទាប់ថ្នាំកូតដែលមានគុណភាពខ្ពស់នៅលើលោហៈអ្នកគ្រាន់តែត្រូវនាំវាទៅ សីតុណ្ហភាពដែលចង់បាន. នេះគឺជាលក្ខខណ្ឌតែមួយគត់ដែលគួរតែត្រូវបានប្រកាន់ខ្ជាប់ក្នុងអំឡុងពេលនៃការបូមធូលី។
មនុស្សជាច្រើនជឿថានេះគឺជាអត្ថប្រយោជន៍ចម្បងនៃដំណើរការរលាយលោហៈខ្វះចន្លោះ។
ការបញ្ចេញទឹករំអិលប្លាស្មាអ៊ីយ៉ុង
ភាពស្មុគស្មាញបំផុតនៅក្នុងលក្ខខណ្ឌនៃការរចនានិងក្នុងពេលតែមួយមានប្រសិទ្ធភាពគឺដំណើរការនៃការបូមធូលីប្លាស្មាអ៊ីយ៉ុង។ បច្ចេកវិទ្យានេះរួមបញ្ចូលទាំងចំនួនដ៏ច្រើននៃភាពចម្រូងចម្រាសនិងខ្លាំងណាស់ ចំណុចសំខាន់ៗដោយគ្មានការដែលដើម្បីសម្រេចបាន។ កម្រិតខ្ពស់ប្រសិទ្ធភាពនឹងមិនដំណើរការទេ។
ដោយប្រើវិធីសាស្រ្តនេះ វាអាចធ្វើទៅបានដើម្បីអនុវត្តការបូមធូលីទីតានីញ៉ូម ឬការបូមធូលីកញ្ចក់ដោយគ្មានបញ្ហា។ ហើយនេះបានបង្ហាញរួចហើយថា versatility នៃវិធីសាស្រ្តនេះគឺនៅកម្រិតខ្ពស់បំផុតដែលអាចធ្វើទៅបាន។
ការដំឡើងម៉ាស៊ីនបូមធូលី UVN
ប៉ុន្តែមិនថាអ្នកជ្រើសរើសកន្លែងបូមធូលីប្រភេទណាក៏ដោយ ដោយមិនប្រើការដំឡើងកន្លែងបូមធូលី UVN អ្នកទំនងជាមិនអាចសម្រេចបានជោគជ័យណាមួយឡើយ។ នៅដំណាក់កាលនេះតម្លៃនៃការដំឡើងបែបនេះគឺនៅកម្រិតខ្ពស់ដែលគួរឱ្យឈឺចាប់។
ប៉ុន្តែប្រសិនបើយើងនិយាយពីប្រសិទ្ធភាពរបស់វា នោះមិនមានការសង្ស័យអំពីវាទាល់តែសោះ។ ដោយបានទិញឯកតាស្រដៀងគ្នាដោយខ្លួនឯង អ្នកអាចប្រាកដទាំងស្រុងថាយូរៗទៅ វានឹងអាចយកមកវិញនូវប្រាក់ទាំងអស់ដែលបានវិនិយោគនៅក្នុងវា។
ការបាញ់ថ្នាំបូមធូលីគឺជាការផ្ទេរសារធាតុមួយ (ភាគល្អិតរបស់វា) ដែលត្រូវបានបាញ់ទៅលើផ្ទៃរឹង។ វាត្រូវបានអនុវត្តដោយចលនា convective ជាមួយនឹងសម្ពាធប្រហែល 1 Pa ។ នៅពេលបាញ់ ភាគល្អិតនីមួយៗមានឥរិយាបទខុសគ្នាទាំងស្រុង។ ខ្លះអាចឆ្លុះបញ្ចាំងពីផ្ទៃដែលបាញ់បាន អ្នកផ្សេងទៀតអាចសម្របខ្លួនបាន ប៉ុន្តែបន្ទាប់ពីពេលខ្លះចាកចេញពីផ្ទៃទាំងស្រុង។ ហើយមានតែផ្នែកតូចមួយប៉ុណ្ណោះដែលនឹងអាចចាក់ឬសនៅក្នុងតួនៃសារធាតុលំអង ដូច្នេះការដំឡើងកន្លែងបូមធូលីគឺជាឧបករណ៍ស្មុគស្មាញណាស់។ ប្រសិនបើអ្នកប្រើថាមពលខ្ពស់រួមជាមួយនឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ប៉ុន្តែនៅពេលជាមួយគ្នាមានទំនាក់ទំនងគីមីទាបនៃសម្ភារៈ នោះភាគល្អិតភាគច្រើននឹងត្រូវបានឆ្លុះបញ្ចាំងដោយផ្ទៃ។
លក្ខណៈពិសេសនៃការដំឡើងម៉ាស៊ីនបូមធូលី
សីតុណ្ហភាពខាងលើដែលបរិមាណទាំងមូលនៃភាគល្អិតបាញ់ ក៏ដូចជាភាគល្អិតដែលមិនអាចធ្វើអន្តរកម្មជាមួយសារធាតុត្រូវបានឆ្លុះបញ្ចាំងត្រូវបានគេហៅថា ចំណុចសីតុណ្ហភាពសំខាន់នៃការបាញ់ថ្នាំបូមធូលី។ វាចាំបាច់ក្នុងការត្រួតពិនិត្យដោយប្រុងប្រយ័ត្នក្នុងអំឡុងពេលបាញ់ថ្នាំដើម្បីកុំឱ្យសញ្ញាសម្គាល់សីតុណ្ហភាពឈានដល់តម្លៃអតិបរមាដែលមិនអាចទទួលយកបាន។
តម្លៃនេះគឺពឹងផ្អែកទាំងស្រុងលើប្រភពដើមនៃសម្ភារៈលក្ខណៈ ផ្ទៃការងារ, ស្ថានភាពរបស់នាង។ ដូច្នេះ ដើម្បីអាចប្រើប្រាស់តម្លៃសីតុណ្ហភាពខ្ពស់បំផុតនៅពេលដំឡើងការបូមធូលី យន្តហោះដែលធ្វើការត្រូវតែស្ថិតក្នុងស្ថានភាពល្អ នោះខ្សែភាពយន្តរបស់សារធាតុនឹងត្រូវបានផលិតប្រកបដោយវិជ្ជាជីវៈ និងប្រើប្រាស់បានយូរ។
ការប្រើប្រាស់ខ្សែភាពយន្តនៅក្នុងការដំឡើងកន្លែងបូមធូលី
វាក៏មានគំនិតនៃដង់ស៊ីតេសម្ពាធសំខាន់ផងដែរ។ ដង់ស៊ីតេសម្ពាធសំខាន់គឺជាតម្លៃដង់ស៊ីតេអប្បបរមាដែលខ្សែភាពយន្តត្រូវបានស្រូបយក និងក្លាយជាមិនអាចទទួលយកភាគល្អិតបាញ់។ ភារកិច្ចចម្បងនៃការបាញ់ថ្នាំគឺមិនឈានដល់ដង់ស៊ីតេដូចសារធាតុដែលភាគល្អិតលម្អងត្រូវបានអនុវត្តមិនទទួលយកពួកវាដោយសារតែលក្ខណៈសម្បត្តិបច្ចេកទេសមិនល្អរបស់វា។
ខ្សែភាពយន្តដោយផ្អែកលើរចនាសម្ព័ន្ធរបស់វាត្រូវបានបែងចែកទៅតាមគុណភាពនៃការតំកល់ទុក លក្ខណៈបច្ចេកទេស និងប្រភពដើមនៃសម្ភារៈ។ ភាពយន្តគឺ៖
អាម៉ូញាក់;
- monocrystalline;
- ប៉ូលីគ្រីស្តាល់លីន។
Amorphous គឺជាខ្សែភាពយន្តទាំងនោះដែលមានស្រទាប់កញ្ចក់។ ខ្សែភាពយន្ត Monocrystalline មានផ្ទៃរឹងជាង ហើយជាសារធាតុ semiconductors នៅក្នុងមុខងាររបស់វា។ ខ្សែភាពយន្ត Polycrystalline រួមមានយ៉ាន់ស្ព័រ លោហធាតុ និង Si ។ នៅពេលដំឡើងកន្លែងបូមធូលី ខ្សែភាពយន្ត monocrystalline ត្រូវបានគេប្រើប្រាស់ជាចម្បង ព្រោះវាមានលក្ខណៈបច្ចេកទេសល្អបំផុត ហើយអាចទប់ទល់នឹងបន្ទុកធំគួរសមក្នុងអំឡុងពេលប្រតិបត្តិការ។
គោលការណ៍ប្រតិបត្តិការនៃការដំឡើងម៉ាស៊ីនបូមធូលី
ដើម្បីរក្សាលក្ខណៈបច្ចេកទេស និងលក្ខណៈបច្ចេកទេសនៃការបំភាយសុញ្ញកាស បន្ទាប់ពីនីតិវិធីនៃការដាក់ប្រាក់ ការ annealing ត្រូវបានប្រើ (ដោយមិនបំបែកការខ្វះចន្លោះ) នៅពេលដែលប៉ះពាល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ពីព្រោះនីតិវិធីបែបនេះជួយការពារ លក្ខណៈពិសេសមានប្រយោជន៍សម្ភារៈបាញ់ថ្នាំ។ សីតុណ្ហភាពនៃការបន្ទោរបង់នេះ គឺខ្ពស់ជាងសីតុណ្ហភាពដែលការបូមធូលីបានកើតឡើងច្រើនដង។
នៅពេលដំឡើងកន្លែងទំនេរ អ្នកឯកទេសព្យាយាមបង្កើតរចនាសម្ព័ន្ធផ្ទៃពីវត្ថុធាតុមួយ ឬច្រើនដែលអាចធ្វើឱ្យវាកាន់តែល្អ និងមានប្រសិទ្ធភាពជាងមុន។ នៅពេលដែលការបន្ទោរបង់ដោយខ្វះចន្លោះ អាស្រ័យលើវិធីសាស្រ្តនៃការអនុវត្តខ្សែភាពយន្ត វិធីសាស្ត្រនៃការប៉ះពាល់តាមកាលកំណត់ ពាក់កណ្តាលបន្ត និងបន្តត្រូវបានប្រើ។ ភាពងាយស្រួល និងមានប្រសិទ្ធភាពបំផុតគឺវិធីសាស្ត្របន្តនៃការប៉ះពាល់។
ឧបករណ៍បាញ់ថ្នាំបូមធូលីរួមបញ្ចូលមុខងារជាច្រើន។ ដំបូងម៉ាស៊ីនបូមធូលីត្រូវបានបង្កើតឡើង បន្ទាប់មកសម្ភារៈនៃខ្សែភាពយន្តត្រូវបានបាញ់ និងហួត គ្រឿងបន្លាស់ត្រូវបានដឹកជញ្ជូន ថាមពលត្រូវបានផ្គត់ផ្គង់ ហើយរបៀបនៃការបូមធូលីត្រូវបានត្រួតពិនិត្យ ក៏ដូចជារបៀបលក្ខណៈសម្បត្តិនៃខ្សែភាពយន្តផងដែរ។
ឧបករណ៍ដំឡើងម៉ាស៊ីនបូមធូលី
តាមក្បួនឧបករណ៍ទាំងអស់នៃប្រភេទនេះមានការរចនាស្រដៀងគ្នាដែលមានធាតុមួយចំនួន។ អង្គធាតុធ្វើការសំខាន់អាចត្រូវបានគេហៅថាអង្គជំនុំជម្រះផ្តេកដែលក្នុងនោះការបាញ់ថ្នាំកើតឡើងដោយសារឧបករណ៍បច្ចេកវិជ្ជាដែលមាននៅក្នុងវា។ ប្រព័ន្ធចែកចាយនិងបូមឧស្ម័នត្រូវបានរចនាឡើងដើម្បីផ្តល់កន្លែងទំនេរដែលត្រូវការ។ សមាសធាតុប្រតិបត្តិការសំខាន់ៗរបស់ឧបករណ៍រួមមាន ក្នុងចំណោមរបស់ផ្សេងទៀត ប្រភពដែលផ្តល់នូវការហួត ឬអាតូមនៃវត្ថុធាតុដែលកំពុងដំណើរការ។
រាល់ការដំឡើងកន្លែងទំនេរមានប្រព័ន្ធផ្គត់ផ្គង់ថាមពល និងការទប់ស្កាត់ធាតុការងារដែលទទួលខុសត្រូវចំពោះការបើក/បិទឧបករណ៍។ គណៈរដ្ឋមន្ត្រីថាមពលស្ថិតនៅឆ្ងាយពីឧបករណ៍។ ល្បឿនដែលត្រូវការនៃការដាក់នៅលើខ្សែភាពយន្ត កម្រាស់របស់វា សីតុណ្ហភាពនៃផ្នែក និងសីតុណ្ហភាពប្រតិបត្តិការ និងសូចនាករផ្សេងទៀតត្រូវបានគ្រប់គ្រងដោយប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យ និងត្រួតពិនិត្យដែលបានដំឡើងជាមុន។ ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញាទាំងអស់ដែលជាកម្មសិទ្ធិរបស់ប្រព័ន្ធនេះត្រូវបានភ្ជាប់គ្នាទៅវិញទៅមកដោយ microprocessor តែមួយ។
ការដំឡើងក៏ត្រូវបានបំពាក់ដោយធាតុដឹកជញ្ជូនពិសេសផងដែរ ដោយមានជំនួយពីផ្នែកណាដែលត្រូវបានបញ្ជូនទៅក្នុង ឬចេញពីអង្គជំនុំជម្រះ។ ឧបករណ៍ជំនួយផ្សេងៗសម្រាប់ការដំឡើងម៉ាស៊ីនបូមធូលី រួមទាំងអេក្រង់ ឧបករណ៍បំភាយ ឧបករណ៍បំបាក់ដែលបានដំឡើងនៅខាងក្នុងបន្ទប់ធ្វើការ ឧបករណ៍បន្សុតឧស្ម័ន និងធាតុផ្សេងទៀតក៏ជាផ្នែកសំខាន់នៃឧបករណ៍ផងដែរ។ សមា្ភារៈដែលបានកែច្នៃមានទីតាំងនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមដែលបង្វិលជុំវិញស្គរនៅលើអ្នកកាន់ពិសេស។ ក្នុងអំឡុងពេលបង្វិលស្គរមួយ ស្រទាប់ខាងក្រោមនីមួយៗឆ្លងកាត់តំបន់រំហួតនៅផ្នែកផ្សេងៗ។
